• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.11a
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• pp.247-251
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• 2004

반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.45 no.2
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• pp.241-247
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• 2013

AOAC Mouse Bioassay Analysis (MBA) has been the gold standard for the analysis of paralytic shellfish poisoning toxin (PSP toxin) for more than 50 years. However, this method has inaccurate limit of quantification and cannot be used to determine toxic profiles. An HPLC method (PCOX) was optimized for Korean shellfish to establish an alternative or supplementary method for PSP analysis and was intended to be used for the official monitoring and regulation of food. The recovery rate of the PCOX method was 83.5-112.1% and the limit of quantification for total toxin was about $8.6{\mu}g$/100 g. A long-term comparison study showed a good correlation of the PCOX results with the AOAC MBA results: the correlation factors were 0.9534 and 0.9109 for oyster and mussel matrices, respectively. The PCOX method may be used as an alternative or supplementary method for AOAC MBA to monitor the occurrence of PSP and to analyze PSP toxin profile in oysters and mussels.

• Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene
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• v.17 no.4
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• pp.272-281
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• 2007

선박제조업을 비롯한 운송업 및 건축업 등의 다양한 분야에서 용접기술이 이용되어 옴에 따라 용접근로자들에 대한 산업보건학적 관심이 높아지고 있다. 노출정도가 다양하기는 하지만 용접흄은 6가 크롬을 비롯한 금속화합물과 유해가스, 화학물질 등을 복합적으로 포함하고 있는 스테인레스 스틸 용접흄에 대한 유전독성영향을 평가하기 위하여 흡입챔버를 이용, 실험동물인 영장류에 스테인레스 스틸 용접흄을 노출시키고 혈액 내 lymphocytes에 생성된 용접흄 노출농도 및 시간별 DNA 손상정도 및 그 회복효소를 측정함으로써, 유해성이 완전하게 확인되지 않은 용접흄에 노출되어 나타날 수 있는 암을 비롯한 심각한 건강영향을 예방하기 위한 각 지표들을 찾아 그 유용성을 비교하고자 하였다. 영장류를 노출시키기 위해 robotic arm을 장치한 영장류 흡입노출 시스템을 개발하였으며, 이 노출 시스템을 이용하여 수컷 영장류 6마리에 대해 용접흄 노출시험을 실시하였는데 실험군은 대조군 2, 저농도 ($31mg/m^3$) 노출군 2, 고농도 ($63mg/m^3$) 노출군 2마리로 구성하였고, 1일 2시간씩 일주일에 5일 동안 용접흄에 노출시켰다. 노출 농도는 지속적으로 모니터링 하였고, 노출과정 중에 영장류의 혈액을 채취하여 lymphocytes를 분리, 단세포 DNA 손상을 선별하기 위해 DNA 손상회복 효소인 E. coli formamidopyrimidine-DNA glycosylase (Fpg)와 endonuclease Ⅲ (Thymine Glycol-DNA glycosylase) 투여와 Comet asaay (single cell gel electrophoresis, 단세포겔전기영동기법)를 결합시켜 이용하는 Fpg/Endo III FLARE 분석법을 사용하였다. Fpg enzyme에 의한 olive tail moment값의 변화는 16주 노출군부터 노출부검(34주)군 까지 노출농도가 높아짐에 따른 olive tail moment 기하평균 값의 양 반응관계를 보기는 어렵지만, 고농도군의 경우 27주 노출군에서 가장 높은 olive tail moment 값을 보이고 이후 차츰 감소하였다. 한편 16주에서 22주까지의 노출기간에서는 대조군에 비해 노출군에서 DNA손상정도(olive tail moment값)는 모두 유의하게 높았으나, 6, 12, 18, 25, 31, 33, 35주간 노출하였을 때는 다른 결과를 보였다. 각 실험군의 Fpg enzyme에 의한 tail length값의 분포를 살펴볼 때, 저농도군 및 고농도군에서 27주간 노출하였을 때 가장 높은 tail length 값을 보이고 이후 차츰 감소하는 경향을 보였다. 또한 16, 22주간 노출하였을 때 대조군에 비해 노출군에서 tail length 값이 유의하게 높았으나, 20주간에서만 양 반응관계가 관찰되었고, 다른 주간에서는 양 반응 및 기간 반응관계를 나타내지는 않았다. Endo III enzyme에 의한 olive tail moment값의 변화는 기간별 노출군에서 대조군에 비해 높은 DNA손상정도(olive tail moment값)를 나타내는 결과들이 있었지만, 10, 12, 16, 22, 25, 31주간 노출하였을 때 등 상당수 노출기간에서 반응관계를 나타내지는 않았다. 각 실험군의 Endo III enzyme에 의한 tail length값의 분포를 살펴볼 때, 18, 20, 27, 33주간 노출하였을 때 대조군에 비해 노출군에서 tail length 값이 조금 높았지만, 양 반응 및 기간 반응관계를 보이지 않았고 수치의 크기가 불규칙하게 변화하였다. 즉, DNA에 있어 산화된 pyrimidine을 형성하여 손상된 부위의 염기를 제거함으로써 AP site (abasic site)를 만들고 이들이 Comet assay를 통해 break로 전환된 것을 포함한 DNA손상을 측정하기 위하여 endonuclease III (Endo III)를 첨가시킨 Endo III FLARE 분석법을 실시한 결과, 본 연구에서 나타난 결과는 용접흄 노출 영장류에서 Olive tail moment 및 tail length 공히 노출량 및 노출기간 반응관계를 볼 수 없었다. Endo III FLARE 분석법을 통한 산화적 DNA 손상지표는 영장류에 적용하기에는 적응반응현상으로 대조군과 유의한 차이도 관찰할 수 없었고 더욱이 역으로 대조군에서의 자연발생적 수치가 더 높아질 수 있어 용접흄 노출 영장류의 모니터링 지표로 사용하기에는 제한점이 있었다.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.32 no.1
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• pp.148-156
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• 2015

