• Title/Summary/Keyword: 한계조건

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Unbalance Magnetron 스퍼터링 소스의 특성

  • 정재인;박형국;박성렬;이석연;염승호
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.134-134
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    • 1999
  • 스퍼터링 소스는 전자기 박막 등 기능성 박막을 비롯하여 결질피막, 장식성 피막등의 제조에 이용되는 것으로 각종 증발원 중에서 가장 널리 사용되는 증발원이다. 70년대 이후 스퍼터링 소스는 마그네트론 스퍼터링으로 대표되는 방식이 사용되어 왔으며 지금까지도 가장 일반적인 방식이 되어 왔다. 마그네트론 스퍼터링 증발원은 증발율에서는 기술적인 향상이 이루어진 반면 이온화율의 향상은 그다지 이루어지지 않아 경질피막과 같은 화합물 피막의 특성 향상에는 한계를 드러내게 되었다. 그러다가 186년 Window 등 이 자장의 세기를 변형시킨 비평형 마그네트론 소스(Unbalanced Magnetron;UBM)를 처음 발표하여 이온화율의 향상이 가능하다는 것이 알려지면서 이에 대한 많은 연구가 진행되었다. UBM 소스는 마그네트론 스퍼터링 소스의 외부에 전자석을 설치하여 기판에 흐르는 이온의 양을 증가시킴으로써 소스와 기판사이의 거리를 증가시킬 수 있고 따라서, 복잡한 형상의 부품코팅이 가능하며 피막 특성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 본 연구에서는 UBM 스퍼터링 소스를 설계, 제작하여 그 특성을 다양한 측면에서 조사하였다. 특히, 자작의 최적 설계를 통해 전자석의 조건을 도출하였음, Dual UBM 소스의 특성을 동시에 조사하였다. 자기장의 simulation에는 Quick field 프로그램을 이용하였고 기존의 방식과의 비교를 통해 최적의 조건을 도출하였다. 이를 바탕으로 inner pole의 크기를 30mm, outer pole의 크기를 26mm로 고정하여 설계하였고, 외부에 전자석이 설치된 UBM 소스를 제작하였다. 본 UBM 소스는 4" 타겟을 사용할 수 있으며 전자석의 조건을 10A까지 변화시켜 자기장의 세기를 변화시킬 수 있게 하였다. 제작된 소스의 동작조건 설정과 최적화를 위한 스퍼터링 장치를 함께 제작하여 UBM 소스의 최적 동작 조건을 도출하였다. 전자석의 전류가 4.5A일 때 Inner Pole과 Outer Pole의 자기장의 세기가 도일함을 알 수 있었다. 기판과 타겟의 거리가 200mm일 경우에 기판에 흐르는 전류밀도는 2mA/cm2이상이 됨을 확인하였다. 이 결과는 기존의 마그네트론 소스가 기판과 타겟사이의 거리가 100mm일 때 1mA/cm2 정도가 되는 것과 비교하면 이온화율이 획기적으로 향상된 것임을 알 수 있다.수 있다.

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Stability Conditions for Positive Time-Varying Discrete Interval System with Unstructured Uncertainty (비구조화 불확실성을 갖는 양의 시변 이산 구간 시스템의 안정 조건)

  • Han, Hyung-seok
    • Journal of Advanced Navigation Technology
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    • v.23 no.6
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    • pp.577-583
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    • 2019
  • A dynamic system is called positive if any trajectory of the system starting from non-negative initial states remains forever non-negative for non-negative controls. In this paper, we consider the new stability condition for the positive time-varying linear discrete interval systems with time-varying delay and unstructured uncertainty. The delay time is considered as time-varying within certain interval having minimum and maximum values and the system is subjected to nonlinear unstructured uncertainty which only gives information on uncertainty magnitude. The proposed stability condition is an improvement of the previous results which can be applied only to time-invariant systems or had no consideration of uncertainty, and they can be expressed in the form of a very simple inequality. The stability conditions are derived using the Lyapunov stability theory and have many advantages over previous results using the upper solution bound of the Lyapunov equation. Through numerical example, the proposed stability conditions are proven to be effective and can include the existing results.

