• Title/Summary/Keyword: 표면저항율

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The non-uniformity study of AZO thin films by pulse magnetron sputtering for large area (대면적 펄스 마그네트론 스퍼터링에 의한 AZO 박막의 균일도 문제)

  • Yang, Won-Gyun;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.23-24
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    • 2008
  • Bipolar pulsed dc magnetron sputtering을 이용하여 태양전지의 투명 전도막용으로 유리기판 위에 Al doped ZnO (AZO) 박막을 증착하였다. $400{\times}400\;mm$의 대면적 기판에 증착하기 위해서 $5{\times}25$ inch 대형 사각 AZO target (Al 2 wt%)을 사용했고, $50{\sim}250\;kHz$의 bipolar pulse를 인가하였다. 실제로는 $400{\times}400\;mm$ 면적의 기판에 slide glass 16개를 사용했으며, 약 700 nm 두께에서 두께와 투과도, 비저항의 균일도를 평가하였다. Bipolar pulse의 주파수 150 kHz일 때, 가장 우수한 특성을 갖는 AZO가 증착되었으며, $2.13{\times}10^{-3}{\Omega}{\cdot}cm$의 비저항에 가시광선 영역에서 82%의 투과율을 보였다. 또한, $400{\times}400\;mm$ 대면적 기판에서의 두께와 투과도, 비저항의 불균일도는 각각 5%, 1%, 9% 였다.

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Preparation of ITO thin film with oxygen gas flow (산소 가스 유량 변화에 따른 ITO 박막의 제작)

  • Geum, Min-Jong;Jeon, A-Ram;Choe, Dong-Hun;Lee, Gyo-Ung;Han, Jeon-Geon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.107-108
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    • 2007
  • 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 산소 가스 유량 변화에 따른 ITO 박막을 실온 제작하였다. 그 결과 산소 가스 유량의 증가에 따라 박막의 비저항이 감소하였으며 적정 유량 이상에서는 비저항이 증가하였다. 또한 산소 가스 유량을 3 sccm으로 고정한 후 ITO 박막의 두께를 변화시킨 경우 막 두께 40nm 이상에서 부터는 $0.6{\sim}0.8$ $m{\Omega}-cm$의 비저항과 가시광 영역에서 80% 이상의 광투과율 특성을 나타내었다.

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Fabrication of Two-layer Antireflection Coatings Using Absorbing layer (흡수층을 이용한 2층 무반사 박막의 제작)

  • 손영배;황보창권;오정홍;김남영
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.170-171
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    • 2000
  • 현재 사용하고 있는 디스플레이 장치에는 표면에 무반사(antireflection), 무정전(antistatic) 코팅이 되어 있다. 이것은 전기적으로 음극선관(CRT)에서 발생되는 전자에 의해 표면에 생기는 전하의 적층을 제거하여 정전기를 방지하고 인체에 유해한 전자기파를 차단하는 무정전 기능과, 광학적으로 디스플레이 장치 표면에서 외부의 조명등과 같은 빛의 반사를 줄여 내부에서 나오는 정보(빛)가 보다 더 눈에 선명하게 들어오도록 해준다. 무반사 무정전 코팅의 투과 전도층으로는 비저항값이 낮고 가시광선 영역에서 굴절률이 높고 흡수가 적어 투과율이 높은 indium tin oxide(ITO)가 널리 연구, 사용되어 왔다. 이러한 ITO 박막 대신에 TiN 박막을 사용하여 그 위에 유전체층을 증착하여 단 2층으로 무반사 무정전 코팅을 제작 할 수 있다. TiN 박막은 절삭공구 등의 표면에 마모방지용 코팅재료로서 사용되고 있고, 부착력이 우수하며 화학적 안정성이 뛰어나 수명이 긴 박막을 제작 할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한 가시광선 영역에서 흡수로 인해 투과율이 ITO에 비해 상대적으로 낮지만 이점이 오히려 명도대비(contrast)의 향상을 가져온다. (중략)

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The DC Creepage Discharge Characteristics of Al2O3/Silicone Rubber Nanocomposites in presence of a water droplet (전도성 수적에 의한 Al2O3/실리콘 고무 나노컴포지트의 DC 연면 방전 특성)

