• 제목/요약/키워드: 해석체

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학습공동체에 참여한 수학교사의 정체성 형성 과정에 대한 사례연구: 실천공동체 이론을 중심으로 (Case study on identity development of mathematics teachers involved in learning community: Based on the theory of "Community of Practice")

  • 윤정은;권오남
    • 한국수학교육학회지시리즈E:수학교육논문집
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    • 제38권1호
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    • pp.1-26
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    • 2024
  • 수학 수업의 질적 향상을 도모하기 위한 교사 연수 및 개별적인 노력의 한계가 보고되며, 대안적인 교사 전문성 체제로 학습공동체가 주목받고 있다. 학습공동체는 공동 목표를 바탕으로 상호 참여를 통해 수학 교과 내용, 교육학, 교육과정에 대한 레퍼토리를 형성하는 하나의 실천공동체(Community of Practice, CoP)이고, 따라서 교사들의 학습은 실천공동체 이론으로 해석할 수 있다. 이에 본 연구는 고등학교 교사 학습공동체에 참여한 수학교사들의 정체성 형성 과정을 실천공동체 이론을 중심으로 탐색하였다. 성찰 저널, 협의록, 수업 영상 전사본의 귀납적 분석을 통해 수학교사들의 학습공동체 참여 경험을 도출하였고, 참여 관찰 기록지를 토대로 개별 인터뷰를 진행한 후 이를 유형적으로 분석하여 각 수학교사의 정체성 형성 과정을 탐색하였다. 연구 결과 수학교사는 학습공동체 참여를 통해 수학 교수·학습에 관한 실천 형성, 지속적인 반성과 성찰을 통한 교수 실행 개선, 공동체 몰입을 통한 함께의 가치 인식을 경험했고, 이 경험을 바탕으로 주변적 궤적, 내부지향 궤적, 내부자 궤적, 경계적 궤적, 외부지향 궤적 등을 보이며 다양하게 정체성을 형성하였다. 이를 바탕으로 학습공동체의 효과적 운영을 위한 시사점이 논의되었고 후속 연구가 제안되었다.

치과 파노라마 촬영에서 환자의 피폭선량에 관한 연구 (A Study on the Patient Exposure Doses from the Panoramic Radiography using Dentistry)

  • 박일우;정원교;황형석;임성환;이대남;임인철;이재승;박형후;곽병준;유윤식
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제7권1호
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    • pp.17-24
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    • 2013
  • 본 연구는 파노라마 표준 촬영에서 환자의 피폭 선량을 측정하여 방사선 생물학적 위험인자를 평가하고 환자의 피폭 선량 저감화 방안을 제시하고자 하였다. 피폭 선량의 측정 오차를 최소화하기 위하여 각 OSL 선량계의 교정상수를 구하였으며 파노라마 표준 촬영에서 간접적으로 포함되는 좌 우측 수정체와 갑상선, 직접적으로 포함되는 상 하 입술, 하악골 첨부, 촬영 중심점을 대상으로 ICRP에서 권고하는 인체 모형 표준 팬텀을 이용하여 측정하였다. 측정 결과, 촬영 중심점의 선량이 $413.67{\pm}6.53{\mu}Gy$로 최대였으며 상 하 입술의 경우 각각 $217.80{\pm}2.98{\mu}Gy$, $215.33{\pm}2.61{\mu}Gy$이었다. 또한 파노라마 표준 촬영에서 간접적으로 포함되는 좌 우측 수정체의 등가선량은 각각 $30.73{\pm}2.34{\mu}Gy$, $31.87{\pm}2.50{\mu}Gy$이었으며 하악골 첨부 및 갑상선의 등가선량은 $276.73{\pm}14.43{\mu}Gy$, $162.07{\pm}4.13{\mu}Gy$이었다. 결론적으로 측정된 피폭 선량은 방사선 생물학적 효과를 유발할 수 있었으며 치과 의료기관의 파노라마 표준 촬영에서 환자의 피폭 선량에 대한 저감화 방안으로 국제기구에서 권고하고 있는 방사선 방어 원칙에 대한 정당한 해석과 제도적 뒷받침(regulation)이 필요하다. 이에 파노라마 검사에 의한 피폭 선량은 기술적 경제적 측면뿐 만 아니라 사회적 인자를 고려하여 합리적으로 용인 가능한 수준까지 최소화하기 위한 체계화된 프로토콜의 제정과 주변 결정 장기를 방어하기 위한 방사선 보호 기구에 대한 추가적 연구가 필요할 것으로 판단되었다.