The effect of phase modulation on the central peak intensity in an optical system (광학계의 위상 변조 조건에 따른 중심 강도 변화)

  • 이영철;정창섭;박성종;이윤우
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.11 no.2
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    • pp.67-72
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    • 2000
  • A lot of varIOUS studies are taking advantage of annular masks or various pupil filters to design optical systems such as a digital versatile disc (DVD) pick up head and precise scanning microscopy that have the superresolution beyond the diffraction limit. We considered both annular mask and pupil filter for the superresolution system. Since image quality is a function of annular width, position and modulation amount, we computel'lzed the optimized condition for the phase modulation and mvestigated the variation of lhe center peak: intensity for the phase modulated system From tills result, we were able to detenrune the best conditions for the annular apodizer, wluch give the maximum value of the center peak intensity_ We made especially sure that the phase modulated system have an excellent compensation for spherical aberration as it lllcreases. eases.

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Analysis of Flow Characteristics in Four-Way Combining Manholes Using Fluent Model (Fluent 모형을 이용한 4방향 합류맨홀의 흐름특성 분석)

  • Kim, Chae Rin;Kim, Jung Soo;Han, Jung Suk;Yoon, Sei Eui
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2016.05a
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    • pp.360-360
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    • 2016
  • 도시 배수 시스템에서 유입유량이 관거의 만관 상태를 초과하거나 하류 흐름 때문에 발생하는 역류의 영향을 받는다면, 관거 시설은 과부하(surcharge) 상태인 압력흐름이 된다. 중력흐름 상태에서 맨홀의 수두 손실은 일반적으로 무시되지만, 과부하 맨홀에서의 수두 손실은 중요하며, 우수 관거 시스템의 전체 손실에 상당한 부분을 차지하게 된다. 이러한 현상은 여러 개의 맨홀을 가지는 도시 배수 시스템에서 특히 중요한 사항이 된다. 따라서 관거 시설 내 맨홀에서의 수리적 에너지 손실에 대한 연구와 보다 구체적인 설치 기준의 제시가 요구되고 있는 실정이다. 특히 배수관거 시스템의 하류부에 설치되는 4방향 합류맨홀은 맨홀으로 유입되는 주 유입관과 측면 유입관의 유입흐름의 영향으로 맨홀 내의 유수교란에 의한 흐름특성이 복잡하므로 이에 따른 흐름특성의 변화를 분석하고 에너지 손실을 연구할 필요가 있다. 그러므로 우수 관거 시스템의 우수 배제 능력을 증가시켜 도심지의 침수를 방지하기 위한 관거시설의 적정 설계 기준이 필요하며, 합리적인 설계 기준을 제시하기 위하여 과부하 4방향 합류 맨홀 내에서의 수두 손실을 분석할 필요가 있다. 본 연구에서는 수리모형 실험의 물질적, 시간적 한계를 극복하고 과부하 4방향 합류맨홀에서의 복잡한 흐름특성을 분석하기 위하여 일반적으로 3차원 유체거동의 특성분석에 많이 사용되는 FLUENT 6.3 모형을 선택하였다. 합류맨홀 및 접합 관거의 기하 모형의 격자망은 수치해석의 안정성 확보를 위하여 맨홀과 연결관의 합류부분에서는 사면체 격자로 구성하고 합류부분을 제외한 구간에서는 6면체 격자로 구성하였으며, 각 격자의 면은 가능한 사각형 또는 삼각형의 형태를 취하도록 하였다. 합류맨홀 모형의 벽면에는 No-Slip 경계조건을 부여하였으며, 유입부에는 속도 조건, 유출부와 맨홀의 자유수면 부분의 경계에서는 대기압 조건을 부여하였다. 수리모형 실험 결과와 비교하기 위하여 유입 관거의 유속 조건을 수리 모형실험의 조건과 동일하게 채택하여 수치모의를 수행하였다. 수치모형의 적용 결과 맨홀 내에서의 유속변화, 수심변화 및 압력변화에 대해서는 수리모형 실험 결과와 유사한 경향을 나타내고 있으며, 수치모형에 의하여 산정된 4방향 합류맨홀에서의 손실계수 값과 수리모형 실험에 의하여 산정된 손실계수 값이 유사하므로 우수 관거 시스템의 4방향 합류맨홀에서의 흐름 변화 및 손실계수 예측하는 데에 있어서 FLUENT 6.3 모형은 사용 가능하리라 판단된다.