  • Park, Ji-Sung;Kim, Ji-Ho;Seo, Cheong-Won;Kwon, Jung-Hun;Lim, Kee-Joe
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2015.07a
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    • pp.1141-1142
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    • 2015
  • 실리콘 고무는 옥외용 폴리머 애자 또는 부싱 등에 주로 사용되고 있으며, 이에 대한 연구가 많이 진행되어 지고 있다. 최근에는 나노 기술이 발달함에 따라 전기 재료에 나노 사이즈의 필러를 첨가하여 재료의 특정 특성들을 향상시키는 연구들이 진행되어 지고 있다. 본 논문에서는 전기적인 성능을 향상시키고자 나노 사이즈의 $Al_2O_3$를 첨가한 상온 경화형 실리콘 고무에 대한 연구를 진행하였으며, DC 전계와 오염 상황 하에서 연면 파괴 강도를 측정하였으며, 접촉각과 표면 저향률을 측정하였다. 실험 결과, 필러 함량이 증가할수록 연면 절연 파괴 강도와 표면 저항률은 증가하였으며 접촉각은 감소하였다. 또한, 일정 함량 이상에서는 연면 절연 파괴 강도와 표면 저항율이 감소하는 것으로 나타났다.

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Effect of Porous Filter Structure on Specific Cake Resistance and Porosity in Dead-end Filtration (Dead-end Filtration에서 Dust Cake 비저항과 기공율에 대한 다공성 필터 구조의 영향)

  • 이선희;조영민;유정근
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.05b
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    • pp.405-406
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    • 2003
  • 분진여과시 형성되는 분진 케이크는 궁극적인 여과 성능을 좌우하며, 필터의 구조, 분진 입자의 형태나 크기, 분진농도, 여과속도 등에 의해 영향을 받는다 특히 필터의 표면 구조나 기공 크기는 여과 초기 단계의 케이크 층의 구조를 결정하며, 연속적인 여과시 초기 케이크 층은 다음에 쌓이는 케이크 형성과 비저항에 영향을 주므로 필터 medium 구조 또한 분진여과 과정에서 중요한 영향 요인이 된다. 본 연구에서는 필터 medium의 구조가 서로 다른 고온가스정화용 복합 세라믹 필터, metal fiber mat, 스테인레스 필터를 이용하여 분진농도와 여과속도를 변수로 하여 분진 여과 실험을 함으로써 각각의 필터에 대한 케이크 비저항과 기공율을 실험과 이론식으로부터 추정하였다. (중략)

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Stress-Strain Behavior and Electrical Resistive of Conductive Silver Particle/Silicone Composite Pastes with Surface Modification (표면처리에 따른 도전성 은입자/실리콘 복합 페이스트의 응력-변형율 거동 및 전기비저항 특성)

  • 이건웅;방대석;박민;조동환
    • Composites Research
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    • v.17 no.5
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    • pp.61-67
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    • 2004
  • This paper reports the electrical conductivity and the stress-strain behavior of silver particle-filled silicone composite pastes for electromagnetic interference (EMI) shielding gasket materials. The percolation threshold (critical concentration) of the composite paste obtained by incorporating irregular sphere-shaped silver particles and room temperature vulcanizing (RTV) silicone resin was determined from the electrical conductivity result. At about 28 vol% Beading of untreated silver particles, the percolation phenomenon occurred and at this critical concentration, the volumetric resistivity, the tensile strength, and the elongation of the pastes were investigated. This work also suggests that the stress-strain characteristics of a composite paste filled with metal particles above the percolation threshold may be effectively improved by properly selecting a coupling agent.

알루미늄의 증발 및 증착 방법과 박막의 특성 비교

  • Jeong, Jae-In;Yang, Ji-Hun;Park, Hye-Seon;Jeong, Jae-Hun;Song, Min-A
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.150-150
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    • 2012
  • 진공증착을 이용하여 제조된 알루미늄 박막은 증착 조건에 따라 그 특성이 현저히 달라지는 것으로 알려져 있다. 특히, 진공도와 증착율에 따라 비저항과 반사율, 표면 색상 등이 크게 달라지며 이에 따라 적절한 증발원 및 증착 방법의 선택이 박막의 특성을 좌우하게 된다. 알루미늄은 융점이 낮은 반면 증기화되는 온도가 높을 뿐만 아니라 고온에서는 대부분의 내화물 금속과 반응하기 때문에 저항가열 증발원을 이용하여 증발시키기가 매우 까다로운 물질중의 하나이다. 또한 전자빔으로 증발시킬 경우에는 열전도도가 커서 수냉 도가니를 통해 열이 빠져나가기 때문에 효과적인 증발을 위해서는 고전력을 투입해야 하는 어려움이 있다. 한편, 스퍼터링 증발원을 이용하여 알루미늄을 증착하면 낮은 증착율로 인해 반사율과 같은 제반 특성이 현저히 떨어지는 단점이 있다. 본 논문에서는 알루미늄 박막의 제조를 위한 최적의 증발원과 증착 방법을 소개하고 증착 조건과 박막 특성의 상관성 자료를 소개하였다. 이를 위해 각종 저항가열 및 전자빔 증발원 그리고 스퍼터링을 이용한 증발 실험 결과를 소개하고 증발원에 따른 알루미늄 박막의 특성 변화 그리고 제반 증착 조건이 박막의 특성에 미치는 영향을 소개하였다.