Cucumber mosaic virus Paf 계통의 약독 병징과 관련된 satellite RNA의 유전자 해석 (Genomic Analysis of Satellite RNA of Cucumber mosaic virus-Paf Related with Mild Symptoms)

  • 성미영;정민영;이상용;류기현;최장경
    • 식물병연구
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    • 제10권4호
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    • pp.241-247
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    • 2004
  • Cucumber mosaic virus(CMV)-Paf 계통에 포함된 satellite RNA(Paf-satRNA)는 CMV의 병징을 완화시키는 약독병징 관련 유전자로 작용하였다(Choi 등, 2001). 이 연구는 Paf-satRNA의 약독병징 관련 유전자의 도메인을 확인하기 위하여, 고추에서 chlorosis 병징을 발현하는 PepY-satRNA와 키메라 satRNA를 구축하여 분석하였다. 두 종의 satRNA의 염기서열을 비교한 결과, 분자크기가 큰 PepY-satRNA에서 10염기의 삽입이 발견되기는 하였지만, 양 말단영역의 염기는 비교적 안정된 conserved sequence를 보였다. 그러나 이들 satRNA의 중간영역에 존재하는 염기서열, 즉 5' 말단의 81번째 염기로부터 113번째, 그리고 183번째 염기부터 265번째 염기까지의 영역에서는 많은 변화를 나타냈다. 약독병징과 관련된 도메인을 확인하기 위하여 구축한 각 satRNA 및 키메라 satRNA의 cDNA로부터 transcript RNA를 전사시키고, 전사된 각 satRNA transcript를 CMV-Fny의 게놈RNA1, RNA2 및 RNA3의 transcript와 혼합한 후 N. benthamiana에 접종하였다. 그 결과 RT-PCR에 의해서 모든 satRNA-cDNA로부터 전사된 transcript의 감염성이 확인되었으며, Paf-satRNA 및 키메라 Paf(H/N)-satRNA와 PepY(N/A)-satRNA를 접종한 N. benthamiana에서는 모두 약한 모자이크 또는 무병징 감염의 특성을 보였다. 이와는 대조적으로 PepY-satRNA 및 키메라 PepY(H/N)-satRNA와 Paf(N/A)-satRNA를 접종한 식물에서는 전형적인 모자이크 증상과 식물체의 위축을 동반하였다. 이들 각 키메라 satRNA에 감염된 N. benthamiana를 접종원으로 고추에 접종한 결과, Paf-satRNA와 혼합한 CMV-Fny를 접종한 고추에서는 무병징에 가까운 약한 모자이크 증상이 발현되었고, PepY-satRNA를 접종한 고추는 뚜렷한 chlorosis의 모자이크 증상이 발현되었다. 한편 이들 두 종 satRNA의 키메라, Paf(H/N)-satRNA와 PepY(N/A)-satRNA를 접종한 고추에서는 모두 약한 모자이크 또는 무병징 감염의 특성을 보였고, PepY(H/N)-satRNA와 Paf(N/A)-satRNA를 접종한 식물에서는 전형적인 chlorosis의 모자이크 증상과 식물체의 위축을 동반하였다. 이와 같은 결과를 종합해 보았을 때, N. benthamiana에서와 마찬가지로 Paf-satRNA의 약독병징과 관련된 유전자의 도메인은 HpaI-NarI 영역에 존재한다는 것을 나타냈다.

