• 한국진공학회지
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• 제22권3호
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• pp.131-137
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• 2013

본 연구에서는 유기소자의 절연박막을 습식 공정이 아닌 건식 공정인 플라즈마 중합법을 이용하여 Styrene 유기물을 사용하여 절연박막을 제작하였다. 안정적인 플라즈마 형성을 위해 버블러와 써큐레이터를 활용하여 정량적인 모노머 주입을 가능하게 하였다. 본 연구에서는 플라즈마 중합된 Styrene 박막을 30, 60 nm 터널링층으로 활용하였고, Styrene 절연층의 두께를 430 nm, Au 메모리층의 두께를 7 nm, 활성층의 두께를 40 nm, 소스와 드레인 전극의 두께를 50 nm로 유기 메모리 소자를 제작하여 특성을 평가하였다. 40/-40 V의 double sweep시 45 V의 히스테리시스 전압을 얻을 수 있었고, 이는 MMA를 터널링층으로 활용한 유기 메모리 소자의 히스테리시스 전압이 27 V인 것과 비교하였을 때 60% 상승한 효과로 히스테리시스 전압이 18 V 이상 높은 결과이다. 이와 같은 결과로부터 플라즈마 중합된 Styrene 유기 박막의 높은 전하 포집 특성을 활용하여 전체층을 유기 재료로 제작한 유연한 메모리 소자의 응용 가능성을 기대한다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1567-1569
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• 2004

유기발광 소자의 전공 수송층 재료로 많이 쓰이고 있는 N,N'-diphenyl-N,N'-(3-methylphenyl)-1,1'-biphenyl-4-4'-diamine(TPD)는 OLED소자가 연속적으로 작동하게 되면 TPD박막이 결정화되는데, 이러한 결정화는 디스플래이 소자에 dark spot(흑점)의 문제점을 가져왔다. 이러한 원인을 제거하기 위해서 ITO위에 PolyThiophene을 완충층으로 제작함으로써, OLED 소자의 효율에 미치는 영향은 크다고 할수 있다. 자체 제작한 플라즈마 중합장치의 중합조건과 중합체 PolyThiophene의 분자구조를 알아보았다.

• 한국막학회:학술대회논문집
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• 한국막학회 2005년도 춘계 총회 및 학술발표회
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• pp.34-37
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• 2005

• Pediatric Infection and Vaccine
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• 제30권3호
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• pp.121-128
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• 2023

목적: 마이코플라즈마폐렴균은 비말감염을 통해 경한 상기도 감염부터 기관지염이나 폐렴까지 일으키는 주요 병원체이다. 마이코플라즈마폐렴균 감염의 호발 연령은 통상적으로 학동기로 알려져 있으나 연령이 어려지고 있다는 보고들이 있었다. 인천의 한 3차 병원에서 호흡기 감염증으로 입원한 환자들 중에서 마이코플라즈마폐렴 감염 환자의 최근 연령분포를 확인하고자 하였다. 또한 이들 진단된 환자들에서의 검사법에 따른 진단적 유용성의 차이를 확인하고자 하였다. 방법: 2016년 7월부터 2019년 2월까지 0세에서 18세 사이의 호흡기 감염질환 환자들 중 비인두 마이코플라즈마폐렴균 중합효소연쇄반응검사 또는 마이코플라즈마폐렴균 특이 IgM 항체 검사를 시행한 환자들의 의무 기록을 후향적으로 조사하였다. 마이코플라즈마폐렴균 감염의 진단은 중합효소연쇄반응검사 또는 특이 IgM 항체 양성인 경우로 하였다. 결과: 마이코플라즈마폐렴균에 대한 검사를 IgM 또는 중합효소연쇄반응검사를 시행한 환자는 총 2,721명이었다. 둘 중의 한 검사라도 시행한 사람 중에 2,197명이 IgM을, 1,144명이 중합효소연쇄반응검사를 하였고 각각 17%, 20%에서 양성이었다. IgM과 중합효소연쇄반응검사를 동시에 검사한 환자는 총 620명이었고 이 중 35%에서 마이코플라즈마폐렴균 감염이 확인되었고 1세 미만에서 14%, 1-2세 미만에서 13%에서 양성이었다. 나이가 많을수록 마이코플라즈마폐렴균 양성률이 두 검사에서 다 높게 나타났다. 3세 이전에 IgM 검사에서, 3세 이후에서 중합효소연쇄반응검사에서 양성률이 높았다. 두 검사의 일치율은 77.9% (Cohen's kappa 0.402)로 적당한 일치율을 보였다. 결론: 연령이 증가할수록 마이코플라즈마폐렴균의 양성률은 높아졌음을 알았고, 생후 2세 미만의 환자에서 검사법에 따라서 4-14% 정도의 감염을 확인할 수 있었다. 중합효소연쇄반응검사와 항체 검사의 일치도가 적당한 일치도를 보이고 있어 진단을 위해 처음부터 무분별하게 IgM 항체 검사와 중합효소연쇄반응 검사를 동시에 진행할 필요성이 낮음을 보여주고 있다.