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Surface Resistance of Antistatic Agent Using Lithium-Fluoro Compound and Quaternary Ammonium Salt and Characteristics Evaluation of Antistatic Film (리튬 불소계 화합물과 4차 암모늄염을 사용한 대전방지제의 표면저항 및 대전방지필름의 특성 평가)

  • Soh, Soon-Young;Chun, Yong-Jin;Lee, Jae-Kyeong
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.21 no.4
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    • pp.575-581
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    • 2020
  • A colorless antistatic agent was prepared for use in antistatic films for liquid crystal displays (LCDs) requiring low surface resistance and high transmittance. Among various lithium-fluoro compounds and quaternary ammonium salts, antistatic materials were selected based on their electrical conductivity, and antistatic agents were prepared to measure the surface resistance. As a result, the material with high conductivity showed a relatively low surface resistance, i.e., relatively good antistatic performance. Based on the antistatic materials selected, the formulation ratio for producing the best antistatic agent was established through the experimental design method and the effects of each factor were analyzed. The higher the use of lithium- fluoro compounds as antistatic materials, the higher the ratio of oligomer use with multi-functional groups, and the smaller the surface resistance. The quaternary ammonium salts increased the antistatic performance of the lithium-fluoro compounds, but the effects of the amount used were not relatively large. After manufacturing the antistatic PET film, the properties of the antistatic film showed low surface resistance values (<109 Ω/sq.), high permeability (>92%), low haze (<0.5%), and high whiteness (L>95). In addition, the antistatic film reliability was found to be excellent by showing a stable surface-resistance change rate of less than 10%, even under high temperature and high humidity conditions.

A Study on Development of Miniature Size Surface Charge Electrostatic Induction Motor (소형표면전하유도형 정전모터의 개발을 위한 연구)

  • 이동훈
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • v.19 no.2
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    • pp.81-91
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    • 1995
  • A miniature size electrostatic induction motor has been fabricated and studied with emphasis on the role of the surface resistivity, the relative dielectric constant of the rotor surface materials and the rotor liner materials, which control the charge induction and relaxation on the rotor surface and the field intensity between the rotor and the stator. It is found that the higher resitivity and/or the higher relative dielectric constant, concurrently the longer relaxation time constant of the rotor surface materials make the motor speed get higher speed. In case of discrete coated rotor surface it is found that the motor speed was increased logarithmically as narrow as width of the discrete coated Ti. And the degree of width of discrete coated Ti to the axial direction of the rotor was $60^{\circ}$ and $150^{\circ}$, the motor has got a 125% higher than that at the degree of $0^{\circ}$.

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Effect of Zn Concentration on Amorphous ITZO Films Deposited on Polymer Substrate Using Magnetron Co-sputtering (마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 polymer 기판위에 증착한 비정질 ITZO 박막의 Zn 함량 효과)

  • Gwon, Se-Hui;Gang, Yong-Min;Lee, Geon-Hwan;Song, Pung-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.134-134
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    • 2009
  • ITZO 박막은 2개의 캐소드 (DC, RF)를 이용하여 마그네트론 2원 동시 방전법에 의해 고온에서 안정한 polyimide 기판위에 상온에서 증착하고 $200^{\circ}C$에서 어닐링 하였다. XRD 측정 결과 어닐링 과정을 거친 막들은 Zn의 도입에 따란 결정성이 감소하다가 RF파워 280W에서 증착한 박막은 완전한 비정질 구조를 보였다. AFM 측정과 밴딩 테스트 결과, ITO 및 ITZO 박막들은 결정성이 감소할수록 매끄러운 표면과 낮은 저항 변화율을 보여주었다. 전기 비정항은 Zn 함량이 증가함에 따라 증가하였지만, 광학적 투과율은 $200^{\circ}C$ 어닐링 과정을 거친후의 막들에 있어서 증가됨을 보였다.

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