In this study the differences in the sample size and sample input changes as characteristics of bio-oil oak(Quercus variabilis), the oak 0.5~2.0 mm of the oak weighing 300~900g was processed into bio-oil via fast pyrolysis for 1.64 seconds. In this study, the physico-chemical properties of biooil using oak were investigated. Fast pyrolysis was adopted to increase the bio-oil yield from raw material. Although the differences in sample size and sample input changes in the yield of pyrolysis products were not significantly noticeable, increases in the yield of bio-oil accounted for approximately 60.3 to 62.1%, in the order of non-condensed gas, and biochar. When the primary bio-oil obtained by the condensation of the cooling tube and the seconary bio-oil obtained from the electric dust collector were measured separately, the yield of primary bio-oil was twice as higher than that of the secondary bio-oil. However, HHV (Higher Heating Value) of the secondary bio-oil was approximately twice as higher than that of the primary bio-oil by up to 5,602 kcal/kg. The water content of the primary bio-oil was more than 20% of the moisture content of the secondary bio-oil, which was 10% or less. In addition, the result of the elemental analysis regarding the secondary bio-oil, its primary carbon content was higher than that of the primary bio-oil, and since the oxygen content is low, the water content as well as elemental composition are believed to have an effect on the calorific value. The higher the storage temperature or the longer the storage period, the degree of the viscosity of the secondary bio-oil was higher than that of the primary bio-oil. This can be the attributed to the chemical bond between the polymeric bio-oil that forms during the storage period.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.310-310
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• 2014

