• 제목/요약/키워드: 한국광기술원

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IGZO박막 증착 공정에서 플라즈마 방출광 모니터링 및 플라즈마 균일도 제어 (Monitoring and Controlling Uniformity of Plasma Emission Intensity for IGZO Sputtering Process)

  • 최진우;황상혁;김우재;신기원;권희태;조태훈;우원균;차성덕;안병철;박완우;도재철;권기청
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.27-32
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    • 2016
  • In recent years, various researches have been conducted to improve process yields in accordance with miniaturization of semiconductor. APC(Advanced Process Control) is considered one of the methods to increase in process yields. APC is a process control technology that maintains optimal process conditions and improves the reliability of results by controlling and formulating the relationship among the various process parameters and results. We built up an optical diagnostic system with a three-channel spectrometer. The system detects signals those represent the changes of specific emission peaks intensity versus each reference and converts it into MFC control signals to get back the changes to the reference state. Controlling the MFC continues until the specific peak intensity changes into the normal state. Through this device, we tested a APC automatically responding to process changes during the plasma process. We could control gas flow while sputtering process on going and improve uniformity of plasma intensity with this system. Finally, we have got results those enhance the plasma intensity non-uniformity to 7.7% from 15.5%. Also, found unexpected oxygen flow what is estimated to be come out from IGZO target.

교각에 설치된 사석보호공의 침하량 산정식 도출에 관한 실험 연구 (An Experimental Study to develope the Subsidence Equation for Riprap Protection around the Pier)

  • 지운;여운광;이원민;강준구
    • 대한토목학회논문집
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    • 제29권1B호
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    • pp.63-71
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    • 2009
  • 교각 세굴 방지를 위해 사석보호공을 설치하는 경우 하상의 유사이탈로 인한 보호공의 침하현상이 발생할 수 있으며 따라서 사석층과 하상 사이에 필터층의 설치가 반드시 필요하다. 하지만 국내의 명확하지 않은 필터설치 기준과 설치를 위한 기술적 어려움 그리고 고가의 공사비와 같은 문제점으로 인해 현장에서는 필터 없는 사석보호공을 주로 시공하고 있다. 이에 본 연구는 다양한 조건의 사석 포설두께, 접근 유속, 사석과 하상토의 입경을 갖는 수리실험을 통해 필터층이 없는 사석보호공의 침하량을 정량적으로 측정 및 분석하였으며 실험 결과, 접근유속이 증가할수록, 하상토의 입경이나 포설두께가 감소 할수록 최대침하량은 증가하는 양상을 보였고 일정 시간 후에는 침하량이 최대값에 도달하여 유사이탈이 더 이상 발생하지 않음을 알 수 있었다. 또한 본 논문에서 수행된 실험결과 자료들을 최종적으로 종합하여 하상토 입경 계수가 포함된 필터층 없는 사석보호공의 무차원 침하량 산정식을 제안하였으며 이러한 연구 결과들은 추후 필터층 없이 시공되는 사석 보호공의 침하 안정성 평가를 위한 지표로 활용될 수 있을 것이다.

현장관측용 분광 광도계의 상대 검교정 시스템 개발 (Development of relative radiometric calibration system for in-situ measurement spectroradiometers)