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Determination of representative water quality accident scenarios and appropriate analysis techniques through case study in water distribution networks (상수관망 내 수질사고 사례분석을 통한 대표 수질사고 시나리오 및 적정해석기법 결정)

  • Yoo, Do Guen;Hong, Sungjin;Moon, Gihoon
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2021.06a
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    • pp.428-428
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    • 2021
  • 상수관망 내 수질사고는 매우 다양한 원인과 상황에서 시·공간적으로 광범위하게 발생가능하다. 일반적인 수질사고의 정성적 정의는 "정상적인 운영에 비하여 상대적으로 비정상적인 활동이나 행동에 의해 발생되는 수질문제"라고 할 수 있으나, 이는 매우 광의적이라 할 수 있으며 실제 현장에서는 발생 가능한 모든 수질사고 시나리오를 미리 예측하여 대비하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 국외 및 국내 지자체, 그리고 K-water 등의 자료를 확보하여, 상수도 공급계통에서 발생한 수질사고 사례 및 발생 빈도 등을 분석하였다. 이를 상수도 관망 내에서 발생빈도가 잦고 피해영향이 큰 대표 수질사고 발생 시나리오 선정에 활용하였다. 과거 사례를 분석한 결과, 관망 내 대표적인 수질사고는 정상적 운영조건 (예, 정수처리문제에 의한 유출수내 고탁도 발생)뿐 만 아니라, 비정상적인 운영조건 (수계전환, 밸브조작 등에 의한 유속, 수압 변동에 의한 고탁도 발생)에서 발생 가능함을 확인하였다. 이와 같은 대표적 수질사고는 수리학적 조건의 변화에 따라 관망 내 수질이 변화되어 발생되므로, 수질사고의 현실적인 모의를 위해서는 합리적인 수리학적 관망해석이 수반되어야 한다. 상수관망 시스템의 수리해석 기법은 크게 수요기반해석(Demand Driven Analysis; DDA)과 수압기반해석(Pressure Driven Analysis; PDA)로 구분 가능하다. 기본적으로 정상적 운영조건은 수요기반해석의 수행이 적절하며, 비정상적 운영조건은 수압저하에 의한 수리적상태가 변동하므로 수압기반해석이 필수적이라 할 수 있다. 본 연구에서는 대표적 수질사고의 모의 시 필요한 적정수리해석 기법을 제안하고, 각 적정 해석기법 별 검·보정이 필요한 인자들에 대해 제시하였다. 이와 같은 수리해석 기법을 적절히 활용할 경우, 관망 내 탁수사고 발생 가능성이 높은 지점 등을 결정하는 방법론의 정확도가 높아질 것으로 기대된다.

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Weed Competition and Herbicide Response of Rice under the Foggy Condition II. Growth and Weed Competition of Rice (안개조건하(條件下)에서 벼(Oryza sativa L.)의 잡초경합(雜草競合)과 제초제(除草劑) 반응차이(反應差異)에 관(關)한 연구(硏究) II. 벼의 생장(生長)과 잡초경합(雜草競合))

  • Guh, Ja-Ock;Lee, Min-Soo;Kuk, Yong-In;Chon, Sang-Uck
    • Korean Journal of Environmental Agriculture
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    • v.14 no.2
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    • pp.221-231
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    • 1995
  • The objectives of the present study were to find out the differences in growth and weed competition of rice under the foggy and non-foggy condition, and finally, the fundamental data for the establishment of the paddy weed control system under the locational foggy regions. The research was carried out on tin trays ($0.12m^2$) in greenhouse equipped with an Auto Foggy System(SAE KI RTN Co.). The results are summarized as follows: Exp. I. Difference in rice growth under the foggy and non-foggy condition. 1. While the plant height was not affected, the number of tillers was decreased by the foggy condition. The ratio of the number of effective tiller, however, became higher under the foggy condition. 2. Due to the fog present, the heading rate was decreased and heading time was delayed. 3. The foggy condition did not affect the dry weight of rice straw whether they were grown under the foggy or non-foggy condition. However, yield components such as the number of ears, the number of grains per ear, thousand kernel weight and percentage of ripeness were reduced. Particularly, weights of perfect brown and unpolished rice were also decreased. Exp. II. Effect of the duration of competition between weed and rice grown under the foggy condition on the growth of rice plant. 1. There was no difference in the height of rice grown under a different duration of competition. There was a clear tendency that the number of tillers of rice grown under the foggy condition was decreased as the duration of competition was decreased. 2. When the duration of competition was longer than 60 days, the heading rate was decreased and the initiation of heading was also delayed by 2-4 days. 3. Under the foggy condition, the duration of competition for more than 40 days affected dry weight of rice straw and the difference in yield was greatest in the non-competition and competition for more than 40 days.