들잔디로부터 β-1,3-glucanase 유전자의 클로닝 및 특성분석 (Molecular cloning and characterization of β-1,3-glucanase gene from Zoysia japonica steud)

  • 강소미;강홍규;선현진;양대화;권용익;고석민;이효연
    • Journal of Plant Biotechnology
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    • 제43권4호
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    • pp.450-456
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    • 2016
  • 한국형 잔디에서는 다른 병에 비해 진전 속도가 빠르고 주로 뿌리에서부터 발병하여 잔디를 고사시키고 발병 후 구제하기 매우 어려운 라이족토니아잎마름병(라지패취)이 큰 문제로 대두되고 있다. 라이족토니아잎마름병(라지패취)은 Rhizoctonia solani AG2-2 (IV)병원균에 의해 발생하는데, 이 병원균에 강한 내병성 들잔디를 개발하기 위해 식물방어반응에 중요한 역할을 하는 것으로 알려진 PR-Protein 중 하나인 ${\beta}-1,3-glucanase$를 들잔디로부터 클로닝 하였다. ${\beta}-1,3-glucanase$는 바이러스나 균의 감염으로 인해 식물조직이 과민반응을 일으킬 때 세포내에서 생성되고 세포 외로 분비되어 세포 사이 공간에서 주로 병원균 저항성기능을 하는 것으로 알려져 있다. ${\beta}-1,3-glucanase$ 단자엽식물 중 내병성에 대한 연구가 되어있는 옥수수, 밀, 보리, 벼의 염기서열에서 공통으로 보존되어 있는 부분을 이용해 degenerate PCR을 수행하고 얻어낸 sequence를 통해 Full-length의 cDNA를 클로닝 하였다. E.coli overexpression을 수행하여 목표 단백질을 대량 정제하여 in vitro 활성 측정 및 항균테스트를 진행하였다. 또한, ZjGlu1 유전자의 기능을 해석하기 위해 각각의 유전자를 도입한 식물형질전환용 벡터를 제작하여 잔디 형질전환체 제작을 하였다. ZjGlu1 단백질을 이용하여 9개의 균주에 대해 항균활성 테스트를 진행 한 결과 R. cerealis, F. culmorum, R.solani AG-1 (1B), T. atroviride 에서 항균활성을 보였으며, 형질전환체를 이용해 18s 유전자의 발현량을 상대로 한 각 유전자의 기관별 발현량은 크게 차이없이 모든기관에 발현되는 것을 확인할 수 있었다.

대두생장중(大豆生長中) Ureide와 Amide의 소장양상(消長樣相)과 그의 생리적(生理的) 의의(意義)에 관한 연구(硏究) (Variation in Ureide and Amide Content during the Growth period of some Soybean Cultivars and its Physiological Significance)

