• Title/Summary/Keyword: 펄스 조절기

Search Result 71, Processing Time 0.028 seconds

Fabrication of ZrO2 Nano Tube by Atomic Layer Deposition with Exposure Time Control System (전구체 노출 시간을 조절하는 원자층 증착기술에 의한 ZrO2 나노 튜브 제조)

  • Shin, Woong-Chul;Ryu, Sang-Ouk;Seong, Nak-Jin;Yoon, Soon-Gil
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
    • /
    • 2007.11a
    • /
    • pp.39-39
    • /
    • 2007
  • 원자층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD) 방법은 반응물질들을 펄스형태로 챔버에 공급하여 기판표면에 반응물질의 표면 포화반응에 의한 화학적 흡착과 탈착을 이용한 박막증착기술이다. ALD법은 기존의 화학적 기상증착(Chemical Vapor Deposition: CVD)과 달리 자기 제한적 반응(self-limiting reaction) 에 의하여 반응가스가 기판 표면에서만 반응하고 가스와 가스 간에는 반응하지 않는다. 따라서 박막의 조성 정밀제어가 쉽고, 파티클 발생이 없으며, 대면적의 박막 증착시 균일성이 우수하고, 박막 두께의 정밀 조절이 용이한 장점이 있다. 이러한 ALD 방식으로 3차원의 반도체 장치 구조물에 산화막 등을 형성하는 공정에서 중요한 요소 중의 하나는 전구체의 충분한 공급이다. 따라서 증기압이 높은 전구체를 선호하는 경향이 있다. 그러나 증기압이 낮은 전구체를 사용할 경우, 공급량이 부족하여 단차 도포성(step coverage)이 떨어지는 문제가 있다. 원자층 증착 공정에서 전구체를 충분히 공급하기 위해전구체 온도를 증가시키거나 전구체의 공급시간을 늘리는 방법을 사용한다. 그러나 전구체 온도를 상승시키는 경우, 전구체의 변질이나 수명을 단축시키는 문제점을 발생시킬 수 있으며. 전구체를 충분히 공급하기 위하여 전구체의 공급시간을 늘이는 방법을 사용하면, 원하는 박막을 형성하기 위하여 소요되는 공정시간과 전구체 사용량이 증가된다. 본 논문에서는 이러한 문제점을 해결하기 위해 반응기 안에서 전구체 노출 시간을 조절하는 새로운 ALD 공정을 소개한다. 특히 이러한 기술을 적용하면 나노튜브를 성장시키는데 매우 유리하다. 본 연구에서 전구체 노출 시간을 조절하기 위하여 사용된 ALD 장비는 Lucida-D200-PL (NCD Technology사)이며 (TEMA)Zr와 H2O를 사용하여 ZrO2 나노튜브를 폴리카보네이트 위에 성장시켰다. 전구체의 노출 시간은 반응기의 Stop 밸브를 이용하여 조절하였으며, SEM, TEM 등을 이용하여 나노튜브의 균일성과 단차피복성 등의 특성을 관찰하였다. 그 결과 전구체 노출시간을 조절함으로써 높은 종횡비를 갖는 나노튜브를 성장 시킬 수 있음을 확인하였다. 또한 낮은 증기압을 가지는 전구체를 이용하여도 우수한 특성의 나노튜브를 균일하게 성장시킬 수 있었다.

  • PDF

Pulsed-Delayed Extraction for Resolution Enhancement of Linear Time-of-Flight Mass Spectromenter in Surface-Assisted Laser Desorption/Ionization of Polypropyleneglycol (폴리프로필렌 글리콜의 표면-보조 레이저 탈착/이온화에서 선형 비행시간 질량분석기의 분해능 개선을 위한 시간 지연 추출법의 응용)

  • Kim, Jung Hwan;Kang, Wee Kyung
    • Journal of the Korean Chemical Society
    • /
    • v.44 no.4
    • /
    • pp.328-336
    • /
    • 2000
  • The pulsed-delayed extraction (PDE) in linear time-of-flight mass spectrometer(TOF MS) is characterized on the enhancement of resolution, mass-depth of focus and effect of instrumentahan 2000. The ion signals separate isotopically by up to molecular weight of 2500 in instrumental broadening of 5 ns, which is a good agreement with calculation. The fragmentation paths of PPG can be sug-gested by the isotopica distributions of fragment series produced when PPG desorbed from graphite surface.