  • 오은송;안기범;강혁모;조성익;박영제
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.455-464
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    • 2014
  • 천리안해양관측위성(Geostationary Ocean Color Imager, GOCI)이 2010년 6월에 발사된 이후, 영상 자료의 보정과 검증을 위한 여러 차례의 현장 관측이 한반도 주변에서 수행되었다. 한국해양과학기술원 해양위성센터(Korea Ocean Satellite Center, KOSC)에서는 Analytical Spectral Devices (ASD)사의 분광 광도계 FieldSpec3나 TriOS사의 분광 광도계 RAMSES와 같은 현장관측장비의 특성 변화를 확인하기 위하여 미국국립표준기술원(National Institute of Standards and Technology, NIST)의 표준화 절차를 거친 광원과 표준 분광 광도계를 이용하여 각각의 현장 관측 마다 기기의 성능을 측정하였다. 본 논문에서는 해양위성센터에 구축된 광학 실험실과 현장관측 분광 광도계의 상대적 복사 검교정 방법에 대해서 소개하고 있다. 광학 실험실은 98% 이상의 광원 균질성을 지니는 20인치 적분구(USS-2000S, LabSphere)와 360 nm 부터 1100 nm 까지 1.6 nm 파장 간격으로 측정이 가능한 표준 분광 광도계(MCPD9800, Photal), 그리고 ${\pm}0.1mm$의 편평도를 가지는 광학테이블($3600{\times}1500{\times}800mm^3$)을 기본으로 구성되어 있다. 실험실 내부는 정확한 검교정 실험을 위하여 일정한 온습도를 유지하고 있으며, 동일한 광원에 동일한 위치에서 표준과 현장관측용 분광 광도계를 동시에 측정하는 방법을 기본으로 한다. 해양위성센터가 보유하고 있는 ASD 를 측정한 결과, 현장관측용 분광광도계의 결과가 푸른 가시광 영역에서 미세한 차이가 측정 시 마다 나타나는 것을 확인하였고, 더불어 1년간의 상대 검교정 실험에 따르면 평균적으로 4.41% 정도의 파장별 광특성이 변화하는 것을 확인하였다. 이러한 결과는 측정 정확도를 유지하고, GOCI 자료의 신뢰도를 확보하기 위하여 지속적인 검교정 실험을 수행해야 하는 이유를 보여주고 있다.

에너지 저장시스템을 위한 슈퍼커패시터 최신 연구 동향 (Recent Research Trends of Supercapacitors for Energy Storage Systems)

  • 손명숙;류준형
    • 청정기술
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    • 제27권4호
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    • pp.277-290
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    • 2021
  • 슈퍼커패시터는 일반 커패시터(축전지, 콘덴서)에 비해 정전용량이 매우 큰 커패시터로 전기화학 커패시터 혹은 울트라 커패시터(ultracapacitor) 라고도 부르는데, 화학반응을 이용하는 배터리와 달리 전극과 전해질 계면의 단순한 이온 이동이나 표면화학반응에 의한 충전현상을 이용한다. 짧은 충전시간(~ 30초), 우수한 출력특성, 반영구적 수명(~ 100,000 cycle), 낮은 유지비용, 빠른 응답특성, 높은 안정성 등을 특징으로 하여, 백업용 전원, 무정전전원장치, 수송 기계 및 스마트 그리드의 고출력 보조 전원 등 급속 충방전이 필요한 전자기기 및 고출력이 요구되는 산업분야에서 활용되고 있다. 태양광과 풍력 같은 불규칙적인 전력원을 활용하는 발전에서 2차 배터리와 함께 에너지저장장치로 구성되어 상대적으로 느린 배터리의 충·방전 특성을 보상하고 배터리 수명연장에 기여하며 시스템의 전체 전력 품질을 향상시킬 수 있다. 본 고에서는 이처럼 에너지저장장치로 다양한 분야에서 활용되고 있는 슈퍼커패시터에 대해, 전극 재료에 따른 에너지 저장 원리 및 메커니즘, 분류를 간략하게 살펴보고, 국내외 제품 연구, 특허, 시장 및 제품 현황을 제시하여 활용성을 검토하고 향후 전망을 살펴보았다. 에너지 저장 소자로 슈퍼커패시터가 관련 산업 수요에 대응하기 위해서는, 고전압 모듈 기술, 고효율 충전, 안전성, 추가적인 성능개선 및 비용경쟁력 등 아직까지 해결해야 할 과제들이 많다.

