• 대한전자공학회논문지SD
• /
• 제43권11호
• /
• pp.58-68
• /
• 2006

본 논문에서는 차세대 디지털 TV 및 무선 랜 등과 같이 고속에서 저전압, 저전력 및 소면적을 동시에 요구하는 고성능 집적시스템을 위한 10b 250MS/s $1.8mm^2$ 85mW 0.13um CMOS A/D 변환기 (ADC)를 제안한다. 제안하는 ADC는 요구되는 10b 해상도에서 250MS/s의 아주 빠른 속도 사양을 만족시키면서, 면적 및 전력 소모를 최소화하기 위해 3단 파이프라인 구조를 사용하였다. 입력단 SHA 회로는 게이트-부트스트래핑 (gate-bootstrapping) 기법을 적용한 샘플링 스위치 혹은 CMOS 샘플링스위치 등 어떤 형태를 사용할 경우에도 10비트 이상의 해상도를 유지하도록 하였으며, SHA 및 두개의 MDAC에 사용되는 증폭기는 트랜스컨덕턴스 비율을 적절히 조정한 2단 증폭기를 사용함으로써 10비트에서 요구되는 DC 전압 이득과 250MS/s에서 요구되는 대역폭을 얻음과 동시에 필요한 위상 여유를 갖도록 하였다. 또한, 2개의 MDAC의 커패시터 열에는 소자 부정합에 의한 영향을 최소화하기 위해서 인접신호에 덜 민감한 향상된 3차원 완전 대칭 구조의 커패시터 레이아웃 기법을 제안하였으며, 기준 전류 및 전압 발생기는 온-칩 RC 필터를 사용하여 잡음을 최소화하고, 필요시 선택적으로 다른 크기의 기준 전압을 외부에서 인가할 수 있도록 설계하였다. 제안하는 시제품 ADC는 0.13um 1P8M CMOS 공정으로 제작되었으며, 측정된 DNL 및 INL은 각각 최대 0.24LSB, 0.35LSB 수준을 보여준다. 또한, 동적 성능으로는 200MS/s와 250MS/s의 동작 속도에서 각각 최대 54dB, 48dB의 SNDR과 67dB, 61dB의 SFDR을 보여준다. 시제품 ADC의 칩 면적은 $1.8mm^2$이며 전력 소모는 1.2V 전원 전압에서 최대 동작 속도인 250MS/s일 때 85mW이다.

• 암석학회지
• /
• 제21권1호
• /
• pp.1-12
• /
• 2012

우리 민족의 영산인 백두산은 동북아시아 지역에서 가장 활동적인 화산의 하나이며, 10세기 대분화는 지난 2,000년 이내에서 가장 격렬한 화산활동이었다. 백두산 천지 일원에서는 2002년에서 2005년까지 지하 마그마의 관입에 의한 화산성 지진의 급증 및 비정상적인 지표 변형이 발생하였다. 화산구조성 지진의 규모가 2002년 7월부터 갑자기 급증하였으며, 지진발생 빈도도 한 달에 수십 회에서 수백 회로 증가하였으며, 2002-2003년도에는 하루에 백 여 회의 군발(群發)지진이 발생하였으며, 2003년에는 연간 2,100여 회 발생하였고, 2006년도부터는 감소하는 추세를 보여 현재에는 1999년-2001년의 수준을 유지하고 있다. 주파수가 대체로 5 Hz 또는 5-10 Hz의 범위에 속하는 이러한 지진들은 B-형 화산구조성 지진(VT-B)과 장주기 지진(LP)으로 지하 3~5 km 천부에 위치한 마그마방 상부의 균열과 마그마의 관입에 기인하는 것이다. 2002년도부터 2009년도까지의 GPS관측에 의한 지표면의 수평변위에 의하면 2002년 이후 천지 칼데라 정상부를 중심으로 화산체가 팽창하는 것이 감지되었으며, 2002년도 대비 2003년도에는 약 4 cm 이상이었고 2003년도 이후에 그 변화율은 감소하는 경향으로 보였다. 백두산 성층화산체 사면에서의 정밀수준 측량에 의한 지표면의 수직적 팽창 또한 최대 10 cm 이상의 변위를 보였으며, 수직 변위와 수평 변위 모두 2006년도 이후 변화율은 다소 감소하는 추세를 보이나, 여전히 불안정한 상태를 보이고 있다. 온천에서 채취한 화산가스로부터 분석된 헬륨 동위원소비($^3He/^4He$)의 높은 값은 이들 가스들이 맨틀로부터 유래된 것임을 증명하고 있다. 천지 주변의 온천수의 온도가 $69^{\circ}C$에서 점진적으로 증가하여 최대 $83^{\circ}C$에 이르고 있다. 그간 비교적 큰 규모의 지진에 의한 산사태, 암벽붕괴, 화산가스에 의한 나무의 고사 등이 관찰되었고, 올해 여름 천지 칼데라 외륜산의 절벽으로부터 수차례의 암벽붕괴도 발생하였다. 이런 모든 현상들이 백두산 천지화산이 불안정한 상태에 있으며, 잠재적으로는 충분하게 분화 가능성이 있다는 것을 지시하는 것이다. 강력한 화산 감시 모니터링과 화산재해 경감을 위한 사전 방재대책이 필요한 단계라고 평가된다.