  • PDF

A Design of PFM/PWM Dual Mode Feedback Based LLC Resonant Converter Controller IC for LED BLU (PFM/PWM 듀얼 모드 피드백 기반 LED BLU 구동용 LLC 공진 변환 제어 IC 설계)

  • Yoo, Chang-Jae;Kim, Hong-Jin;Park, Young-Jun;Lee, Kang-Yoon
    • Journal of IKEEE
    • /
    • v.17 no.3
    • /
    • pp.267-274
    • /
    • 2013
  • This paper presents a design of LLC resonant converter IC for LED backlight unit based on PFM/PWM dual-mode feedback. Dual output LLC resonant architecture with a single inductor is proposed, where the master output is controlled by the PFM and slave output is controlled by the PWM. To regulate the master output PFM is used as feedback to control the frequency of the power switch. On the other hand, PWM feedback is used to control the pulse width of the power switch and to regulate the slave output. This chip is fabricated in 0.35um 2P3M BC(Bipolar-CMOS-DMOS) Process and the die area is $2.3mm{\times}2.2mm$. Current consumptions is 26mA from 5V supply.

Growth characteristic of lettuce (Lactuca sativa L.) based on Pulse Width modulation of artificial light sources with UV-A. (UV광원을 포함한 인공광원의 펄스폭 변조에 따른 적치마 상추의 생육특성)

  • Kwak, Su-Ji;Kwak, Eun-Ji;Lee, Hyun-Hee;Lee, Seung-Ki;Han, Jae-Woong;Jeon, Myung-Jin;Kim, Woong
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
    • /
    • 2017.04a
    • /
    • pp.123-123
    • /
    • 2017
  • 식물공장 내 작물의 생육은 제공되는 인공광원의 광원 및 광질에 영향을 받으며, 광흡수 파장에 따라 다르다. 또한 광합성에 효과적인 형태의 빛의 계속적인 빛의 조사보다는 광 펄스를 조절하여 공급하여 준다면 더욱더 효과적인 생육 환경을 제공해 줄 수 있다. 식물의 최적 생장을 위해 특정 파장대의 빛을 선택적으로 조사할 수 있는 LED특성을 사용하여 UV광원을 포함한 인공광원의 펄스폭 변조에 따른 적치마 상추의 생육특성을 알아보고자 하였다. 광환경은 Red(660 nm), Blue(450 nm), UV(395 nm) LED를 8:1:1 비율로 광량 $160{\mu}mol{\cdot}m^2{\cdot}s^{-1}$, 주파수 1.25, 2.5, 3.75, 5.0 kHz로 조사하여 주었으며, 온도 $20{\sim}23^{\circ}C$, 습도 50~60%, $CO_2$농도 1,000 ppm으로 조성하여 주었다. 아시아종묘 적치마상추를 파종 후 18일 째 되는날 정식, 정식 후 14일 28일 째 되는날 SPAD, 지상부 지하부의 생체중 및 건물중, 엽폭, 엽장을 측정하였으며, 측정한 엽폭과 엽장을 이용하여 엽형지수 산출, 지상부 지하부 생체중 값을 이용하여 S/R율을 산출하였다. SPAD 측정결과 생육시기가 증가할수록 SPAD함량은 감소하였으며, 1.25와 2.5 kHz에서 생육 시기 증가에 대한 SPAD함량 감소가 컸고, 3.75와 5.0 kHz의 경우 SPAD함량의 감소량은 작았다. 지상부 생체중은 3.75 kHz에서 121.51 g으로 가장 높은 값을 나타냈으며, 2.5, 1.75, 5.0 kHz 순으로 높은 값을 나타났다. 지하부 생체중의 경우 3.75 kHz에서 31.31 g으로 가장 높은 값을 나타냈으며 2.5, 5.0, 1.25 kHz 순으로 높게 나타났다. 엽형지수는 생육 시기가 증가에 따라 감소하는 것으로 나타났으며, 1.75, 2.5, 5.0, 3.75 kHz 순으로 크게 나타났다. 지상부 건물중 측정결과는 지상부 생체중 결과와, 지하부 건물중의 측정결과는 지하부 생체중 결과와 동일하였다. S/R율은 1.75 kHz를 제외하고 생육시기가 증가할수록 S/R율은 감소하는 것으로 나타났으며, 주파수가 높아질수록 S/R율은 감소하는 것으로 나타났다. 엽형지수는 엽폭/엽장으로 엽형지수를 산출한 결과로 값이 작을수록 엽폭이 넓은 형태를 의미하며, 생체중값이 가장 크게 나타났던 3.75 kHz에서 엽형지수의 값이 가장 낮게 나타났으며 3.75 kHz를 제외하고 주파수가 높을수록 엽형지수의 값이 낮게 나타났다. 이에 주파수에 따른 적상추의 생육은 3.75 kHz에서 가장 좋은 것으로 판단할 수 있었다.

