Loading [MathJax]/jax/output/CommonHTML/jax.js
  • Title/Summary/Keyword: 플라즈마코팅

Search Result 430, Processing Time 0.031 seconds

Effects of Plasma on the Surface of Protein Chip Plates (단백질 칩 기판의 플라즈마 효과)

  • Hyun, J.W.;Kim, N.Y.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
    • /
    • v.17 no.6
    • /
    • pp.549-554
    • /
    • 2008
  • Nickel Chloride coated protein chip plates were developed by using a spin coating method after H2 plasma treatment. The adsorption ability of histidine tagged protein was investigated at various times of plasma treatment. The properties of the nickel chloride and protein on the surface of the slides were assayed using particle size analysis and the extent of the protein adsorption was determined by using a bio imaging analyzer system. The results show that the ability of protein adsorption decreased as increasing the time of H2 plasma treatment. The mechanism on the ability of protein adsorption at the plate surface is discussed on results and discussions. The results also suggest that the surface stabilization of protein chip plates treated by plasma technology may be applicable in biosensor markets.

Enhanced Adhesion of Tire Cords via Plasma Polymerizations (플라즈마 중합에 의한 타이어 코드의 접착성 향상연구)

  • Kim, R.K.;Sohn, B.Y.;Han, M.H.;Kang, H.M.;Yoon, T.H.
    • Elastomers and Composites
    • /
    • v.34 no.2
    • /
    • pp.128-134
    • /
    • 1999
  • Steel tire cords were coated via RF plasma polymerization of acetylene and butadiene gas in order to enhance adhesion to rubber compounds. Adhesion of tire cords was measured by TCAT and T-test as a function of type of gas, plasma powder, treatment time, gas pressure and Ar gas etching. Some samples were subjected to aging study in distilled water at 80C for a period of 7 days. After testing, tire cords were analysed by SEM to elucidate the adhesion mechanism. The highest adhesion values were obtained at 20W, 2min and 25mtorr for acetylene plasma polymerization, and l0W, 4min, 25mtorr for butadiene plasma polymerization. However, Ar plasma etching did not affect adhesion, while the adhesion of tire cords increased rather than decreased, contrary to expectations. It was not possible to elucidate failure mode by SEM, owing to the rough surface of the tire and the thin plasma polymer coating layer.

  • PDF

Plasma resistance of Bi-Al-Si-O and Bi-Al-Si-O-F glass coating film (Bi-Al-Si-O와 Bi-Al-Si-O-F 유리 코팅막의 플라즈마 저항성)

  • Sung Hyun Woo;Jihun Jung;Jung Heon Lee;Hyeong-Jun Kim
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
    • /
    • v.34 no.4
    • /
    • pp.131-138
    • /
    • 2024
  • In this study, the microstructure and plasma resistance characteristics of 35Bi2O3-15Al2O3-50SiO2 (BiAl SiO) and 35Bi2O3-7.5Al2O3-50SiO2-7.5AlF3 (BiAlSiOF) glass layers coated on sintered alumina substrates were investigated according to the sintering conditions. The coated layers were formed using the bar coating method and then sintered at a temperature in the range of 700~900℃, which corresponds to the temperature before and after the hemisphere forming temperature, after a debinding process. The plasma resistance of the two coated glasses was approximately 2~3 times higher than that of the quartz glass, and in particular, the BiAlSiOF glass film with F added showed higher plasma resistance than BiAlSiO. It is thought to be due to the effect of suppressing the reaction with fluorine gas by adding fluorine to the glass. When the sintering time was increased at 700℃ and 800℃, the plasma resistance of both glasses improved, but when the sintering temperature was increased to 900℃, the plasma resistance decreased again (i.e., the etching rate increased). This phenomenon is thought to be related to the crystallization behavior of both glasses. The change in plasma resistance depending on the sintering conditions is thought to be related to the appearance of Al and Bi-rich phases.

마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성

  • Song, Min-A;Yang, Ji-Hun;Park, Hye-Seon;Jeong, Jae-Hun;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2012.02a
    • /
    • pp.294-294
    • /
    • 2012
  • 본 연구에서는 마그네트론 스퍼터를 이용한 경사 코팅법으로 질화 티타늄을 합성하였으며, 온도, 시편 인가전압, 외부 자기장 등 여러 코팅 조건에 따른 박막의 특성변화를 평가하였다. 스퍼터 소스에 장착된 타겟은 6"의 Ti 타겟을 사용하였으며, 시편과 타겟간의 거리는 약 10 cm, 시편은 Si-wafer와 SUS를 사용하였다. 시편을 진공용기에 장착하고 진공배기를 실시한 후 Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 시편에 전압을 인가한 후 플라즈마를 발생시켜 청정을 실시하였다. 플라즈마 청정이 끝나면 질소유량 (5~60 sccm), 온도 (0300C), 시편 인가전압 (0~100 V), 외부 자기장 (0~3 A) 등 여러 공정변수를 변화시키며 코팅하였다. 질화 티타늄의 두께는 약 1.5μm로 동일하게 코팅하였다. 그 결과 온도와 시편 인가전압은 각각 200C와 100 V 일 때 가장 높은 경도를 보였으며, 외부 자기장의 변화는 경도에 큰 영향을 미치지 않았다. 코팅 변수의 변화에 따른 질화 티타늄 박막의 색차, 경도, 조도, 반사도, 마모도 등의 물성 변화를 분석하였으며, 본 연구에서 얻어진 결과를 이용하여 공정변수 제어를 통한 원하는 특성을 가진 TiN 박막을 쉽게 형성할 수 있을 것으로 예상된다.