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A Design of the Robust Controller for Stabilization of the Unstable System Using QFT(Quantitative Feedback Theory) (QFT(Quantitative Feedback Theory)를 이용한 불안정한 시스템의 안정화를 위한 강인 제어기 설계)

  • 강민구;변기식
    • Journal of the Institute of Convergence Signal Processing
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    • v.2 no.3
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    • pp.57-64
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    • 2001
  • This paper propose a robust control method to achieve a desired system performance in spite of system uncertainty and disturbance uncertainty. The procedures of the robust controller based on QFT(Quantitative Feedback Theory) make template, bound and loop shaping which are considered by system parameter variations and performance specifications. To prove the efficiency, the designed controller is applied for an inverted pendulum which is so sensitive to the parameter variation and has a highly nonlinear and unstable characteristics. It is shown that the simulation and experimental results from the proposed controller are efficient in robustness of parameter variation and disturbance.

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X-Ray Fluorescence Analysis by Stearic Acid-Extraction Technique (스테아르산 추출법에 의한 X-선 형광분석)

  • Tae Sub O;Man Ho Lee;Young Kyu Park
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.28 no.1
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    • pp.41-46
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    • 1984
  • To preconcentrate trace elements, microgram amounts of 5 heavy metals (Cu, Co, Ni, Zn and Cd) were precipitated with 8-hydroxyquinoline (oxine) and metal oxinates were extracted with stearic acid. And then each of the molten stearic acid extract with stearic acid. And then each of the molten stearic acid extract was poured into a glass ring and cooled for specimen preparation. The obtained specimens were analyzed by X-ray fluorescene spectrometry. And then conditions of precipitation formation and extraction, reproducibility, sensitivity and detection limit were observed. The relative standard deviation of specimen preparation was 1.0~5.7% and the detection limit was 5~$50{\mu}g$/100ml. The proposed preconcentration procedure exhibited a considerable inhancement and simplicity in preparing specimens.

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A Study on the Determination of Rare Earth Elements by Inductively Coupled Plasma Spectrometry (Inductively Coupled Plasma 법을 이용한 희토류원소의 분석에 관한 연구)

  • Beom Suk Choi;Sun Tae Kim;Young Man Kim;Chong Wook Lee
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.29 no.4
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    • pp.382-389
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    • 1985
  • The effect of plasma operational parameters for the determination of rare earth elements(REE) by means of inductively coupled plasma(ICP) spectrometry was investigated. While the increase in the flow rate of carrier gas argon enhanced the sensitivity and lowered the detection limit, significant ionization interferences were observed. The decrease in RF power increased the signal to background ratio. The observation point showing the lowest ionization interference was slightly higher than the position where the spatial profile of the analyte reached the maximum. The detection limits of the spectral lines commonly used for the determination of REE were measured and the spectral lines relatively free from spectral interferences were chosen.

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Study on Efficient Response Skill in the Yellow Sea Coast of Korea under Bad Weather (기상악화시 우리나라 서해안의 효율적인 방제방법 고찰)

  • Yun, Jong-Hwui;Gug, Seung-Gi;Moon, Jung-Hwan;Jang, Ha-Yong;Kuk, Eun-Mi;Ha, Min-Jae
    • Proceedings of the Korean Institute of Navigation and Port Research Conference
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    • 2010.04a
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    • pp.402-403
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    • 2010
  • Hebei Spirit Oil Spill in the West Coast in 2007 happened catastrophic environment and economy damage. Refer to the limitation of current oil spill response methods. and oil spill response in the Yellow sea coast of korea, effective measures are considered.

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