• 한국진공학회지
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• 제21권6호
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• pp.354-361
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• 2012

유기 메모리 절연막 제작을 위해 일반적으로 사용되어지는 습식법이 아닌 건식법 중 플라즈마 중합법을 이용하였다. 유기 절연 박막으로 사용된 단량체는 Styrene과 MMA을 사용하고, 터널링 박막은 MMA를 사용하며, 메모리 박막은 열기상증착법을 이용한 Au 박막을 사용하였다. 최적화된 소자의 구조는 Au의 메모리층의 두께를 7 nm, Styrene 게이트 절연막의 두께를 400 nm, MMA 터널링 박막의 두께를 30 nm로 증착하여 제작된 부동 게이트형 유기 메모리 소자는 40/-40 V의 double sweep시 27 V의 히스테리시스 전압을 얻을 수 있었다. 이 특성을 기준하여 유기 메모리의 전하 포집 특성을 얻을 수 있었다. 유기 재료 중 MMA 대비 Styrene의 전하 포집 특성이 좋은 것으로 보아 향후 부동 게이트인 Au 박막을 유기 재료인 Styrene으로 대체하여 플렉시블 소자의 가능성을 기대한다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제11권5호
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• pp.340-346
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• 1998

In this study, we intended to investigate aging effect of polyimide prepared by VDPD(vapor deposition polymerized method). The prepared polymide was treated by the oxygen and argon gas plasma. And we evaluated the polyimide treated by plasma from contact angle, surface leakage current, FT-IR and SEM. We know that the structure of polyimide at surface are changed to amide structure by plasma treating. It seems that strong energy of plasma causes breaking the molecular chin of the polyimide. And surface roughness increases with plasma treating time increased and sequentially the wettability and leakage current increases.

• 한국막학회:학술대회논문집
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• 한국막학회 2003년도 춘계 총회 및 학술발표회
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• pp.41-44
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• 2003

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1993년도 추계학술대회 논문집
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• pp.131-133
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• 1993

Plasma polymerized thin films were prepared using an interelectrode capacitively coupled gas flow type reactor. Hexamethyldisiloxane was chosen as the monomer to be used. The dielectric properties of the thin films have been investigated with the changes of discharge power, heat treatment temperature and frequency. The relative dielectric constant was increased with an increasing of discharge power, but was decreased with an increasing of heat treatment temperature.

• 한국막학회:학술대회논문집
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• 한국막학회 2004년도 추계 총회 및 학술발표회
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• pp.39-42
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• 2004

• 공업화학
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• 제20권5호
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• pp.536-541
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• 2009

플라즈마 중합 아크릴산 필름을 원격 플라즈마 방식으로 Si과 KBr 기판 위에 증착하였다. 플라즈마 출력, 반응 압력, 간접 플라즈마 방식이 필름의 성장속도, 화학적 구조 및 화학 결합 상태 등에 미치는 영향을 조사하였다. 화학 구조와 화학적 상태는 FT-IR, XPS 분석과 curve fitting 기법으로 분석하였다. 플라즈마 출력에 따른 필름의 성장속도는 100 W에서 포화값을 보이지만, 압력에 대해서는 300 mtorr에서 최대값을 나타내었다. 플라즈마 출력을 높이거나 압력을 낮추면 단위 입자들에게 가해지는 에너지 값(W/FM)이 증가하여 아크릴산 분자의 파괴가 촉진되었다. XPS curve fitting 분석 결과, W/FM값이 커질수록 카르복실 COO 결합은 감소하지만 에테르 C-O 결합과 카보닐 C=O 결합은 증가하여 서로 반대의 경향을 보임을 확인하였다.