  • PDF

Surface Modification of Steel Tire Cords via Plasma Etching and Plasma Polymerization Coating : Part II. Characterization (플라즈마 고분자 코팅에 의한 강철 타이어 코드의 표면 개질 : 제2부. 타이어 코드의 분석)

  • Kang, H.M.;Chung, K.H.;Kaang, S.;Yoon, T.H.
    • Elastomers and Composites
    • /
    • v.35 no.1
    • /
    • pp.63-70
    • /
    • 2000
  • Zinc plated steel tire cords were subjected to RF plasma etching of argon, followed by plasma polymerization coating of acetylene or butadiene in order to enhance adhesion to rubber compounds. Plasma polymerization was carried out under optimized conditions of 10 W, 30 sec, 30 mTorr for acetylene and butadiene gas, while plasma etching was performed at 90W, 10min and 30mTorr. The adhesion of tire cords was evaluated via Tire Cords Adhesion Test (TCAT) and the failure surfaces of the tested samples were analyzed by SEM. Polymer coating by plasma polymerization was also characterized by FT-IR, Alpha-Step and dynamic contact angle analyzer in order to elucidate the adhesion mechanism.

  • PDF

Development of plasma system design framework by a computational fluid model (전산 유체 모델을 이용한 plasma 장비 개발 시스템의 구축)

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2013.05a
    • /
    • pp.60-60
    • /
    • 2013
  • 공정용 플라즈마는 반도체 웨이퍼 가공, 평판형 디스플레이, 자동차 및 산업용 부품 코팅, 장식용 코팅에 널리 사용되고 있다. 이를 위한 장비 개발은 플라즈마에 대한 깊은 이해가 없이는 불가능하여 주로 선진 장비 회사의 모델을 참고하여 유사하게 만드는 수준에서 진행되어 왔는데 2D, 3D modeling이 가능한 전산 유체 모델은 일부 상용화 패키지 S/W까지 등장하였으나 플라즈마와 수치 해석에 대한 기본적인 지식이 없이는 사용이 매우 어렵다는 단점이 있어 국내의 일부소자회사의 장비 관련 연구팀 정도에서만 사용이 가능했다. 이를 중견 장비 업체들에 까지 확대하기 위한 작업의 일환으로 2D-ICP, 2D-CCP model의 기본적인 기능을 갖추고 기하적 크기는 파라미터 방식으로 사용자가 조절할 수 있도록 만든 framework을 개발하려는 시도에 대해서 논의 하고자 한다.

  • PDF

A Study on the Arc suppression method using dv/dt detection of the High Frequency Sputtering System (고주파 스퍼터 시스템의 dv/dt 검출을 이용한 ARC 억제 기법에 관한 연구)

  • Nam, Ho-Jun;Ban, Jung-Hyun;Kim, Min-Young;Han, Hee-Min;Kim, Dong-Sung;Kim, Joohn-Sheok
    • Proceedings of the KIPE Conference
    • /
    • 2010.07a
    • /
    • pp.604-605
    • /
    • 2010
  • 산업이 고도화 됨에 따라 박막 코팅에 대한 수요가 점차 증가하고 있으며 이에 따라 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터 시스템에 대한 수요 역시 증가하고 있다. 코팅 공정에서 가장 문제가 되는 것은 고압의 플라즈마 발생장치를 사용함으로써 야기되는 아크현상이라 할 수 있다. 따라서, 플라즈마 전원 장치의 핵심 기능 중의 하나는 아크 차단 성능이라 할 수 있으며 가능한 한 최소의 아크 에너지를 유지할 필요가 있다. 아크를 억제하는 방법은 최단 기간 내에 아크를 검지하여 출력을 차단함으로써 아크 발생에 필요한 에너지의 유입을 감소시키는 방법이 사용되고 있다. 본 연구에서는 아크를 검지하는 기존의 방식을 살펴보고 최단기간에 아크를 검지할 수 있는 새로운 형태의 검지 방식을 제안한다.

  • PDF

Acoustic Emission Characteristics of Plasma Sprayed Ceramic Coating Layer after Salt Spray (플라즈마용사 세라믹코팅 피막부식재의 음향방출 특성)

  • 김귀식;박경석;홍용의
    • Journal of Ocean Engineering and Technology
    • /
    • v.15 no.3
    • /
    • pp.69-74
    • /
    • 2001
  • This paper was to investigate of a adhesiveness for the plasma sprayed coating materials did salt spray by acoustic emission method in tensile loadings. The powders used for the coating were nickel aluminum composite powder Ni-4.5wt.%Al and titanium dioxide powder TiO2. These powders were coated on a carbon steel S45C by plasma spray method. The result solution was a 5% NaCl and the slat spray times were 2, 5 and 10 hours respectively. The salt solution penetrated into the surface of the substrate through pore of the coating layer built in the process of plasma spay. Corrosion productions formed on the surface of substrate. The adhesiveness between the substrate and the coating layer is weaken by corrosion and the exfoliation initiated chiefly at the corrosion surface of the substrate. The AE events and energy of the corroded coating specimens decreased as the salt spray times increased.

  • PDF