• 자원환경지질
• /
• 제25권4호
• /
• pp.417-433
• /
• 1992

경북(慶北) 의성(義城)지역 연(鉛)-아연(亞鉛)-동광상(銅鑛床)(전흥(田興), 옥산(玉山) 광산)은 경상분지(慶尙盆地) 백악기(白堊紀) 퇴적암류내의 구조면을 충진한 열수(熱水) 석영-방해석 맥상(脈狀) 광체(鑛體)로 구성된다. 광화(鑛化)작용은 구조적으로 석영-유화물(硫化物)-유염(硫鹽)광물-적철석 정출기, barren 석영-형석 정출기, barren 방해석 정출기 등 3회로 구분된다. 광화(鑛化) I기(期)의 광석(鑛石)광물은 황철석, 황동석, 섬아연석, 방연석 및 Pb-Ag-Bi-Sb계 유염광물(硫鹽鑛物) 등으로서 두 광산의 광물조성은 유사하지만, 유비철석, 자류철석, 테트라헤드라이트, 철을 다량 함유하는(약 21 mole% FeS)섬아연석 등은 옥산(玉山)광산에서만이 산출된다. 변질대 집운모(緝雲母)에 의한 K-Ar 연령은 약 62 Ma로서, 광화(鑛化)작용이 인근 금성산(金城山) 칼데라 화산암류와 도처에 분포하는 산성암맥의 분출 및 관입 활동과 관련된 후기 백악기(白堊紀) 화성활동의 산물이었음을 지시한다. 광화(鑛化) I기(期) 광물정출은 0.7~6.3wt.% NaCl 상당염농도(相當閻濃度)를 갖는 광화유체(鑛化流體)로부터 > $380^{\circ}{\sim}240^{\circ}C$의 온도범위에서 진행되었고, 특히 동(銅)광물은 대부분 > $300^{\circ}C$의 고온에서 침전하였다. 유체포유물(流體包有物) 연구에 의하면, I기 연(鉛)-아연(亞鉛)-동(銅)광물의 침전은 비등(沸騰) 냉각(冷却) 희석(稀釋)등 비교적 복잡한 양식의 광액(鑛液)진화에 기인하였지만, 전흥(田興)광산의 경우 차가운 천수(天水)의 유입(流入)에 따른 냉각(冷却) 및 희석(稀釋)이 우세하였던 반면, 옥산(玉山)광산의 경우는 비등(沸騰)이 우세하게 진행되었다. 광화유체(鑛化流體)의 비등(沸騰)에 근거한 광화(鑛化)작용시의 압력은 초기 약 210 bar에서 후기 약 80 bar에 이르며, 이는 열수계(熱水系)가 정암압(靜岩壓)이 우세한 환경에서 정수압(靜水壓)이 우세한 환경으로 전이되었음을 지시하여 주고 따라서 광화심도(鑛化深度)는 약 900m로 추정된다. 유화물(硫化物)의 유황동위원소(硫黃同位元素) 조성 ($2.9{\sim}9.6$‰)에 근거한 초기 열수유체(熱水流體)의 전(全)유황동위원소값(${\delta}^{34}S_{{\Sigma}S}$)은 약 8.6‰이며, 이는 심부(深部) 화성원(火成源)의 유황이 퇴적암류내 sulfate (?)와 다소 혼합되었음을 나타내는 것으로 사료된다. 한편, 수속 및 산소동위원소 조성은 열수계(熱水系)내의 물이 대부분 천수(天水)로부터 기원하였음을 지시한다. 광물열역학(鑛物熱力學)적 고찰 결과, I기 광화유체(鑛化流體)의 온도 및 유황분압(硫黃分壓)의 변화는 두 광산에서 다소 상이하였다. 즉, 전흥(田興)광산의 경우 온도 감소와 더불어 유황분압(硫黃盆壓)은 황철석-적철석-자철석의 공존선을 따라 지속적으로 감소하였으나, 옥산(玉山)광산의 경우는 초기 황철석-자류철석 공존환경으로부터 후기 황철석-적철석-자철석의 공존환경으로 전이하였다. 한편, 차고 산화(酸化) 상태인 천수(天水)가 광액(鑛液)중에 혼입(混入)됨에 따라 광액의 산소분압(酸素盆壓)은 점차 증가하였다. 동(銅)광물의 침전은 주로 광화유체(鑛化流體)의 냉각에 따른 동염화복합체(銅鹽化複合體)($CuCl^{\circ}$)의 용해도 감소에 기인하였으리라 고려된다. 이러한 냉각 작용은 전흥(田興)광산의 경우 주로 천수혼입(天水混入)에 따른 결과였지만, 옥산(玉山)광산의 경우는 주로 광화유체(鑛化流體)의 비등(沸騰)에 기인하였다.

