Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
- /
- Pages.23-24
- /
- 2008
The non-uniformity study of AZO thin films by pulse magnetron sputtering for large area
대면적 펄스 마그네트론 스퍼터링에 의한 AZO 박막의 균일도 문제
- Published : 2008.11.19
Abstract
Bipolar pulsed dc magnetron sputtering을 이용하여 태양전지의 투명 전도막용으로 유리기판 위에 Al doped ZnO (AZO) 박막을 증착하였다.
Keywords