GOCI를 이용한 GOCI-II 근적외 밴드 교차보정 (Cross-Calibration of GOCI-II in Near-Infrared Band with GOCI)

  • 이은경;배수정;안재현;이경상
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제39권6_2호
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    • pp.1553-1563
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    • 2023
  • 천리안 해양관측위성 2호기(Geostationary Ocean Color Imager-II, GOCI-II)는 한반도 주변을 포함한 동북아 해역과 전구 영역을 관측하는 해색 위성으로 지난 10년간 운용된 GOCI의 임무를 이어받아 2020년부터 현재까지 운용되고 있다. 본 연구에서는 해색 데이터 산출에 있어 필수 과정인 대기보정 알고리즘을 개선하기 위해 GOCI 영상을 이용한 GOCI-II 근적외 파장(near-infrared, NIR) 밴드의 대리교정을 수행하였다. 이를 위해 NIR 밴드의 대기상층(top-of-atmosphere, TOA) radiance에 대한 교차보정 연구를 수행하였으며, 그 결과로 대리교정 상수를 도출하였다. 본 연구에서 도출된 대리교정 상수를 이용하여 보정한 결과 두 센서의 offset이 감소하였으며, ratio는 745 nm, 865 nm에 대해 각 1.02, 1.04에서 1.0, 0.99로 개선되었다. 이는 두 센서의 일관성이 높아진 것으로 판단된다. 또한, 대기 분자 산란 보정 반사도(Rayleigh-corrected reflectance, 𝜌rc)는 각각 5.62, 9.52% 증가하였다. 이로 인해 745 nm와 865 nm 𝜌rc의 비율의 차이가 발생했으며, 이는 대기보정 알고리즘 내 에어로졸 광 산란 보정 과정을 통해 모든 밴드의 대기보정 결과에 영향을 줄 수 있다. GOCI, GOCI-II 두 위성의 중복되는 운용 기간이 짧아 2021년 3월의 자료만을 사용하였으나, 향후 타위성과의 지속적인 교차보정 연구를 통해 개선이 가능할 것으로 사료된다. 또한 본 연구에서 도출된 NIR 밴드의 대리교정 상수를 적용하여 가시 채널의 대리교정을 수행하고, 해색 산출물의 정확도에 미치는 영향을 분석할 필요가 있다.

산업단지 내 CHP Hybrid System 최적화 모델에 관한 연구 (Optimization Process Models of Gas Combined Cycle CHP Using Renewable Energy Hybrid System in Industrial Complex)