• Journal of Oral Medicine and Pain
• /
• 제30권3호
• /
• pp.361-373
• /
• 2005

교합장치요법은 측두하악장애 환자의 증상과 징후를 감소시키는데 매우 효과적인 방법으로 밝혀져 있다. 교합장치의 저작효율에 관한 보고는 아직 없는 실정이다. 이 연구의 목적은 정상인에서 실험적으로 자연치열과 비교한 교합안정장치의 저작 효율을 조사하고, 개선된 저작 효율을 가진 변형된 교합안정장치를 개발하는 것이었다. 열한명의 연구대상자(평균 연령 25.3세, 연령 범위 23-33세)가 실험에 참여했다. 이 중 남자는 6명, 여자는 5명 이었다. 이들은 완전하거나 거의 완전한 자연치열을 가지고 있고 측두하악장애의 증상과 징후가 없는 건강한 사람들이었다. 기존의 편평한 교합면이 있는 상악 교합안정장치(FSA) 및 교합면에 부가적으로 해부학적인 구조가 있는 변형된 교합안정장치(ASA)의 2종의 교합장치를 각 대상자마다 제작하였다. 자연치열, ASA 및 FSA의 3가지 저작 조건에서 연구대상자들이 시험식품으로 선택된 땅콩을 저작하도록 하였다. 1분간의 저작기간 동안 저작주기 회수를 세었다. 저작된 땅콩 식괴를 회수하고 조직감 분석을 통해 경도를 측정하였다. 경도와 저작주기 회수에 대하여 통계분석을 시행하였으며, 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. FSA의 저작효율은 자연치열의 38.6%에 해당하였다. ASA의 저작효율은 자연치열의 78.2%에 해당하였다. 2. 자연치열의 저작조건에서의 저작주기 회수는 초당 1.5회로 측정되었으며, 이는 ASA와 FSA의 조건에서 약 90%로 감소되었다. 이러한 결과는 ASA가 측두하악장애에서의 치료효과뿐만 아니라 향상된 저작기능을 수행할 수 있도록 함을 보여주었다. TMD 환자의 치료에 ASA의 임상적 사용을 긍정적으로 고려할 수 있을 것이다.

