• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.206-206
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• 2004

평판디스플레이의 사이즈 및 그 응용범위가 확대되어 감에 따라, 기존의 근접식 노광장비로는 원하는 성능의 디스플레이소자를 생산하는데 한계에 도달하게 되었다. 최근에는 반도체웨이퍼 생산에 적용되는 투영식분할노광방식 또는 스캔방식의 노광장비가 평판디스플레이소자의 생산에 적용되는 추새인데, 이러한 방식의 노광장비의 핵심기능을 수행하는 모듈 증 마스크스테이지가 있다. 투영식노광 장비의 노광광원(조명광학계)에서 발생된 노광광은 마스크를 통과함으로써 특정패턴을 형성할 수 있는 형태로 변화되고, 투영광학계를 거쳐 피노광재에 조사 된다.(중략)

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.24 no.4
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• pp.466-473
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• 2013

In this paper, a compact planar multi-loop self-resonant coil of high quality factor with a coaxial cross section is proposed for effective wireless charging. The proposed coil has high Q-factor and a resonant frequency of a coil can be easily controlled by adjusting distributed capacitance. For designing the coil, a self-inductance and a distributed capacitance are calculated theoretically. The self-inductance is calculated from the sum of the mutual energies between small circular loops that are made by dividing the cross section of the coil. To verify its properties and calculation results, the self-resonant coils are fabricated by using a coaxial cable with characteristic impedance of $50{\Omega}$. The measured frequencies are very consistent with the calculated ones. In addition, the resonant frequency can be adjusted slightly by the tuning parameter ${\gamma}$. The resonant coils are applied to a tablet PC, the Q-factors of the Tx and Rx resonant coils are 282 and 135, respectively. As a result of measurement when height between the two resonant coils is 4.4 cm, the power transfer efficiency is more than 80 % within a radius of 5 cm.

• Journal of Advanced Navigation Technology
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• v.21 no.6
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• pp.614-619
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• 2017

In this paper, we optimize the wireless power transmission (WPT) coil, and then compare the EM simulation and measurement using magnetic coupling at 6.78 MHz. As transmission efficiency is affected by various factors such as the shape of the system, the size of the coils, the coil structure is proposed to consist of a helical resonant for transmission and a spiral resonant for reception. The size of the coil and the distance between the coils are determined to minimize the volume problem, and the shape of the coil are confirmed by EM simulation. A WPT system is designed with 860mm diameter top plate and cylindrical structure of column spaced 600mm apart, and the characteristics are simulated and measured. The simulation shows that ${\mid}S_{21}{\mid}$ is -0.53 dB with the efficiency of 88%, and the measurement result is that ${\mid}S_{21}{\mid}$ is -0.71 dB with the efficiency of 85%.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.24 no.4
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• pp.315-324
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• 2004

In eddy current testing(ECT), differential probes have been frequently used since they .an reduce the number of parameters that influence ECT signals. However, differential signal is actually the difference of the two coils' impedance so that signal prediction and interpretation are not easy, On the other hand, absolute coil signal is rather straightforward to predict and analyze. Therefore, combined use of the two types of signals would increase the test reliability. In this paper, absolute coil signals from Inconel plate and tubes are predicted by the finite element analysis and efforts of lift-off, fill-factor, conductivity, operating frequency, test specimen thickness, inner diameter defects, and outer diameter defects are investigated. As a result, various impedance plane diagrams are drawn and analyzed. Significant practical knowldege about absolute signals is accumulated and similar characteristics of the two types of signal could be understood. Finally, slope angle versus defect depth calibration corves are prepared for three different frequencies.

• Journal of Advanced Navigation Technology
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• v.22 no.2
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• pp.148-153
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• 2018

This paper proposes a single-input multiple-output (SIMO) self-resonant wireless power transmission system for transmitting power to multiple receivers and the characteristics are simulated and measured. A 600 mm diameter transmission single loop, a 600 mm diameter helical transmission resonant coil, an external diameter 900 mm planar spiral reception resonant coil, and an $80{\times}60mm^2$ flat plate square coil as a receiver are used to form a wireless power transmission system 600 mm away with the table structure. For optimal characteristics, the wireless power transmission coils are designed by EM simulation and equivalent circuit analysis, and the characteristics are simulated and measured. The variation of the efficiency with distance from the center of the spiral resonant coil is analyzed and the measured efficiency is 57% for one receiver and for the two receivers, the efficiency is 37% for each receiver.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.12 no.6
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• pp.53-61
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• 1993