  • 임선욱;정종배
    • 한국토양비료학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.349-355
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    • 1984
  • 대두(大豆)에서 유리질소(遊離窒素)의 고정(固定)과 밀접(密接)한 관련(關聯)을 갖고 있는 것으로 알려진 ureide 화합물(化合物)의 소장양상(消長樣相)을 품종간(品種間) 비교(比較)하기 위하여 세 가지 대두(大豆) 품종(品種)(황금(黃金)콩, williams79, 야생(野生)콩)을 공시(供試)하여 pot 재배(栽培)로 생육시간별(生育時間別) 식물체(植物體) 및 목질부(木質部) 분비액(分泌液) 중(中)의 ureide태(態)와 amide태(態) 질소화합물(窒素化合物)의 함량(含量) 변화(變化)를 조사(調査)하였으며 품종별(品種別) 이들 질소화합물(窒素化合物)의 함량(含量) 차이(差異)가 대두(大豆) 근류(根瘤)의 질소고정(窒素固定)에 대한 지표(指標)가 될 수 있는지를 일부(一部) 검토(檢討)하였다. 생장과정중(生長過程中) ureide 화합물(化合物)의 소장양상(消長樣相)은 공시품종간(供試品種間)에 비슷한 경향(傾向)으로 나타났으며 식물체(植物體)와 목질부(木質部) 분비액중(分泌液中)의 ureide 화합물(化合物)의 함량(含量)과 총가용성(總可溶性) 질소(窒素)에 대한 ureide태(態) 질소(窒素)의 함량비(含量比)는 전체적(全體的)으로 황금(黃金)콩에서 가장 높았고 다음이 williams79, 야생(野生)콩의 순서(順序)로 나타나 품종간(品種間)에 차이(差異)를 보였다. amide태(態) 질소(窒素)의 함량(含量)은 ureide태(態) 질소(窒素)와는 반대(反對)로 ureide태(態) 질소(窒素)의 함량(含量)이 가장 높았던 황금(黃金)콩에서 가장 낮았고 야생(野生)콩에서 가장 높았다. 이러한 차이(差異)는 식물체중(植物體中) 줄기 부분(部分)과 목질부분비액중(木質部分泌液中)에서 뚜렷이 나타났으며 이들 중(中)의 ureide태(態) 질소(窒素) 함량(含量)과 amide태(態) 질소(窒素) 함량(含量) 간(間)에는 높은 유의성(有意性) 있는 부(負)(일(一))의 상관관계(相關關係) ($r=-0.5193^{**}$, $-0.5053^*$)를 보였다. 질소(窒素)를 비료(肥料)로 따로 공급(供給)할 때 식물체중(植物體中) ureide태(態) 질소함량(窒素含量)이 감소(減少)하며 근류(根瘤)가 ureide 화합물(化合物)의 생성장소(生成場所)임을 감안(勘案)할 때 이상(以上)의 결과(結果)는 질소고정효과(窒素固定效果)의 차이(差異)를 나타내는 품종적(品種的) 특성(特性)으로 해석(解析)되며 줄기와 목질부(木質部) 분비액중(分泌液中)에서의 ureide태(態) 질소(窒素)의 함량(含量)을 두과작물(豆科作物)의 질소고정효과(窒素固定效果)에 대한 지표(指標)로 이용(利用)할 수 있을 것이며 또한 정량적(定量的)으로 질소고정력(窒素固定力)을 측정(測定)하는 수단(手段)으로도 응용(應用)할 수 있는 가능성(可能性)을 추구(追究)할 의의(意義)가 있을 듯하다.

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Monocrotaline으로 유발한 백서 폐동맥 고혈압에서 Endothelin 수용체 차단제 투여의 효과 (Effect of endothelin receptor blockade on monocrotaline-induced pulmonary hypertension in rats)