• 대한핵의학회지
• /
• 제39권6호
• /
• pp.438-444
• /
• 2005

본 연구는 정상 성인에서 무쾌감증과 정적 및 부적 정동소질 (positive and negative affect trait)의 연관성을 밝히고, 이 요인들과 연관이 있는 신경 구조들을 찾아내는데 있다. 이를 위해서 정상 성인 21명을 대상으로 $^{18}F$-FDG PET를 이용하여 정지 상태(resting state)에서의 뇌 활성도를 측정하였고, 무쾌감증 척도(anhedonia scale)와 정적/부적 정동척도(positive affect and negative affect schedule)를 이용하여 개인의 정서적 소질을 측정하여 상관관계를 알아보았다. 본 연구의 결과. 무쾌감증이 정적 정서 소질과 음의 상관관계를 보였으며, 두 변인 모두 하측두이랑(inferior temporal gyrus)의 대사와 상관관계를 보였다. 이와 함께, 신체적 무쾌감증과 사회적 무쾌감증은 소뇌(cerebellum)의 대사와 양의 상관관계를, 사회적 무쾌감증은 전전두피질(prefrontal corex)의 대사와 음의 상관관계를 보이는 소견이 관찰되었다. 이들 영역들은 이전의 연구들에서 주로 인지적 손상 및 이와 연관된 음성증상들과 연관이 있다고 주장되어 왔으나, 본 연구의 결과는 하측두이랑(inferior temporal gyrus)과 전전두엽-소뇌 회로(prefrontal-cerebellar circuit)가 정서적인 영역의 음성증상 발현과도 관련이 높을 가능성을 시사하고 있다. 특히, 본 결과들은 정신분열병 환자가 아닌 정상 성인을 대상으로 한 연구이기 때문에, 정신분열병의 발병 유무와 상관없이 또는 선행해서 존재하는 무쾌감증의 신경해부학적 기능이상에 대한 단서를 제공했고, 정상적 성격 성향과 뇌기능과의 관련성을 제시하였다는데 의의가 있다.부하기에서 각각 0.95, 0.93, 0.71이었고 휴식기에서 각각 0.95, 0.90, 0.69으로 대체적으로 좋았으나 Bland-Altman분석에서 두 프로그램의 일치의 한계 값의 범위가 비교적 컸음을 볼 수 있었다. 결론: 이번 연구를 통하여 심혈관 질환의 가능성이 낮은 환자에서 QGS와 4DM 프로그램 각각의 EDV, ESV, EF의 정상 값을 구하였다. 두 프로그램의 상관관계는 높지만 두 프로그램의 결과 값을 혼용하여 사용할 수는 없을 것이다. 이를 이용하여 앞으로 판독에 유의한 참고 자료로써 사용될 수 있을 것으로 생각된다.한 70-90분 영상에서 각 관심 영역에서의 방사성 농도를 구하였고, 조직비 방법에 근거하여 기저상태 및 흡연 상태의 방사성 리간드의 수용체 결합능 (binding potential;BP)을 구하였다($BP=C_{ROI}/C_{cerebellum}-1$). 흡연에 의한 도파민의 유리는 흡연 전후의 $[^{11}C]raclopride$의 수용체 결합능의 변화율로 계산하였다. 흡연에 의한 혈중 니코틴의 상승은 흡연후 90 분간의 혈중 니코틴의 축적 농도로 계산되었으며, 흡연에 의한 $[^{11}C]raclopride$의 수용체 결합능의 감소율과 혈중 니코틴의 축적 농도와의 상관관계를 스피어만 상관분석법(Spearman's correlation)에 의하여 알아보았다. 결과: 흡연에 의한 선조체에서의 평균 $[^{11}C]raclopride$의 수용체 결합능의 변화는 미상핵에서 4.7%, 전피각에서 4.0%, 복측 선조체에서 7.8% 의 감소를 보여 흡연에 의한 선조체내 도파민 유리를 정량화 하였다. 특히 선조체에서의 도파민 유리에 의한 수용체 결합능의 감소는

