• 제목/요약/키워드: 플라즈마 전처리

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플라즈마 전처리와 자외선 흡수제에 의한 소목의 내일광성 향상에 관한 연구 (Influence of Plasma Treatment & UV Absorbent on Lightfastness Improvement of Brazilin)

  • 신정숙;손원교
    • 복식문화연구
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    • 제11권1호
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    • pp.66-74
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    • 2003
  • This study is to improve the worst lightfastness of a natural dye. To modify the fiber surface, low temperature oxygen plasma was carried out on silk fabric. The result is followed below after the examination of surface shape, dyeability, color change, UV absorbent influence and lightfastness. 1. When electric discharge outputs are 60W, 80W and 100w, and processing times are 10minutes, 20minutes and 40minutes, the etching effect of surface increased as electric discharge outputs and processing times increased. 2. When examined UV absorbent for 5hours, 10hours, 20hours, 40hours and 80hours, the value changes of E are 1.47, 2.51, 2.91, 3.71, 4.51 and 5.31 in case of Al pre-mordanting/ prasma 80W, 20min./ UVabsorbent 5% (100:1), 2.31, 2.47, 3.84, 3.90, 3.61 and 4.42 in case of Al pre-mordanting/prasma 80W, 20min.1 UV absorbent 5% (o.w.f.). The lightfastness decreased when UV absorbent increased. 3. Dyeability of the samples pre-treated with five different methods was in the following order: plasma processing for 20minutes at 60W/Al pre-mordanting > Al pre-mordanting > plasma processing for 20minutes at 60W > Al after-mordanting. non mordanting Plasma treatment had superior effect on dyeability. 4. When UV absorbent was applied in fabric, the sample under higher electric discharge out puts showed more effective in improving lightfastness.

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환원 증기 발생법-유도결합 플라즈마 원자방출 분광계를 이용한 수은과 비소의 동시 분석법 (Simultaneous Determination of Mercury and Arsenic by Reductive Vapor Generation-ICP-AES)

  • 신형선;최만식;김강진
    • 분석과학
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    • 제12권4호
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    • pp.273-278
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    • 1999
  • 수은과 비소를 동일한 반응조건으로 환원 증기 발생법-유도결합 플라즈마 원자방출 분광계로 동시에 분석할 수 있는 방법을 연구하였다. 수은과 비소는 휘발성이 강하므로 시료를 마이크로파 용해 장치와 산을 이용한 추출법으로 전처리를 실시하였다. 환원 증기 발생법 반응조건은 6N HCl과 2% $NaBH_4$로 비교적 농도를 진하게 사용하였으며, 이 조건에서 검출한계는 수은과 비소가 각각 0.06 ppb, 0.08 ppb를 얻었다. 수은은 모두 표준시료의 검증값에 일치하였으며 비소도 무기물 시료에서는 검증값에 일치하였으나 유기물 시료에서는 약 80%의 회수율을 얻었다.

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대면적 표면처리용 1.55 m급 선형이온소스 개발 및 공정 기술 연구

  • 강용진;이승훈;김종국;김도근
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.297-297
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    • 2013
  • 최근 각종 폴리머 및 강판과 같은 유연소재의 수요 증가로 인해 유연소재 표면의 전처리, 증착 및 기능성 부여를 위한 이온빔 또는 플라즈마 표면처리 기술이 세계적으로 활발히 연구개발 되고 있으며, 유연소재 표면처리 공정의 고속화 및 대면적화 기술이 요구되고 있다. 유연소재의 고속 및 대면적 표면처리 기술개발을 위해서는 Roll-to-Roll 공정에 적용 가능한 광폭 선형이온소스 기술 개발이 필요하다. 본 연구에서는 1.55 m급 광폭 Anode Layer 선형이온소스를 개발하였으며, 이온빔 인출 균일도 및 에너지 분포 특성을 평가하였다. 특히, 본 선형이온 소스 개발 시 시뮬레이션 연구를 통해 이온소소의 이온 인출 특성 및 내구성 향상을 위한 최적 구조를 설계하였다. 본 연구에서 개발한 선형이온소스는 최대 5 kV의 방전 전압 조건에서 평균 1.5 keV의 이온에너지를 가지는 Ar 이온빔이 1.55 m 폭에서 약 4.2%의 균일도를 보였다. 표면 처리 성능 평가시(Si wafer 기준) 소스와 기판과 거리 100 mm에서 에칭율은 15 nm/s였고, 이는 다른 표면처리 이온소스 대비 높은 효율을 나타냄을 확인할 수 있었다. 또한 4시간 이상 운전시에도 안정적인 인출 빔 전류 밀도를 확인하였으며, 소스 내부의 효율적인 냉각 구조로 인한 열손상은 발견되지 않았다.