  • PDF

Channel Changes and Effect of Flow Pulses on Hydraulic Geometry Downstream of the Hapcheon Dam (합천댐 하류에서의 하천지형 변화 및 흐름의 파동이 하천 수리지형에 미치는 영향 연구)

  • Shin, Young-Ho;Julien, Pierre Y.;Choi, Hong-Gyu;Na, Sang-Jin
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
    • /
    • 2008.05a
    • /
    • pp.897-908
    • /
    • 2008
  • 황강에는 1989년 합천다목적댐과 본댐 하류 6.5km 지점에 조정지댐이 건설되었는데 조정지댐의 건설 목적은 본댐에서 피크 발전에 의해 방류되는 유량을 하류로 조절방류하기 위한것이다. 황강은 두댐의 건설후 하천폭, 하상재료, 식생 및 하천구간내 사주의 형성 등 많은 하천 지형학적 변화가 있었다. 이러한 변화는 댐 건설후 흐름 및 유사이송의 변화에 기인한다. 2002년 합천댐 저수지 퇴사량 조사에 의하면 합천댐은 연간 약 600천$m^3$의 유사를 차단한 것으로 파악되었다. 조정지댐은 연최대피크 방류량을 654.7$m^3/s$에서 126.3$m^3/s$로 감소시켰는데 이는 댐건설전의 19.3%에 해당하는 양이다. 댐건설로 인한 하류 하천의 지형적인 변화를 파악하기 위하여 합천조정지댐 하류로부터 낙동강 합류점까지 45 km에 대하여 조사하였다. 1982, 1993 및 2004년의 항공사진을 분석한 결과 비식생하도폭(non-vegetated active channel width)은 평균 152m 감소되었는데 이는 1982년의 약 53%에 해당한다. 비식생하도의 면적 역시 평균 6.6$km^2$가 감소하였다. 평균 중앙하상재료(D50)의 크기는 1983년 1.07mm에서 2003년 5.72mm로 증가한 반면 평균 하상구배는 1983년 0.000943에서 2003년 0.000847로 감소하였다. 총 하상 세굴깊이는 조정지댐 하류 20km 구간에서 평균 약 2.6m였다. 1차원 유사모형인 GSTAR-1D를 이용하여 예측된 최심하상고는 2013-2015년 사이 (댐건설후 약 25년 후)에 안정된 상태에 도달하는 것으로 나타났다. 합천 조정지댐이 본 댐에서의 피크 방류량을 상당히 감소시키고 있지만 홍수기에 조정지댐 수문의 급격하고 주기적인 개폐로 인하여 하류에 흐름의 펄스를 발생시키고 있다. 이러한 펄스가 하류 하천 지형변화에 미치는 영향을 파악하기 위하여 유사모형과 해석적인 방법을 개발 적용하여 구한 값과 비교 검토 하였다. 결과에 따르면, 일 흐름의 펄스(daily pulse)와 홍수피크(flood peak)는 각각의 평균값이 흐를 때와 비교하여 하천지형변화에 훨씬 큰 영향을 미치는 것으로 나타났다. 일 흐름 펄스와 홍수피크는 각각의 평균값의 21%와 15%의 토사 이송량 (tons/day) 증가를 보여주었다.