• 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
• /
• 제13권5호
• /
• pp.8-19
• /
• 2008

우라늄 함량이 높은 흑색 셰일 및 점판암이 주요 기반암인 괴산군 청천면 덕평리 일대 토양의 물리/화학적 특성을 규명하였고, 토양으로부터 우라늄을 제거하기위한 다양한 세척용액 및 세척조건을 적용한 실내 세척 실험을 실시하여, 토양 세척법이 우라늄 함량이 높은 토양으로부터 우라늄을 제거하는데 효과적인 방법임을 입증하였다. 총 8지점 토양 시료의 우라늄 농도를 분석하여 인공강우 용출실험(SPLP), 독성물질 용출실험(TCLP)을 실시한 결과 가장 우라늄함량이 높은 S2 토양의 경우 SPLP 용출 농도가 USEPA 음용수 기준치(30 ${\mu}g$/L)를 초과하여 토양으로부터 주변수계로의 지속적인 오염 가능성이 있는 것으로 나타났으며, 연속추출실험(SEP) 결과 약산 강우에 의해 토양으로부터 우라늄 용출이 발생할 수 있는 것으로 판단되었다. 토양으로부터 우라늄을 제거하기위하여 다양한 세척액과 세척조건을 적용하여 토양 세척 실험을 실시한 결과, pH 1인 산성용액, 염산 0.1 M 용액, 황산 0.05 M 용액, 구연산 0.5M 용액을 세척액으로 사용하는 경우 우라늄 제거 효율이 80% 이상이었으며, 아세트산과 EDTA 용액의 경우 30%이하의 낮은 제거율을 나타내었다. 토양/세척액 비율은 1 : 3, 세척 시간을 30분, 토양 당 반복 세척 회수를 2회로 설정하여 위의 세척용액들을 이용하는 경우, 실제 우라늄 함량이 매우 높은 S2 토양 주변 현장에서 토양 세척법이 우라늄 제거에 효과적으로 적용될 수 있을 것으로 판단되었다. 세척 전/후 토양의 총유기탄소함량(TOC), 양이온 교환 능력(CEC)을 측정하였고, X-선형광분석(XRF)과 X-선회절분석(XRD)을 실시하여 비교함으로써 세척 후 토양 특성 변화를 규명하였다. 세척 후 토양의 TOC와 CEC가 각각 55%, 66%까지 감소하여 세척한 토양을 작물재배용으로 재사용할 경우 적절한 개량제를 첨가하는 것이 바람직할 것으로 나타났다. 세척 전/후 토양의 XRF 및 XRD 분석 결과, 산세척에 의한 토양의 주요 성분과 광물 구조 변화는 심각하지 않은 것으로 나타나 pH 회복을 위한 추가 물 세척 후 세척 토양을 재활용 할 수 있을 것으로 판단되었다.