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RF 마그네트론 스퍼터링 공정으로 PET 기판 위에 제조한 Ga-doped ZnO 투명전도막의 특성 (Properties of Ga-doped ZnO transparent conducting oxide fabricated on PET substrate by RF magnetron sputtering)

  • 김정연;김병국;이용구;김재화;우덕현;권순용;임동건;박재환
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.19-24
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    • 2010
  • 산소 플라즈마 전처리에 의한 PET 기판 위에 Ga이 도핑된 ZnO 투명전극 (GZO)의 특성변화를 고찰하였다. GZO 박막은 RF 마그네트론 스퍼터링 공정에 의해 합성하였으며 GZO 증착 이전에 PET 기판의 표면에너지를 높이고 GZO 박막과의 접촉특성을 향상시키기 위해 산소플라즈마 공정을 적용하였다. 산소 플라즈마 처리공정을 시행함에 따라 GZO 박막의 결정성과 전기적 특성이 향상하였다. RF 파워를 100 W로 하고, 플라즈마 처리시간을 600초로 하였을 때 GZO 박막의 최저 비저항 값인 $1.90{\times}10^{-3}{\Omega}-cm$의 양호한 특성을 확인되었다.

상압 저온 플라즈마 전처리한 폴리아미드계 직물의 색농도 (Color Depth of Polyamide Fabrics Pretreated with Low-Temperature Plasma under Atmospheric Pressure)

  • 이문철
    • 한국염색가공학회지
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    • 제5권2호
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    • pp.134-138
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    • 1993
  • Wool, silk and nylon 6 fabrics were treated with low-temperature plasma under atmospheric pressure of acetone/argon or helium/argon for 30 and 180 sec, and then dyed with leveling type acid dye, C.I. Acid Red 18 and milling type acid dye, C.I. Acid Blue 83. In spite of short time of the plasma treatment for thirty seconds, the color depth of wool fabrics was increased remarkably with both of the plasma gases, aceton/argon or helium/argon and with the kinds of dyes i.e., levelin type or milling type. But the atmosperic low-temperature plasmas did not increase the depth of silk and nylon 6 fabrics dyed with both of the acid dyes regardless of the teated time and plasma gases. It seems that low-temperature plasma by atmospheric-pressure discharge is effective for improvement of dyeing of wools as is the same way with the low-temperature plasma by glow discharge. The kinds of plasma gases and treated time did not influnce the depth of wool fabric pretreted with the atmosperic low-temperature plasmas.

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ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리 (ECR Plasma Pretreatment on Sapphire and Silicon Substrates for ZnO ALE)

  • 임종민;신경철;이종무
    • 한국재료학회지
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    • 제14권5호
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    • pp.363-367
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    • 2004
  • Recently ZnO epitaxial layers have been widely studied as a semiconductor material for optoelectronic devices. Sapphire and silicon are commonly selected as substrate materials for ZnO epitaxial growth. In this communication, we report the effect of the ECR plasma pretreatment of sapphire and silicon substrates on the nucleation in the ZnO ALE (atomic layer epitaxy). It was found that ECR plasma pretreatment reduces the incubation period of the ZnO nucleation. Oxygen ECR plasma enhances ZnO nucleation most effectively since it increases the hydroxyl group density at the substrate surface. The nucleation enhancing effect of the oxygen ECR plasma treatment is stronger on the sapphire substrate than on the silicon substrate since the saturation density of the hydroxyl group is lower at the sapphire surface than that at the silicon surface.