  • 임경아;심정연;조상호;김관창;한재진;홍영미
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • 제52권6호
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    • pp.689-695
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    • 2009
  • 목 적 : 폐동맥 고혈압은 지속적인 폐혈관 저항의 증가로 우심실 부전에 이르게 되는 질병 상태를 일컫는다. 폐동맥 고혈압의 기전으로 폐혈관의 내피세포로부터 endothelin 분비가 증가되어 세포 증식 촉진, 세포 자멸 억제, 혈관 수축, 염증 반응을 통해 폐혈관의 재형성에 관여함이 제시되었다. Bosentan은 endothelin 수용체에 결합하여 효과를 차단시키는 약물로 개발되었다. 이에 monocrotaline으로 폐고혈압을 유발시킨 동물에서 non-selective endothelin receptor blocker인 bosentan을 투여하였을 때 폐동맥 고혈압 발생에 미치는 효과를 알아보고자 본 연구를 시행하였다. 방 법 : 체중 250 g 내외의 4주령 가량 된 자성 Sprague-Dawley 백서를 대조군, monocrotaline군, bosentan군으로 나누었다. Monocrotaline군과 bosentan군에는 monocrotaline 수용액 60 mg/kg를 배부에 1회 피하 주사하고 대조군에는 동량의 생리식염수를 주사하였다. Bosentan군에는 bosentan ($20mg{\cdot}kg^{-1}{\cdot}day^{-1}$)을 monocrotaline 투여 직후부터 매일 1일 2회 위관 영양법으로 투여하였다. 7일, 14일, 28일에 각각 동물을 희생시켜 심장의 무게를 우심실벽, 좌심실벽, 심실간벽으로 나누어 기관의 무게를 측정하고 조직 검사를 위해 양측 폐를 포르말린 수용액에 고정하였다. 결 과 : 7일, 14일, 28일째 평균 체중은 대조군에 비해 monocrotaline군과 bosentan군이 유의하게 적었다. 우심실/(좌심실+심실간벽)의 무게 비율은 28일째 monocrotaline군($0.71{\pm}0.10mg/g$)에 비해 bosentan군($0.49{\pm}0.09mg/g$)이 유의하게 적었다(P<0.05). 폐세동맥의 조직형태학적 분석 결과 실험 28일째 monocrotaline투여에 의해 유발된 중막 비후 소견이 bosentan 투여에 의해 현저하게 저하된 것으로 나타났다(monocrotaline군 $49.94{\pm}10.06$ vs bosentan군 $47.09{\pm}10.48$, P<0.05). 또한 호흡성 세기관지 이하의 폐포에 분포하는 근육성 폐세동맥의 숫자도 monocrotaline 투여에 의해 증가되었으나 14, 28일째 bosentan군에서는 현저하게 적은 것으로 나타났다. 결 론 : Monocrotaline으로 유도한 백서의 폐고혈압에서 bosentan을 투여하고 초기 경과를 관찰한 결과, 2주째부터 우심실 비대가 억제되었고 4주 이내 사망률도 낮아 endothelin receptor에 대한 길항 작용의 효과로 해석될 수 있겠다.

전산화단층촬영에서 촬영 목적 부위와 주변 결정장기에 대한 피폭선량 평가: 선량 권고량 중심으로 (Evaluation of Radiation Exposure Dose for Examination Purposes other than the Critical Organ from Computed Tomography: A base on the Dose Reference Level (DRL))

  • 이서영;김경리;하혜경;임인철;이재승;박형후;곽병준;유윤식
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제7권2호
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    • pp.121-129
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    • 2013
  • 최근 다중검출기 CT의 보편화 된 사용으로 환자의 피폭선량이 증가하고 있다. 따라서 광자극발광선량계를 이용해 촬영 목적 부위와 주변 결정장기에 대한 환자의 피폭선량을 측정하고 그에 따른 생물학적 효과를 예측하여 저감화 방안을 제시하고자 하였다. ICRP에서 권고한 표준안을 대상으로 만들어진 인체 모형 표준 팬텀에 교정상수를 부여받은 OSD 선량계를 측정하고자 하는 좌 우 수정체, 갑상선, 촬영의 중심점, 생식선에 부착하여 각 검사 부위별 노출 조건과 동일한 상태에서 환자의 피폭 선량을 모사하였다. OSL 선량계의 평균 교정상수는 $1.0058{\pm}0.0074$이었으며 검사 부위별 주변 결정장기의 등가선량은 좌 우측 수정체의 경우 직접 피폭이 약 50mGy로 최대였으며 간접 피폭되는 경우 0.24mGy, 원거리에서는 0.005mGy미만의 기준 준위 이하로 측정되었다. 갑상선의 경우 두부 검사에서 10.89mGy로 최대였으며 흉부에서 7.75mGy, 복부 및 요추부, 골반부에서는 기준 미만이었다. 생식선의 경우 골반검사에서 21.98mGy로 최대였으며 간접 피폭되는 검사에서 기준 준위 미만에서 6.92mGy까지 피폭되었다. CT 검사에서 DRL에 대한 저감화 방법은 국제기구에서 권고하고 있는 방사선 방어 원칙에 대한 정당한 해석과 제도적 뒷받침이 필요하다. 따라서 환자의 피폭을 최소화하기 위해서는 정당성을 충족하여야 하며 환자의 피폭선량에 미치는 영향들을 체계화하고 조직의 불필요한 피폭을 최소화 하여야 한다.