• Clinical and Experimental Pediatrics
• /
• 제46권6호
• /
• pp.561-565
• /
• 2003

목 적 : 요로 감염은 진단 및 치료가 일찍 이루어지지 않으면 심한 신장 손상을 일으킬 수 있는 질환이고 재발 역시 잦은 질환이므로 미리 재발이 예방된다면 신장의 손상을 줄일 수 있을 것이다. 저자들은 요로 감염의 재발에 영향을 주는 위험인자를 분석하여 위험성이 높은 환아들을 조기에 선별하여 재발을 조기에 진단함으로 손상을 줄이는데 도움을 주고자 본 연구를 시행하였다. 방 법 : 2000년 1월부터 2001년 12월까지 고려대학교 구로병원 소아과에서 요로 감염으로 치료받은 환아 168명 중에 6개월 이상 추적 관찰한 93명을 대상으로 하였으며 의무 기록지를 바탕으로 후향적 조사를 하였다. 요로 감염의 재발을 진단하기 위해 매달 소변 배양 검사를 실시하였다. 결 과 : 총 재발률은 32.3%로 남아에서는 37.1%였고 여아에서는 17.4%였다(P<0.05). 요로 감염시의 원인균으로는 초발이나 재발에 모두 E.coli가 가장 많았다. 재발 감염이 있는 남아의 초발 감염은 재발이 없는 남아보다 발병 시기가 빨랐다($4.8{\pm}1.0$개월 대 $16.5{\pm}3.8$개월, P<0.05). 첫 감염 후 첫 6개월내에 약 77% 정도에서 재발을 하였는데 남아에서의 첫 감염 후 재발이 여아에서의 재발보다 빨랐다($3.7{\pm}0.6$개월 대 $14{\pm}8.2$개월, P<0.05). 1세 미만에 요로 감염이 발병한 환아에 있어 재발 횟수는 연간 $0.69{\pm}0.8$회로 1세 이상에서 요로 감염이 발병한 환아의 재발 횟수인 연간 $0.16{\pm}0.4$회보다 의의있게 높았으며 구조적인 이상 유무가 재발에 미치는 영향은 없었다. 결 론 : 요로 감염의 재발에 대한 위험인자로는 성별과 연령이 중요하게 생각되며 남아인 경우, 1세 미만인 경우가 이에 해당한다. 그러므로 특히 이런 환아들에서는 정기적으로 매달 소변 배양 검사를 감염 후 적어도 첫 6개월 꼭 시행하는 것이 바람직하다. 예방적 항생제 요법을 하는 경우에 방광 요관 역류는 재발의 위험인자로 생각되지는 않으며 따라서 방광 요관 역류가 있는 경우에는 예방적 항생제 요법을 시행하여야 할 것이다.

• Clinical and Experimental Pediatrics
• /
• 제46권4호
• /
• pp.363-369
• /
• 2003

목 적 : 본 연구는 저신장 소아 중 성장호르몬 약물자극검사에서는 정상반응을 나타낸 특발성 저신장 소아들을 대상으로 야간의 수면 양상과 성장호르몬 분비가 정상 신장의 아동과 차이가 있는지 알아보고자 하였다. 방 법 : 성장호르몬 약물자극검사에서 정상반응을 보인 신장이 3 백분위수 이하인 특발성 저신장 아동 12명과 정상 신장 아동 9명을 대상으로 30분 간격으로 야간수면 동안의 자발적 성장호르몬 분비를 측정하고 동시에 polysomnography로 수면양상을 비교 분석하였다. 결 과 : 1) 야간 수면 중 분비된 성장호르몬의 평균농도는 저신장 아동군이 정상 아동군에 비해 유의하게 낮았으며($2.8{\pm}0.2 ng/mL$ vs $4.7{\pm}0.6 ng/mL$), 특히 수면개시 후 서파 수면과 동반되는 성장호르몬 최대 분비치가 저신장 아동군이 낮았다. 2) 수면 중 성장호르몬 농도가 5 ng/mL 이상인 성장호르몬 분비 최대치의 횟수는 각각 $4.1{\pm}0.5$회, $5.8{\pm}0.6$회로 저신장군이 유의하게 적었다. 3) 전체 수면 시간에 대한 서파 수면 시간의 백분율도 저신장 아동군이 정상 아동군에 비해 감소되어 있었다($16.4{\pm}1.3%$ vs $20.8{\pm}1.2%$). 결 론 : 야간 수면 동안의 자발적인 성장호르몬 분비 검사가 약물자극검사에서 정상반응을 보이는 특발성 저신장 아동의 추가적인 진단에 도움을 줄 수 있으며 이들 저신장 아동에서 보이는 야간 성장호르몬 분비 감소는 수면구조의 차이와 일부 관련이 있는 것으로 생각된다.