ZnO박막은 넓은 밴드갭 (3.37 eV), 높은 여기 결합 에너지 (60 meV)를 가지는 육방정계 우르자이트(hexagonal wurtzite) 결정구조를 가지는 II-VI족 화합물 반도체로, 가시광선 영역에서의 높은 광학적 투과도 특성과 자외선 파장에서 발광이 가능한 장점을 가진다. 최근, ZnO박막 성장 기술이 상당히 발전하였지만, 아직까지도 p-형 ZnO박막 성장 기술은 충분히 발전하지 못하여 ZnO의 동종접합 LED는 아직 상용화되지 않고 있는 실정이다. 따라서, 많은 연구 그룹에서 p-GaN, p-SiC, p-diamond, p-Si 등과 같은 p-type 물질 위에 n-type ZnO를 성장시킨 이종접합 다이오드가 연구되고 있다. 특히, p-GaN의 경우 ZnO와의 격자 불일치 정도가 1.8 % 정도로 작다는 장점이 있어 많은 연구가 이루어 지고 있다. 일반적으로 c-축을 기반으로 한 극성ZnO 발광다이오드에서는 자발 분극과 압전 분극 현상에 의해 밴드 휨 현상이 발생하고, 이로 인해 전자와 정공의 공간적 분리가 발생하게 되어 발광 재결합 효율이 제한되고 있다는 문제가 발생한다. 따라서, 본 연구에서는 극성 (0001) 및 비극성 (10-10) n-ZnO/p-GaN 발광다이오드의 성장 및 발광 소자의 전기 및 광학적 특성에 대한 비교 연구를 진행하였다. 금속유기 화학증착법을 이용하여 c-면과 m-면 위에 각각 극성 (0001) 및 반극성 (11-22) GaN박막을 $2.0{\mu}m$ 성장시킨 후 Mg 도핑을 한 p-GaN을 $0.4{\mu}m$ 성장시켜 각각 극성 (0001) 및 반극성 (11-22) p-GaN템플릿을 준비하였다. 이후, N2분위기 $700^{\circ}C$에서 3분동안 열처리를 통하여 Mg 도펀트를 활성화시킨 후 원자층 증착법을 이용하여 동시에 극성 및 반극성 p-GaN의 위에 n-ZnO를 $0.11{\mu}m$ 성장시켜 이종접합구조의 발광소자를 형성하였다. 이때, 극성 (0001) p-GaN 위에는 극성의 n-ZnO 박막이 성장되는 반면, 반극성 (11-22) p-GaN 위에는 비극성 (10-10) n-ZnO 박막이 성장됨을 HR-XRD로 확인하였다. 극성 (0001) n-ZnO/p-GaN이종접합 발광다이오드의 전계 발광 스펙트럼에서는 430 nm 와 550 nm의 두 피크가 동시에 관찰되었다. 430 nm 대역의 파장은 p-GaN의 깊은 준위에서 발광하는 것으로 판단되며, 550 nm 피크 영역은 ZnO의 깊은 준위에서 발광되는 것으로 판단된다. 특히, 10 mA 이하의 저전류 주입시 550 nm의 피크는 430 nm 영역보다 더 큰 발광세기를 나타내고 있다. 하지만, 10 mA 이상의 전류주입 하에서는 550 nm의 영역보다 430 nm의 발광세기가 더욱 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 이것은 ZnO의 밴드갭이 3.37 eV로 GaN의 밴드갭인 3.4 eV다 작기 때문에 우선적으로 ZnO의 깊은 준위에서 발광하는 550 nm가 더욱 우세하지만, 지속적으로 전류주입 증가에 따른 캐리어 증가시 n-ZnO에서 p-GaN로 전자가 넘어가며 p-GaN의 깊은 준위인 430 nm에서의 피크가 우세해지는 것으로 판단된다. 반면에, 비극성 (10-10) n-ZnO/반극성 (11-22) p-GaN 구조의 이종접합 발광다이오드로 전계 발광 스펙트럼에서는 극성 (0001) n-ZnO/p-GaN에 비하여 매우 낮은 전계 발광 세기를 나타내고 있다. 이는, 극성 n-ZnO/p-GaN에 비하여 비극성 n-ZnO/반극성 p-GaN의 결정성이 상대적으로 낮기 때문으로 판단된다. 또한, 20 mA 영역에서도 510 nm의 깊은 준위와 430 nm의 발광이 관찰되었다. 동일한 20 mA하에서 두 피크의 발광세기를 비교하면 430 nm의 영역은 극성 n-ZnO/p-GaN에 비하여 매우 낮은 값을 나타내고 있다. 이는 반극성 (11-22) p-GaN의 경우 극성 (0001) p-GaN에 비하여 우수한 p-형 특성에 기인한 것으로 판단된다.