가토신장기능에 미치는 측뇌실내 Haloperidol의 영향 (Influence of Intracerebroventricular Haloperidol on the Renal Function of the Rabbit)

  • 김중기;최봉규;국영종
    • 대한약리학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.103-117
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    • 1982
  • 신장기능 조절에 있어서 중추의 dopaminergic system의 역할을 구명하고자 dopamine의 선택적 길항제인 haloperidol을 가토의 측뇌실내로 투여하여 신장기능의 변동을 관찰하였다. Haloperidol 15와 $50{\mu}g/kg$투여시 항이뇨작용을 나타냈으며, $15{\mu}g/kg$의 경우는 주로 세뇨관에서 Na재흡수의 촉진에 의하였으며, $50{\mu}g/kg$의 경우에는 주로 세뇨관에서의 수분재흡수가 뚜렷하였다. 그러나 $150{\mu}g/kg$의 경우에서는 뚜렷한 이뇨작용을 볼 수 있었으며 이때 신혈류 및 사구체 여과율에는 유의한 변동을 볼 수 없었으나 세뇨관에서 Na재흡수가 현저히 억제되어 natriuresis 및 kaliuresis 가 출현되었다. 한편 dopamine은 5, 15, 50, $150{\mu}g/kg$의 양을 측뇌실내로 투여하였을때 투여랑에 대체로 비례하는 항이뇨효과를 관찰할 수 있었다. 여기에서 5, $15{\mu}g/kg$의 소량에 의하여는 그 항이뇨작용이 주로 신세뇨관에 있어서 Na재흡수의 촉진에 기인하였으나 $50{\mu}g/kg$이사의 양에서는 그 외에도 신혈류 및 사구체 여과율의 감소가 더욱 뚜렷하여짐을 볼 수 있었다. Haloperidol $150{\mu}g/kg$ 투여후에 dopamin을 투여하였을 때 $15{\mu}g/kg$ dopamine의 효과는 감퇴되었으나, 50, $150{\mu}g/kg$ dopamin의 항이뇨효과는 차단되지 아니하였으며 dopamine양의 증가에 따라 haloperidol의 이뇨작용이 소실됨을 볼 수 있었다. 이상의 실험결과는 대량의 haolperidol은 중추의 dopamine receptor에 대한 상경적 길항에 의하여 이뇨작용을 나타낸 것으로 해석되며, 소량의 haloperidol은 dopaminergic neurone에 있는 autoreceptor의 차단작용의 결과 항이뇨 작용이 나타난 것으로 추측되었다.

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양주 노고산(老姑山) 독재동(篤才洞)의 장소성과 역사문화경관 해석 (A Interpretation on Placeness and Historic Cultural Landscape of Dokjae-dong on Nogosan, Yangju)