  • 오광민;김래현
    • 에너지공학
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    • 제28권3호
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    • pp.65-79
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    • 2019
  • 본 연구는 산업단지 내 Gas Combined Cycle CHP와 연계 가능한 신재생에너지원을 조합하여 최적의 설비용량을 산정하고자 하였다. 특히 2013~2016년도 에너지사용계획 협의 대상 산업단지 중 집단에너지 공급대상 지역지정 연료사용량 요건은 연간 3.8만 TOE로 미달되지만, 열밀도가 $92.6Gcal/km^2{\cdot}h$로 높은 세종첨단일반산업단지를 연구 대상으로 하였다. 그리고 신재생에너지 Hybrid System 경제성 분석 프로그램인 HOMER Pro를 이용하여 연료전지와 태양광발전을 연계한 FC-PV Hybrid CHP System의 최적화 운영 모델에 대해 분석하였다. 또 CHP의 주 공급 에너지원인 열에너지에 있어, 열수요량 뿐만 아니라 우점 업종에 대한 열수요 패턴을 분석하여 연구의 신뢰도를 높이고자 하였으며, 경제성 분석을 추가하여 상대적 편익을 비교하고자 하였다. 연구 결과, 신규 조성 중인 세종첨단일반산업단지의 전체 간접열 수요는 연간 378,282 Gcal이며, 이중 제지업종이 연간 293,754 Gcal인 약 77.7%를 우점하고 있었다. 산업단지 전체 간접열 수요에 대해 단일 Combined Cycle CHP의 최적 설비용량은 30,000 kW로, 이때 열생산은 CHP가 275,707 Gcal, 72.8 %를 분담하고, 첨두부하보일러 PLB가 103,240 Gcal, 27.2 %를 분담하는 것으로 분석되었다. 그리고 CHP와 연료전지, 태양광 조합에서는 최적 설비용량이 각 30,000 kW, 5,000 kW, 1,980 kW이며, 이때 열생산은 Combined Cycle CHP가 275,940 Gcal, 72.8%, 연료전지가 12,390 Gcal, 3.3%, PLB가 90,620 Gcal, 23.9%를 분담하였다. 여기서 CHP 용량이 감소하지 않은 것은, CHP 용량 감소에 따른 부족한 열 생산량에 대해 PLB의 과다한 운전이 요구되는 경제적이지 못한 대안이 도출되었기 때문이었다. 한편 우점 업종인 제지업종의 간접열 수요에 대해서는 Combined Cycle CHP, 연료전지, 태양광 조합의 최적 설비용량은 25,000 kW, 5,000 kW, 2,000 kW로, 이때 열생산은 CHP 225,053 Gcal, 76.5%, 연료전지 11,215 Gcal, 3.8%, PLB가 58,012 Gcal, 19.7%를 분담하는 것으로 분석되었다. 그러나, 현행 전력시장 및 가스시장에서의 경제성 분석결과는 모두 투자비 회수가 불가능한 것으로 확인 되었다. 다만, 우점 업종인 제지 업종만을 대상으로 CHP와 연료전지, 태양광을 조합한 CHP Hybrid System이 단일 CHP System에 대해 연간 약 93억원의 경영여건을 개선시킬 수 있음을 확인하였다.

국립백두대간수목원 꼬리진달래 자생지 환경특성 및 보전방안 (A Study on the Habitat Environment Survey and Conservation of Rhododendron micranthum in National Baekdudaegan Arboretum)

  • 정보광;강신구;배준규;김재현;이주영;장정원;이상현;이영수;안민우;김기송
    • 한국환경복원기술학회지
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    • 제19권6호
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    • pp.87-100
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    • 2016
  • This research was performed for the purpose of providing useful and base data and preservation strategy of growth characteristics of Rhododendron micranthum. From the result of research, wild growth area of Rhododendron micranthum was discovered near steep forest road on 695~901m in altitude above sea level of Baekdu-daegan National Arboretum. Vegetation colony structure of Site I was resulted in Pinus densiflora(tree stratum M.I.P.=45.3%) is dominants, Betula schmidtii(arborescent M.I.P.=9.8%) is second dominant, and Site III resulted in Pinus densiflora(tree stratum M.I.P.=30.5%) is dominants, Betula schmidtii(arborescent M.I.P.=10.3%) is second dominant. Site II resulted in Betula schmidtii(arborescent M.I.P.=30.4%) is dominants and Pinus densiflora tree(tree stratum M.I.P.=8.3%) is second dominants. For herbs, it was researched that the rate of one year herb of chrysanthemum family(10), rice family(3), sedge(2) was higher than near forest area. Among Species diversity index, that of Shannon was in range of 0.7348~1.1090. After comparing this with similar area, this value was relatively low. Dominance analysis result was analyzed that various groups are evenly distributed. Monthly highest average temperature is $23.9^{\circ}$ in Site A and Site B, and monthly lowest average temperature is $-4.5^{\circ}C$ in Site I and $-4.7^{\circ}C$ in Site II. Monthly maximum average humidity is 85.6% in Site I and 83.2% in Site II. Monthly minimum average humidity is 60.9% in Site I and 60.8% in Site II and it showed that these 2 area are located far away but have similar temperature and humidity characteristic and climate environment is similar. It was analyzed that humidity is high with the result of annual average humidity is over 60%. In growth characteristic, it showed that doubt damage of Stephanitis pyrioides, exposure of roots, peeled bark was discovered and supplement on this is urgent.