Cu 박막의 특성개선을 위한 플라즈마를 이용한 $H_2$ 전처리 효과 (Effects of $H_2$ Pretreatment using plasma for improved characteristics of Cu thin films)

  • 이종현;이정환;최시영
    • 한국진공학회지
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    • 제8권3A호
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    • pp.249-255
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    • 1999
  • Deposition characteristics of Cu thin films using Ar carrier gas and $H_2$ processing gas at various working pressures and substrate temperatures were investigated. Also, effects of $H_2$ pretreatment using plasma at $200^{\circ}C$ of substrate temperature and 0.6 Torr of chamber pressure were stdied. Cu thin films were deposited on TiN/Si substrate at working pressure of 0.5~1.5 Torr, substrate temperatures of 140~$240^{\circ}C$ with (hface)Cu(tmvs). Substrates were pretreated by $H_2$ plasma, and Cu films deposited in situ using twofold shower head. The purity, electrical resistivity, thickness, surface morphology, optical properties of the deposited Cu films were measured b the AES, four point probe, stylus profiler, SEM,. and the uv-visible spectrophotometer. This study suggests that $H_2$ plasma is an effective method for enhancing deposition rate and for producing high quality copper thin films.

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Bohemite 나노졸을 이용한 내구성 코팅재료의 제조와 특성에 관한 연구 (Preparation and Characterization of Hard Coating Materials Based on Silane Modified Boehmite Hybrid Materials)

  • 전성재;김웅;이재준;구상만
    • 공업화학
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    • 제17권6호
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    • pp.580-585
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    • 2006
  • Boehmite 나노졸을 이용하여 자외선 및 열 경화가 동시에 가능한 내구성 코팅재료를 제조하였다. Boehmite (AlOOH) 나노입자에 3-(trimethoxysilyl)propylmethacrylate, (3-glycidyloxypropyl)trimethoxysilane 등의 유기 실란 커플링제를 혼합하는 sol-gel법으로 내구성 코팅 재료를 만들었다. 최초 boehmite 입자가 물에서만 분산 가능하였던 반면, 유기 실란이 도입된 입자는 알코올, tetrahydrofuran, acetonitrile 등의 유기 용매에서도 분산 가능케 되어 코팅 공정상 넓은 응용이 가능하게 되었다. 코팅 박막은 spin 코팅 방식을 이용하여 다양한 기질에 제조되었으며 제조된 박막은 FT-IR, Si/Al CP MAS NMR, UV-Vis spectrophotometer, 연필 경도계 및 FE-SEM, Taber abraser 등의 다양한 방법을 통하여 분석을 실시하였다. 유기실란의 배합 비율을 조절하여 최적화된 경도와 투명성을 갖는 박막을 얻었다. 또한 플라즈마로 전처리된 PMMA기질을 이용한 실험을 통하여 전처리의 효과성을 논의하였다.

Development of Ambient Ionization Mass Spectrometry Imaging for Live Cells and Tissues