이 논문은 접은 도체박판의 단순한 구조가 전자유도형 변환기 역할을 한다는 것을 기술하고 있다. Endoh 등은 볼록한 나선코일과 동박판으로 구성된 볼록한 방사면 모양을 한 전자유도형 변환기가 시간적으로 짧은 충격파를 발생할 수 있기 때문에 뚜렷한 초음파 영상을 얻을 목적으로 Eisenmenger에 이어 전자유도형 EMAT를 보고한 바 있다. 여기서는 코일이 없는 EMAT를 소개한다. 이것은 두께 0.05mm, 폭 5cm 길이 임의의 동박판으로 구성되며 동박판은 절연도료를 칠한 종이로 절연되고 접어서 견고하게 밀착시키며, 여러번 접는 경우는 손부채처럼 접는 방향은 교대로 반대방향으로 접는다. 그리고는 엷은 고무판을 표면에 밀착시키고 연변을 실리콘 충전제등으로 고정시키거나, polyester molding을 하여 표면을 concave형으로 하여 완성하였다. 완성된 EMAT들은 수조에서 축전기방전방식으로 실험을 하였으나 EMAT에서 발생되는 으파의 진폭은 접는 회수에 비례하였으녀, 단접형 EMAT보다 다접형 EMAT의 발생음파가 보다 강력하였다. Concave형 EMAT의 음속은 예견한 바와 같이 잘 집속되었다. 그러나 평판형의 경우는 지향성은 100도로서 넓은 지향각을 나타내었다. 2μF, 600Volt의 축전기 방전에 의한 집속형 concave EMAT를 여기시키기 위한 축전기의 용량이 작을수록 대역폭은 더욱 넓었다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.4 no.2
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• pp.210-216
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• 1995

최근에 연구되고 있는 저온, 저압 플라즈마를 이용한 식각기술 중 차세대 반도체 metallization 공정에 응용될 수 있는 가장 적합한 기술이라 사료되는 유도 결합형 플라즈마(Inductively Coupled Plasma : ICP)를 이용한 RF 스퍼터 식각 반응로를 제작하고 이에 대한 특성을 조사하였다. 유도용 주파수로서 13.56 MHz를 사용하였으며 유도결합을 일으키기 위해 3.5회의 나선형 평판형 코일을 사용함으로써 비교적 대면적에 균일한 고밀도 플라즈마를 얻을 수 있었다. 또한 기판에 독립적인 13.56MHz RF power를 가해 DC 바이어스를 인가함으로써 기판으로 입사하는 하전입자들의 에너지를 조절하여 기판에의 손상을 최소화하며 SiO2의 스퍼터 식각 속도를 극대화할 수 있었다. 따라서 이러한 특성을 갖는 유도 결합형 플라즈마 식각장치를 차세대 반도체의 RF스퍼터 식각 공정에 응용할 수 있으리라 사료된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.04a
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• pp.9-11
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• 2005

영구자석형 선형발전기의 설계에 있어서 주로 고려되어야 할 사항은 영구자석, 철심형 치 및 코일의 형상 설계이다. 또한 영구자석과 철심형 치의 상호 작용에 의한 디텐트력은 기기의 안정적인 성능을 위해 저감되어야 한다. 본 논문에서는 1kW급 왕복 구동 평판형 선형 발전기의 영구자석과 치의 구조에 따른 디텐트력과 역기전력의 변화를 유한요소법을 이용하여 해석하였고, 디텐트력의 저감을 위해 다양한 구조의 영구자석과 치 형상이 적용되었다. 기기 구조의 변화는 역기전력에도 영향을 끼치므로 적용된 설계안 중 역기전력의 손실을 최소화할 수 있도록 설계안의 적절한 선택이 필요하다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2012.07a
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• pp.138-139
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• 2012

본 논문에서는 고주파 공진형 인버터 접속의 가열 코일로부터 비접촉 상태로 전자유도 와전류를 구조물에 가하여 발열하는 공진형 인버터를 이용한 유도가열 방식의 최적설계를 제안하였다. 설계한 시스템 인버터는 스위칭주파수 20[kHz] 대역에서 동작하는 하프-브리지 고주파 직렬 부하 공진형이며 LC공진 설계 시 부하 자체를 L로 설정하여 효율을 최대화 하였다. 또한 유도가열용 인버터에 적용 가능한 스너버회로의 특성분석을 통해 본 시스템의 최적화에 관한 연구를 하였다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.14 no.6
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• pp.232-235
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• 2004

Linear GMR isolator which is profitable for transmitting analog signal was modeled and the output voltage and current in relation to the input current were investigated. GMR isolator modeling was divided into two parts, namely magnetic and electric parts. The flow chart of the modeling was drawn in which the MR curve of the spin valves were incorporated to obtain the electrical voltage output. For magnetic modeling, 3-dimensional model of planar coil was analyzed by FEM method to obtain the magnetic field strength corresponding to the input current. Coil efficiency of the planar coil having magnetic core layer was shown to have about 1.5 times larger than that of the coil without the magnetic core layer. The feedback coil current(output current) corresponding to the input coil current was calculated to be within ${\pm}$0.25 mA of the linear fitting function of I$\_$out/= I$\_$in/-5 mA. Also, the response time and output waveforms were obtained when the coil current was a rectangular waveform. The rise time and fall time was 6 ${\mu}\textrm{s}$, respectively when the slew rate of the op-amp was 0.3 V/${\mu}\textrm{s}$.