Development of Global Simulator of $O_2$ Discharge in High Density Transformer Coupled Plasma Source
(고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $O_2$ 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2005.07a
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- pp.550-551
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- 2005