남태평양 마이크로네시아와 한반도 주변 해역의 해수 광학특성 비교 (Comparison of Ocean Optical Properties Between the Micronesia and the Korean Peninsula)

  • 문정언;최종국
    • 대한원격탐사학회지
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    • 제37권5_1호
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    • pp.1125-1133
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    • 2021
  • 이 연구에서는 적도 부근 남태평양에 위치한 마이크로네시아 축주 웨노섬 주변 해수의 엽록소 및 부유물 농도와 흡광 특성, 원격반사도 스펙트럼 등 해수 특성을 이해하고자 하였다. 이를 위해 2013년 5월부터 6월까지 연구지역의 총 50개 정점에서 얻어진 현장관측 자료와 동해, 목포, 경기만 및 낙동강 등 우리나라 주변 해역의 자료를 비교 분석하였다. 웨노섬 주변 해역의 엽록소 농도는 0.11 - 0.49 mg/m3, 평균 0.26 mg/m3, 부유물농도는 0.03 - 0.31 g/m3, 평균 0.16 g/m3으로 전형적인 맑은 해역의 특성을 보였다. 웨노섬 주변 연안해역의 파장 443 nm의 총 부유입자 흡광계수 값은 동해 연안의 흡광계수 값보다 약 0.5배 이상 작은 값을 보였으며 용존 유기물의 흡광계수 스펙트럼의 기울기가 한반도 주변보다 매우 크게 나타나, 연구지역은 유기물 입자 농도가 매우 낮고 해양기원의 용존유기물이 주 성분을 이루는 것으로 판단된다. 또한 원격반사도 스펙트럼을 한반도 주변 연안해역과 비교한 결과, 웨노섬 주변 연안해역은 전형적인 CASE-1 해수 성향의 스펙트럼 형태를 잘 보여주었다. 연구 결과, 열대해역 산호초 서식지의 해양 광특성을 잘 이해할 수 있었으며, 이를 연구지역에 특화된 해수 분석 알고리즘 개발에 이용 가능할 것으로 판단된다.

마리아나 해구에 인접한 서태평양 심해평원의 정점 WP21GPC04에서 수집된 해양 퇴적물의 깊이에 따른 원소 및 광물 분포 변화 (Depth-dependent Variations in Elemental and Mineral Distribution in the Deep Oceanic Floor Sediments (WP21GPC04) near the Mariana Trench in the Western Pacific Ocean)

  • 허준태;윤서희;김종욱;고영탁;이용재
    • 자원환경지질
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    • 제56권5호
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    • pp.581-588
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    • 2023
  • 본 연구에서는 2021년 WP21 탐사를 통해 수집한 마리아나 해구 주변 해양퇴적물(WP21GPC04)에 대한 깊이 별 원소 분포 및 광물 구성에 대한 분석을 수행하였다. 마이크로 X선 형광법(μ-XRF)을 통해 분석된 WP21GPC04 해양 퇴적물의 평균 화학조성은 깊이에 따른 특징적인 변화 없이 평균 SiO2 53.91 wt%, FeO 4.48 wt%, Al2O3 16.56 wt%, MgO 2.56 wt%, CaO 4.79 wt%, Na2O 3.52 wt%, K2O 5.48 wt%를 보이며, 이를 Mariana pelagic clay와 평균 해양 퇴적물의 원소 분포인 GLOSS (global subducting sediment)의 성분과 비교하였다. 방사광 X선 회절법(Synchrotron-XRD)을 이용하여 분석된 광물 구성은 깊이에 따라 다소 차이가 있음을 확인하였다. 석영, 운모, 사장석은 모든 깊이에서 확인된 반면 녹니석은 상대적으로 얕은 깊이에서만 확인되었고, 제올라이트 계열인 필립사이트와 휼란다이트는 퇴적 깊이에 따라 점진적인 함량의 변화를 보였다. 이는 해양 퇴적물의 퇴적 시기에 따른 환경에 변화가 있었거나 유사한 상 안정성에 의한 공생관계로 해석될 수 있다. 본 연구 결과는 서태평양 마리아나 해구 주변의 퇴적 환경 변화와 섭입하는 해양 퇴적물의 상 분포 및 거동에 따른 섭입대 특성 연구에 대한 기초 자료를 제공할 것이다.

