Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 $SiO_2$ 박막 증착에 관한 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
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- pp.92-92
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- 2007