• Journal of the Korean Electrochemical Society
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• v.6 no.1
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• pp.41-47
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• 2003

For the development of low temperature anode-supported planar solid oxide fuel cell, the planar anode supports with the thickness of 0.8 to 1 mm and the area of 25, 100 and $150\;cm^2$ were fabricated by the tape casting method. The strength, porosity, gas permeability and electrical conductivity of the planar anode support were measured. The porosity of anode supports sintered at $1400^{\circ}C$ and then reduced in$H_2$ atmosphere was increased from $45.8\%\;to\;53.9\%$. The electrical conductivity of the anode support was $900 S/cm\;at\; 850^{\circ}C$ and its gas permeability was 6l/min at 1 atm in air atmosphere. The electrolyte layer and cathode layer were fabricated by slurry dip coating method and then had examined the thickness of $10{\mu}m$ and the gas permeability of 2.5 ml/min at 3 atm in air atmosphere. As preliminary experiment, cathode multi-layered structure consists of LSM-YSZ/LSM/LSCF. At single cell test using the electrolyte layer with thickness of 20 to $30{\mu}m$, we achieved $300\;mA/cm^2$ and 0.6V at $750^{\circ}C$

• The Korean Journal of Nuclear Medicine
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• v.33 no.1
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• pp.84-93
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• 1999

Purpose: We investigated the direct labeling method of antibody with $^{99m}Tc$ and $^{188}Re$ and examined the stability and function of these labeled compounds in in vitro and in vivo. Materials and Methods: Disulfide bond of nonspecific human IgG was reduced to -SH group by 2-mercaptoethanol. Stannous ion was used to reduce $^{99m}Tc$ and $^{188}Re$. The stability of $^{99m}Tc$-IgG and $^{188}Re$-IgG was estimated upto 24 hrs. Biodistribution was evaluated in abscess bearing rats at 4 and 24 hr post-injection of $^{99m}Tc$ or $^{188}Re$ labeled IgG. Results: The number of -SH group per reduced IgG molecule was 2.34. The labeling yield of $^{99m}Tc$-IgG and $^{188}Re$-IgG were 90% and 95%, respectively The stability of $^{99m}Tc$-IgG at 1, 4, 6 and 24 hr was 91%, 83%, 78%, 7% and that of $^{188}Re$-IgG at 1, 4, 16 and 24 hr was 94%, 80%, 47%, 42%, respectively. At 4 hr post-injection of $^{99m}Tc$-IgG, high uptake was found on kidney, blood, stomach and abscess ($9.42{\pm}0.68,\;1.43{\pm}0.24,\;0.86{\pm}0.18,\;0.72{\pm}0.10$ %ID/g, respectively). The uptakes at 24 hr were kidney, abscess,.itomach, and blood in descending order. In case of $^{188}Re$-lgG, high uptake at 4 hr post injection appeared on kidney, blood, abscess and stomach ($3.92{\pm}0.62,\;1.32{\pm}0.08,\;0.88{\pm}0.01,\;0.26{\pm}0.06$, respectively). The uptakes at 24 hr were kidney, abscess, blood and stomach in descending order. The abscess to blood uptake ratio of $^{99m}Tc$-IgG was 0.5 at 4 hr and 2.02 at 24 hr and that of $^{188}Re$-IgG was 0.67 and 1.29. Conclusion: $^{99m}Tc$-IgG and $^{188}Re$-IgG canbe labeled efficiently with direct labeling method. However, $^{99m}Tc$-IgG and $^{188}Re$-IgG, labeled with direct method, was unstable. Further study is needed to enhance the stability of the antibody labeling.

• Journal of Life Science
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• v.17 no.4 s.84
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• pp.462-469
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• 2007