  • 노재현;김화옥;이정한;박주성
    • 한국전통조경학회지
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    • 제33권1호
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    • pp.97-109
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    • 2015
  • 본 연구는 경기도 양주시 장흥면 삼하리 독재동 바위글씨와 노고산의 장소성에 주목하여, 이곳의 경관 및 장소특질을 고찰하고 바위글씨에 담긴 경관의미를 추론함으로써 노고산과 독재동 계곡의 역사문화경관적 함의를 밝히고자 한 것으로 연구 결과는 다음과 같다. 삼각산은 조선왕조 6백년 도읍지의 주산(主山)이며 오악(五嶽)을 이루는 중앙의 성산(聖山)으로, 노고산은 삼봉산(三峰山) 즉 삼각산의 우람한 세봉우리를 향배하는 의미공간으로서 그 장소성이 획득된다. 더불어 노고산은 조선의 정기를 상징하는 삼각산을 가장 완벽하게 조망할 수 있는 '망삼각산(望三角山)'의 절대 시점장이다. 독재동 계곡에 산포(散布)된 다수의 바위글씨는 미수 허목의 "고양산수기"의 내용을 현현(顯現)하기 위한 행위이자 경물로 재생산된 산물이다. 그리고 추사 필적의 몽재(夢齋)는 중의적(衆意的) 표현이 읽혀지는 바위글씨로, 먼저 글자 그대로의 뜻인 '꿈꾸는 집' 이지만 내면적 의미는 "한낮 몽상(夢想)도 바탕을 깊이 헤아려 보면 정당성이 확보된다."는 의미로 '몽재거사'로 알려진 성재(性齋) 허전(許傳)의 "몽재집(夢齋集)" 서(序)의 내용으로 보아 성재의 독재동 거주와 관련된 징표로 추정된다. 또한 몽재라 쓴 바위 하단의 갑자(甲子) 경오(庚午) 무술(戊戌) 갑인(甲寅) 등의 간지(干支)는 추사와의 교유관계가 있는 1804년 5월생 유생(儒生)의 사주팔자로 판단된다. 노고산과 독재동 계곡은 삼각산을 조망하는 장소일 뿐 아니라 송월재 성재 등 미수의 학통을 계승한 기호지역의 남인학자의 공통된 장구지소로써의 응집력을 보여준다. 또한 이곳에 각자(刻字)된 추사체와 미수체(전서체) 바위글씨는 우리나라 서예사의 큰 흐름을 함축적으로 보여준다는 측면에서도 매우 의미 깊은 역사문화경관이다.

RF Sputtering의 증착 조건에 따른 HfO2 박막의 Nanocrystal에 의한 Nano-Mechanics 특성 연구 (Nano-mechanical Properties of Nanocrystal of HfO2 Thin Films for Various Oxygen Gas Flows and Annealing Temperatures)

  • 김주영;김수인;이규영;권구은;김민석;엄승현;정현진;조용석;박승호;이창우
    • 한국진공학회지
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    • 제21권5호
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    • pp.273-278
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    • 2012
  • 현재 Hf (Hafnium)을 기반으로한 게이트 유전체의 연구는 여러 분야에서 다양하게 진행되어져 왔다. 이는 기존의 $SiO_2$보다 유전상수 값이 크고, 또한 계속되는 scaling-down 공정에서도 양자역학적인 터널링을 차단하는 특성이 뛰어나기 때문이다. MOSFET 구조에서 유전체 박막의 두께 감소로 인한 전기적 특성 저하를 보완하기 위해서 high-K 재료가 대두되었고 현재 주를 이루고 있다. 그러나 현재까지 $HfO_2$에 대한 nano-mechanical 특성 연구는 부족한 상태이므로 본 연구에서는 게이트 절연층으로 최적화하기 위하여 $HfO_2$ 박막의 nano-mechanical properties를 자세히 조사하였다. 시료는 rf magnetron sputter를 이용하여 Si (silicon) 기판 위에 Hafnium target으로 산소유량(4, 8 sccm)을 달리하여 증착하였고, 이후 furnace에서 400에서 $800^{\circ}C$까지 질소분위기에서 20분간 열처리를 실시하였다. 실험결과 산소 유량을 8 sccm으로 증착한 시료가 열처리 온도가 증가할수록 누설전류 특성 성능이 우수 해졌다. Nano-indenter로 측정하고 Weibull distribution으로 정량적 계산을 한 결과, $HfO_2$ 박막의 stress는 as-deposited 시료를 기준으로 $400^{\circ}C$에서는 tensile stress로 변화되었다. 그러나 온도가 증가(600, $800^{\circ}C$)할수록 compressive stress로 변화 되었다. 특히, $400^{\circ}C$ 열처리한 시료에서 hardness 값이 (산소유량 4 sccm : 5.35 GPa, 8 sccm : 5.54 GPa) 가장 감소되었다. 반면에 $800^{\circ}C$ 열처리한 시료에서는(산소유량 4 sccm : 8.09 GPa, 8 sccm : 8.17 GPa) 크게 증가된 것을 확인하였다. 이를 통해 온도에 따른 $HfO_2$ 박막의 stress 변화를 해석하였다.