• 치위생과학회지
• /
• 제14권1호
• /
• pp.67-73
• /
• 2014

본 연구는 치위생과학회지의 질적 향상과 치위생 관련 연구의 보다 나은 발전을 모색하기 위해 2001년부터 2012년까지 발간된 치위생과학회지의 게재논문 총 548편을 조사하고 분석함으로써 다음과 같은 결론을 얻었다. 논문의 연구설계에 의한 분석으로는 단면연구가 434편으로 가장 높게 조사되었고, 실험연구 100편, 2차 자료를 이용한 연구 38편, 기타 14편의 순으로 조사되었다. 실험논문을 제외한 434편의 논문 연구대상자를 살펴보면, 치과위생사 대상이 100편으로 가장 많았고, 치위생과 학생 대상이 82편, 치과 병 의원의 내원환자 대상이 52편, 일반인 대상이 39편, 초등학생 대상이 28편, 대학생 대상이 26편 순으로 조사되었다. 논문의 저자 수에 대한 분석에서는 2인이 206편으로 가장 많았고, 3인이 142편, 1인이 114편, 4인이 37편 순으로 나타났다. 자료분석방법으로는 기술통계가 424회로 가장 많았고, t-test, ANOVA, X2 검정, 상관관계 순으로 조사되었으며, 그 밖의 분석방법으로 회귀분석, 비모수 검정 관련 분석, 경로분석, 공분산분석, 구조방정식 등이 사용된 것으로 조사되었다. 연구주제 분류에 있어서는 구강건강행동과학이 251편으로 가장 많았고, 임상치위생 123편, 기초치위생 93편, 기타 35편, 치위생교육과정 26편, 치위생관리 20편 순으로 나타났다. 연구비 수혜여부에서는 548편의 논문 중 97편만이 연구비를 지원받았고, 년도 별로는 2012년이 31편으로 가장 많았으며, 2011년에 18편, 2009년에 13편 순으로 조사되었다. 논문의 참고문헌 수는 평균 21.7편으로 국내 참고문헌 수 13.1편, 국외 참고문헌 수 8.6편이 인용되었음을 보여주었다. 또한 본 학회지의 자기인용 수준은 평균 1.26편으로 나타났다. 본 논문의 조사에 의하면 단면연구 외의 다른 연구 설계 논문들이 현저히 적은 것으로 나타났으며, 장애인이나 임산부 등의 특수집단을 대상으로 한 연구논문은 그 편수가 상당히 미비한 것으로 조사되었다. 따라서 단면연구 뿐 아니라 다양한 설계의 논문들이 쓰여져야 할 것이며 치위생 관련 활동이나 연구가 반드시 어느 특정한 대상을 위해서만이 아닌 모든 국민 전체가 대상이 되어야 하는 만큼 소외된 계층이나 특수 대상을 위한 연구 또한 활발히 이루어져야 할 것으로 생각된다.

• 마이크로전자및패키징학회지
• /
• 제19권1호
• /
• pp.61-66
• /
• 2012

반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 화학적-기계적 연마(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 화학적-기계적 연마 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. 화학적-기계적 연마공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 화학적-기계적 연마 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리(Slurry), 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 화학적-기계적 연마 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 화학적-기계적 연마 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 스크래치(Scratch) 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 유기박막을 표면에 증착하여 부식을 방지하고자 하였다. 컨디셔너 제작에 사용되는 금속인 니켈과 니켈 합금을 기판으로 하고, 증착된 유기박막으로는 자기조립단분자막(SAM: Self-Assembled Monolayer)과 불화탄소(FC: FluoroCarbon) 박막을 증착하였다. 자기조립단분자막은 2가지 전구체(Perfluoroctyltrichloro silane(FOTS), Dodecanethiol(DT))를 사용하여 기상 자기조립 단분자막 증착(Vapor SAM) 방법으로 증착하였고, 불화탄소막은 10 nm, 50 nm, 100 nm 두께로 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition, SRN-504, Sorona, Korea) 방법으로 증착하여 표면의 부식특성을 평가하였다. 표면 부식 특성은 동전위분극법(Potentiodynamic Polarization)과 전기화학적 임피던스 측정법(Electrochemical Impedance Spectroscopy(EIS)) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. 또한 측정된 임피던스 데이터를 전기적 등가회로(Electrical Equivalent Circuit) 모델에 적용하여 부식 방지 효율을 계산하였다. 동전위분극법과 EIS의 결과 분석으로부터 유기박막이 증착된 표면의 부식전류밀도가 감소하고, 임피던스가 증가하는 것을 확인하였다.