  • PDF

Development and Performance Compensation of the Extremely Stable Transceiver System for High Resolution Wideband Active Phased Array Synthetic Aperture Radar (고해상도 능동 위상 배열 영상 레이더를 위한 고안정 송수신 시스템 개발 및 성능 보정 연구)

  • Sung, Jin-Bong;Kim, Se-Young;Lee, Jong-Hwan;Jeon, Byeong-Tae
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
    • /
    • v.21 no.6
    • /
    • pp.573-582
    • /
    • 2010
  • In this paper, X-band transceiver for high resolution wideband SAR systems is designed and fabricated. Also as a technique for enhancing the performance, error compensation algorithm is presented. The transceiver for SAR system is composed of transmitter, receiver, switch matrix and frequency generator. The receiver especially has 2 channel mono-pulse structure for ground moving target indication. The transceiver is able to provide the deramping signal for high resolution mode and select the receive bandwidth for receiving according to the operation mode. The transceiver had over 300 MHz bandwidth in X-band and 13.3 dBm output power which is appropriate to drive the T/R module. The receiver gain and noise figure was 39 dB and 3.96 dB respectively. The receive dynamic range was 30 dB and amplitude imbalance and phase imbalance of I/Q channel was ${\pm}$0.38 dBm and ${\pm}$3.47 degree respectively. The transceiver meets the required electrical performances through the individual tests. This paper shows the pulse error term depending on SAR performance was analyzed and range IRF was enhanced by applying the compensation technique.

Study on the Fabrication Step-edges on $\textrm{SrTiO}_3$ Substrates and the Characterization of $\textrm{YBa}_{2}\textrm{Cu}_{3}\textrm{O}_{7-\delta}$ Step-edge Junctions ($\textrm{SrTiO}_3$ 기판 위에 계단형 모서리 제작 및 $\textrm{YBa}_{2}\textrm{Cu}_{3}\textrm{O}_{7-\delta}$계단형 모서리 접합의 특성 연구)

  • Nam, Byeong-Chang;Kim, In-Seon;Lee, Sun-Geol;Park, Jong-Cheol;Park, Yong-Gi
    • Korean Journal of Materials Research
    • /
    • v.8 no.10
    • /
    • pp.950-955
    • /
    • 1998
  • Ar 이온 식각법을 이용하여 (001) SrTiO3(STO) 단결정 기판 위에 200nm 높이의 계단형 모서리를 제작하였다. 계단식은 입사하는 Ar 이온 빔에 대한 Ar 이온 입사각과 마스크 회전각을 조절함으로써 38$^{\circ}$-70$^{\circ}$의 넓은 범위로 제어할 수 있었다. 초전도 YBa2Cu3O7-$\delta$박막은 계단이 있는 STO 기판 위에 펄스레이저 증착법을 이용하여 증착하였으며, 박막의 두께는 계단 높이에 대한 박막의 두께비가 0.5-1.2가 되도록 하였다. 계단형 모서리 조셉슨 접합의 임계전류밀도와 IcRn값은 77K에서 각각 104A/$\textrm{cm}^2$, 70-200$\mu$V이었다.

  • PDF

Surface Modification by Laser Deposition and Femtosecond Laser for Biomedical Applications (레이저증착과 펨토레이저를 이용한 생체의료분야의 표면처리응용)