경호무도 수련의 도덕교육 발전방안 (A Moral Education Development of Security Martial Arts)

  • 오세광;박준석
    • 시큐리티연구
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    • 제23호
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    • pp.65-86
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    • 2010
  • 경호업무를 온전하게 수행하기 위해서는 일반무도교육보다 더 많은 정신적인 교육과 희생정신 사명감 책임감 자기의 직업의식이 필요한데, 경호 경비관련 업무 종사자 중에는 경호 경비전문회사에 의뢰하지 않고 직영으로 직접 채용해서 배치, 폐지신고, 경비원신임교육, 직무교육 등의 절차없이 업무가 진행되고 있는 상황이다. 따라서 현실적이고 효율적인 경호무도 교육이 이루어지기 위해서는 구체적이고 체계적인 경호무도교육 프로그램이 제작되어야 하며, 경호교육기관과 경호교육담당자를 통한 심도있는 분석이 필요하고 보다 효과적인 경호무도교육 시간의 배정을 통하여 이론과 실기교육의 기회가 갖추어져야 할 것이다. 경호 경비원의 지적, 도덕적, 정서적인 자질을 향상시키고 조직의 효율성을 높이기 위해서는 무엇보다 교육의 중요성과 필요성이 강조되어야 한다. 많은 사람들이 교육받기를 원하고 시간, 정열, 그리고 비용을 투입하여 교육에 참여하는 것은 교육을 통하여 얻어지는 것이 있기 때문이다. 본 연구의 결론은 다음과 같다. 첫째, 경호무도 지도자의 전문능력 향상을 위한 발전방안으로서, 경호업무는 경우에 따라 경호무도의 기술이 요구되어지기도 하지만 경호대상자를 안전지대로 도피할 수 있도록 몸으로 보호하는 상황 또한 빈번히 발생되어지기 때문에 이러한 일촉즉발의 위해 상황이 발생되었을 때 자기희생정신과 의뢰인에 대한 충성심이 발현되어지지 않으면 의미있는 경호직무는 성립되어지지 않게 된다. 이에 경호무도 지도자가 가져야 할 피교육자에 대한 근본적 교육관은 공격적 성향보다는 방어적 성향을, 기술적 특성보다는 경호원들의 정신적 무장을 최우선으로 해야한다. 둘째, 경호무도의 기술적 교육중시와 더불어 정신적 교육에 보다 많은 시간을 할애해야 한다. 위해요소가 산재해 있는 경호상황의 주변 환경으로부터 벗어나기 위해서는 체력적, 정신적으로 강해야만 그 상황을 종료시킬 수가 있다. 일반적으로 경호원으로 선발되는 경우, 체력적으로는 이미 검증이 되었다고 해도 과언이 아니다. 따라서 경호원들의 경호임무의 완벽수행을 위한 남은 부분은 정신적인 것이 보다 강해져야 함을 의미하며, 그와 더불어 기본적으로 지속적인 체력유지는 병행되어야 한다. 결론적으로, 지도자가 갖추어야 할 요소로는 경호무도에 대한 해박한 이론지식과 술기에 따른 실전경험뿐만 아니라 도덕교육을 극대화시킬 수 있는 인성의 함양이라고 사료된다. 그에 따라 사회적으로, 경호의뢰대상 개인적으로 경호원에 대한 인식변화를 가져올 수 있으며, 더 나아가 학문적 직업적으로서의 경호학과 경호직무의 괄목상대할 발전을 꾀할 수 있다.

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