  • 김재영;서은석;이선영;정강원;문대원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.229.1-229.1
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    • 2015
  • 생체 시료인 세포나 조직을 분석을 위해 임의로 파괴하거나 훼손하지 않은 본래의 상태에서 세포에 존재하는 다양한 생체분자 물질의 질량과 조성을 분석하고 영상화할 수 있는 대기압 표면 질량분석 이미징 기술을 개발했다. 생체 시료의 표면을 질량 분석을 하기 위해서는 대기압 분위기에서 시료에 열적 손상이 없는 조건으로 시편의 이온화 및 탈착 과정이 이루어지게 하기 위해 저온 대기압 탈착/이온화원으로 저온대기압 플라즈마 젯과 펨토초 적외선 레이저를 결합하여 대기압 이온화원을 제작하였다. 기존에 잘 알려진 저온 대기압 플라즈마 젯 소자는 유리관에 방전기체를 흘려주고 전극에 고전압을 인가하는 방식으로 제작했으며, 또 다른 대기압 이온화원으로서 근적외선 대역의 고출력 펨토초 레이저 빔을 현미경용 대물렌즈로 집속하여 생체시료에 조사시켰다. 수백 나노미터에서 수 마이크로미터 수준으로 빔을 집속할 수 있는 펨토초 레이저는 금나노로드의 도움으로 생체 시료를 매우 작은 수준으로 탈착하는 데 주로 사용하며, 수십 마이크로미터에서 수 밀리미터 정도의 크기를 가지는 저온 대기압 플라즈마 젯은 탈착된 물질을 이온화시키는데 사용하여, 이 두 가지 이온화원을 결합하여 이온화원으로 사용한다. 시료에서 발생한 이온을 질량분석기 입구까지 잘 끌고 갈 수 있도록 이온 전달관을 설계하고 보조펌프를 장착 사용한다. 이렇게 자체 개발한 대기압 이온화원을 상용 질량분석기기와 결합하여 대기압 분위기에서 시료의 표면을 질량분석할 수 있는 시스템과 측정 기술을 개발했다. 현미경 스테이지에 정밀 2-D 자동 스캐닝 스테이지를 장착하여 질량분석 정보에 공간 정보를 더할 수 있는 질량분석 이미징 기술 방법을 개발하여 생체 시편의 질량분석 이미징을 얻었다. 수분을 포함하는 생채시료로부터 단백질, 지질, 대사물질을 직접 분리하여 분석하는 이 새로운 질량분석법은 기존의 분석법에 비해 훨씬 더 많은 생체분자 정보를 얻을 수 있으며 공간정보를 더해 영상화할 수 있는 큰 장점이 있다. 대기압 표면 질량분석 기술은 생체시료를 파괴해서 용액화할 필요도 없으며, 진공 챔버에 넣기 위해 필요한 복잡한 전처리 과정 단계를 간략화 할 수 있으며 최종적으로는 살아있는 세포나 생체 조직도 정량 분석이 가능하여 생명과학 및 의료진단 분야에서 응용할 수 있는 분야는 무궁무진할 것이다.

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발광형 교통안전표지용 청색 OLED의 특성분석에 관한 연구 (A Study on the Characteristic Analysis of Blue OLED for the Luminous Traffic Safety Mark)

  • 강명구;김중연;오환술
    • 한국ITS학회 논문지
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    • 제6권2호
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    • pp.138-145
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    • 2007
  • 발광형 교통안전표지는 안개가 잦은 곳, 야간 교통사고가 많이 발생하거나 발생가능성이 높은 곳, 도로의 구조로 인하여 가시거리가 충분히 확보되지 않은 곳 등과 같은 장소에서 제한적으로 사용하도록 규정 되었다. 현재 발광형 교통안전표지는 LED가 사용되고 있으나, 향후 새로운 교통안전표지용으로 유기발광다이오드를 제안하였다. 소자의 구조는 $ITO/2-TNATA(500{\AA})/{\alpha}-NPD(200{\AA})/DPVBi(300{\AA})/BCP(10{\AA})/Alq3(200{\AA})/LiF(10{\AA})/Al:Li(1000{\AA})$로 하였다. 인가전압 10 V에서 전류밀도는 $240.71mA/cm^2$, 휘도는 $10,550cd/m^2$, 발광효율은 3.53cd/A이었다. $N_2$ 가스가 주입된 플라즈마로 전처리한 ITO 표면을 갖는 소자가 플라즈마 전처리되지 않은 ITO 표면을 갖는 소자보다 특성이 향상되었다. EL 스펙트럼의 최대 발광 파장은 456nm이었고 색좌표값은 x=0.1449, y=0.1633으로 NTSC 색좌표 Deep blue 영역(x=014, y=0.08)에 근접한 순수한 청색에 가까운 값을 얻었다.

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