  • Choe, Han-Cheol
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2015.05a
    • /
    • pp.24-24
    • /
    • 2015
  • 최근 생체재료의 개발이 눈부시게 발전되고 생체적합성이 우수한 표면을 요구함에 따라 생체재료의 표면처리에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. Laser Deposition법은 항공기 부품제조 분야에 주로 사용되고 있으며 최근에 오하이오 주립대 타이타늄합금연구센터를 중심으로 표면처리에 관한 연구가 주로 이루어졌다. 특히 이를 이용하여 치과재료의 표면처리에 응용을 시도하였다. 치과에서 응용될 수 있는 경우는 주로 임플란트는 부분 또는 완전 무치악 환자의 보철수복에 사용되는 보철물의 제작등에 사용될 수 있으며 이중에서도 특히 생체용 임플란트의 표면처리응용으로 임플란트와 조직간의 접합성을 개선하는 표면처리법으로 연구되었다. 임플란트의 성공과 실패는 물성적인 측면에서 임플란트의 형태, 표면거칠기 및 표면처리방법, 초기하중 등에 의하여 좌우되며 임플란트 재료에 작용하는 응력차폐는 생체적합성을 좌우하는 큰 요인이 되고 있다. 이를 위하여 저 탄성계수합금을 설계하지만 하중을 버티는 강도가 낮아지는 단점이 있어 레이저증착법을 이용하여 임플란트재료인 Ti6Al4V합금에 탄성계수가 낮은 Ta, Nb등을 코팅하는 방법을 통하여 이를 해결하고자하는 시도가 이루어지고 있다. 이 방법은 최근의 3D 프린팅의 원리가 되고 있다. 따라서 발표에서는 Laser Deposition방법을 이용하여 치의학분야에서 응용되고 있는 예를 강연하고 응용 가능 분야에 대하여 토론 하고자한다. 또한 펨토레이저를 이용하여 생체합금의 표면처리는 생체활성화를 더욱 증진시키며 이를 위하여 많은 연구 수행되고 있다. 본 발표에서는 매식용 합금 표면에 펨토레이저를 이용하여 텍스춰링하여 세포가 잘 성장 할 수 있는 크기의 조절함으로써 기존의 표면처리와는 다른 효과를 얻을 수 있는 장점을 알아본다. 펨토레이저를 이용하면 여러 가지 형태의 텍스춰링이 가능하며 원형, 사각형등등 자유자제로 형태의 묘사가 가능하고 깊이 또한 쉽게 조절할 수 있는 장점이 있다. 지금까지는 표면 개질에 사용되는 레이저는 주로 Nd:YAG 레이저의 파장을 반으로 줄인 녹색레이저 (${\lambda}=532nm$)를 사용하거나, 자외선파장영역의 레이저를 사용하는 경우가 일반적으로 가장 보편화되었다. 이를 이용하여 제조된 Ti합금에 펨토 초(10-15 second) 펄스폭 대역을 갖는 레이저를 이용하여 나노크기의 미세 요철을 표면에 형성한 후, 나노튜브를 형성하여 그 표면특성의 변화를 알아보고 펨토레이저가 의료분야에 적용되고 있는 예를 살펴보고자 한다.

  • PDF

High-Yield Gas-Phase Laser Photolysis Synthesis of Germanium Nanocrystals for High-Performance Lithium Ion Batteries (고성능 리튬이온 전지를 위한 저마늄 나노입자의 가스상 레이저 광분해 대량 합성법 개발)

  • Kim, Cang-Hyun;Im, Hyung-Soon;Cho, Yong-Jae;Chung, Chan-Su;Jang, Dong-Myung;Myung, Yoon;Kim, Han-Sung;Back, Seung-Hyuk;Im, Young-Rok;Park, Jeung-Hee;Song, Min-Seob;Cho, Won-Il;Cha, Eun-Hee
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
    • /
    • v.15 no.3
    • /
    • pp.181-189
    • /
    • 2012
  • We developed a new high-yield synthesis method of free-standing germanium nanocrystals (Ge NCs) by means of the gas-phase photolysis of tetramethyl germanium in a closed reactor using an Nd-YAG pulsed laser. Size control (5-100 nm) can be simply achieved using a quenching gas. The $Ge_{1-x}Si_x$ NCs were synthesized by the photolysis of a tetramethyl silicon gas mixture and their composition was controlled by the partial pressure of precursors. The as-grown NCs are sheathed with thin (1-2 nm) carbon layers, and well dispersed to form a stable colloidal solution. Both Ge NC and Ge-RGO hybrids exhibit excellent cycling performance and high capacity of the lithium ion battery (800 and 1100 mAh/g after 50 cycles, respectively) as promising anode materials for the development of high-performance lithium batteries. This novel synthesis method of Ge NCs is expected to contribute to expand their applications in high-performance energy conversion systems.

A Study on PWM Speed Controller for Long line Fishing Motor (어로 작업용 연승기 전동기의 PWM 속도제어기에 관한 연구)

  • Vuong, Duc-Phuc;Bae, Cherl-O;Ahn, Byong-Won
    • Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
    • /
    • v.21 no.1
    • /
    • pp.97-102
    • /
    • 2015
  • The long line fishing machine is combined with motor and two disc rollers has used on the small size fishing-boat under 1 ton located in near Jeollanam-do seaside. The long line fishing motor is controlled only one direction because the fishing line is loaded heavily at pulling up. On this paper we made the long line fishing 400W power motor controller which it was usually applied under 1 ton fishing boat, and designed the controller using PWM chip, Half bridge driver and MOSFET for one direction motor control. Furthermore some user convenience devices were added like battery indicator and safety protection circuit for battery overdischarge and battery source wire mismatch connection. So we protected the battery from overdicharging when the battery voltage was below 11.5V and fishermen didn't need to worry about source lines misconnection anymore. We confirmed the test version of controller was the good working condition at land and sea.