In this study, we isolated, characterized, and compared the vasa homologous genes of diploid and triploid Paragonimus westermani and localized VASA homologous proteins in both lung fluke types. Open reading frames of Pw-vasa-2n and Pw-vasa-3n were of 1812 bp, and encoded deduced proteins of 622 amino acids with calculated molecular weights of 69.0 kDa and 68.9 kDa and pI's of 9.11 and 9.03, respectively. A comparison of these two VASA deduced protein sequences showed that only 6 of the 622 amino acids differed. The deduced sequences of Pw-VASA-2n and Pw-VASA-3n contained eight consensus sequences characteristic of the DEAD-box protein family and their N-terminal regions contained four arginine-glycine-glycine (RGG) motifs. These two lung fluke VASA-like proteins were more similar to those of other VASA proteins than to those of other DEAD-family proteins isolated from several organisms (planarian, zebra fish, mouse, and human). vasa homologous gene transcription and VASA protein expressions in triploid type lung flukes was slightly stronger than in the diploid type. Immunostaining showed that testes and a portion of the ovaries of both diploid and triploid lung flukes reacted strongly to anti-Pw-VASA antibody.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.3 no.4
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• pp.595-604
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• 1992

Carbonate-type polyurethane resins containing anionic moieties were systhesized from NCO-terminated prepolymer method. Membranes were manufactured from the polymer solution and the separation of aqueous ethanol solution was investigated. To enhance the property of urethane resin, carbonate-type polyol(PTMCG) was used. ${\alpha}^{\prime},{\alpha}^{{\prime}{\prime}}$-dimethylolpropionic acid was used as a chain extender to increase the hydrophilicily of the urethane membrane. The ionization of the pendent carboxylic groups in urethane resin was carried out using trimthylamine. To confirm the formation of anionic groups in urethane resin, IR spectra of model compounds were compared with those of urethane resins. It was confirmed that the concentration of hard segment and hydrogen bond contributed to the property of the concentration of hard segment and hydrogen bond contributed to the property of urethane resin in which the mole ratio of chain extender and polyol was from 3:1 to urethane resin in which the mole ratio of chain extender and polyol was from 3:1 to 5:1. The carbonate-type polyurethane containing pendent carboxylic grop(PU) had Tg of around-$25^{\circ}C$ and Tm, $45^{\circ}C$ measured by DSC. Transition temperatures of one containing pendent anionic group(APU) prepared from the ionization of PU shifted to $8{\sim}10^{\circ}C$ lower temperature region than those of PU. Pervaporation membrane was prepared through the casting method. N, N-dimethylformamide (DMF) were used as a solvent and hexamethylene diisocyanate(HMDl) as a crosslinking agent. Swelling degree increased with ethanol concentration in mixure and the control of the swelling degree of the membrane could be achieved by crossliking. The results of pervaporation were as follows : separation factor, 2.3~9.8 ; flux, $27{\sim}79.5g/m^2hr$. Pervaporation separation capacity could be enhanced by reducing the molecular weight of polyol from 2,000 to 1,000.

• Applied Biological Chemistry
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• v.23 no.2
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• pp.131-139
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• 1980

TOK (2,4-Dichlolo-4'-nitrodiphenyl ether) was applied to two Korean soils possessing different physico-chemical properties at a certain concentration and incubated for a certain time under flooded conditions. The metabolites and the soil microorganisms involved in the degradation of TOK are studied. Chong Ju and Chung Ju soils treated with TOK at a concentration of 500 ppm and incubated for two, four, and six months at $30^{\circ}C$ yielded 4-chloro-4'-amino diphenyl ether, 2, 4-dichloro-4'-amino diphenyl ether(amino-TOK), N-[4'-(4-chloro-phenoxy)] phenyl acetamide, and N-[4'-(4-chloro-phenoxy)] phenyl formamide as the major metabolites. TOK underwent the reduction of nitrogroup to amino group, dechlorination, acetylation, and formylation. No cleavage at the ether linkage was recognized. TOK was more readily degraded in Chung Ju soil which is characterized by the higher pH (PH 6.43), clay loam in textural class, and the higher cation exchange capacity. The toxicity of TOK as a possible environmental contaminant is expected to be considerably reduced as a result of the above degradation Twelve strains of soil bacteria were isolated from the TOK-treated Chong Ju and Chung Ju soils. As a result of the incubation of TOK in pure cultures of the isolates, T-1-1 strain isolated from Chong Ju soil had almost no degradability, whereas T-2-3 strain turned out to be the most potent. The degradation of TOK by the isolates constituted mostly the reduction of the nitro group to amino group. The citrate buffer extract of Chung Ju soil reduced TOK more readily to amino-TOK than that of Chong Ju soil.