• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.1887-1889
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• 2002

One of the most frequent sources of the accident is metal contaminant in GIS. This paper deals with the characteristics of breakdown voltage of metallic particles using electrodes of various epoxy coating thickness. As experimental results, breakdown voltage of the thickly coated electrode is higher than that of thinly coated electrode. It is considered that resistance of the epoxy coating impedes the development of pre-discharges in the gas.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.11d
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• pp.1084-1086
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• 1999

The breakdown was caused by particle in GIS and various methode was suggested to find particle in GIS. In this paper, four states of particle was imitated which are particle on electrode, particle on enclosure, particle on spacer and crossing particle. The discharge voltage of each states was classified by four voltages which are initial, development, later and close discharge voltage. $\Phi$-Q-N pattern was analyzed according to the states and to the discharge voltages. In the result, the electrical discharge pattern according to the particle states may be distinguished.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.154-154
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• 2004

초기 직경이 500$\mu\textrm{m}$인 텅스텐 봉을 전해에칭을 통하여 끝단 직경이 수 $\mu\textrm{m}$인 텅스텐 팁으로 가공하였다. 그리고, 적절한 전처리 과정을 거친 다증벽 탄소나노튜브를 제작된 텅스텐 팁 끝에 적절한 매니퓰레이션을 통하여 부착하였다. 이렇게 제작된 나노 팁(텅스텐 팁과 탄소나노튜브로 구성)은 매우 긴 탄소나노튜브의 길이 때문에 나노 팁으로 사용하기에 부적절한 경우가 많다. 즉, 나노 그리퍼로서 사용하기에는 적합하지 않은 경우가 있다. 이러한 점을 극복하기 위하여 전해에칭을 이용하여 나노 팁의 길이를 나노 그리퍼로 사용하기에 적합하도록 조절하였다.(중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.119-119
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• 2012

경질 Anodizing에 비해 플라즈마 전해산화(Plasma Electrolytic Oxidation, PEO)에 의해 생성된 알루미늄 피막의 내식성이 우수하다고 알려져 있다. PEO는 기존의 Anodizing 피막에 비해 내구성이 우수한 피막이기 때문에 일부 산업 분야에서 기존의 피막보다 PEO 피막을 선호하고 있다. 플라즈마 전해산화는 400V 이상 고전압하에서 Anode에 생성되는 스파크에 의한 산화반응을 이용하여 금속 표면에 산화 피막을 생성하는 공정이다. 전처리 과정을 거칠 필요가 없기 때문에 친환경적이며, 공정 과정도 복잡하지 않다. PEO의 여러 가지 특성(내전압, 플라즈마 부식성, 화학 부식성, 실시간 파티클)을 한국표준과학연구원이 보유한 장비들을 사용하여 분석하여, 기존의 Anodizing 피막과 비교 평가하였다. 이 실험 결과를 바탕으로 기존의 피막보다 우수한 특성을 가진 PEO 피막을 개발 진행 중에 있다.

• The Journal of Korea Robotics Society
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• v.5 no.3
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• pp.262-269
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• 2010

This paper presents a probabilistic head tracking method, mainly applicable to face recognition and human robot interaction, which can robustly track human head against various variations such as pose/scale change, illumination change, and background clutters. Compared to conventional particle filter based approaches, the proposed method can effectively track a human head by regularizing the sample space and sequentially weighting multiple visual cues, in the prediction and observation stages, respectively. Experimental results show the robustness of the proposed method, and it is worthy to be mentioned that some proposed probabilistic framework could be easily applied to other object tracking problems.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.07e
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• pp.2383-2385
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• 1999

This paper describes the effect of particles on insulation characteristics of $SF_6-N_2$ mixtures such as breakdown voltages, lift-off voltages and maximum discharge. As a result, the breakdown voltage was increased with the increment of $SF_6$ and the mixture containing 20[%] of $SF_6$ has a breakdown voltage ratio factor better than the other mixtures. The lift-off voltage was nearly constant with all mixtures. Discharge was decreased with the increment of $SF_6$.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1997.07e
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• pp.1850-1852
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• 1997

In this paper, the behavior and effect of conducting particles in a $SF_6$ insulated electrode system, are presented. It is shown that the bouncing voltage of the particle is independent of particle length, and that the breakdown voltages are affected by the particle length. The longer the particle, the lower the breakdown voltages. The bouncing-off, the lift off and breakdown voltages increase as the particle diameter increase. The breakdown voltage of free particle is lower than fixed particle on the enclosure.

• Journal of the Korean Wood Science and Technology
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• v.37 no.3
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• pp.216-221
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• 2009

This study was investigated the properties of boards prepared from woody of Broussonetia Kazinoki differed in density of board and mixed quantity of powdered phenolic resin. Water absorption decreased as the density of boards and resin content increased, but bending strength and brinell hardness increased as the density of board and the quantity of resin added increased. Thickness swelling increased as the density of boards went up, and that, in contrary, decreased as the quantity of resin added to the boards.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.118-122
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• 2004

본 연구에서는 반도체 세정 챔버 내부에서 회전 척을 사용하는 기판의 세정 공정에서 세정장치와 건조장치를 분리하지 알고 일체화하는 기술을 연구하는 한편, 초음파 세정기술을 이용하여, 세정에 사용되는 약액을 절감하는 방법도 연구하였다. UWA(Ultrasonic Water and Clean Air) system은 초음파 진동부, 초순수 공급부 그리고 clean air공급부를 모듈화 하였다. UWA system으로 공급된 초순수에 70～130kHz범위의 초음파가 더하여지고 반도체 기판 위에 분사되면 기판 위의 미세 파티클을 세정하는 효과를 갖는다. 세정 후 연속적으로 clean air를 분사하여 기판 위의 수분을 완전히 제거한다. Particle 세정 작업을 실시한 후 표면을 검사하여 정밀세정 능력을 확인하였다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2017.07a
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• pp.501-505
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• 2017

반도체에 대한 수요가 늘어남에 따라 반도체 칩 생산을 위한 웨이퍼 공정 및 평판 디스플레이 제조 공정에서 수백~수십 나노 단위 크기의 트랜지스터, 커패시터 등의 회로소자 제조를 요구하고 있다. 이에 따라 반도체 공정의 미세화가 10nm 이하까지 다다랐고 이로 인해 수율과 신뢰성 측면에서 파티클, 금속입자, 잔류이온 등 진공챔버 내부의 오염원 제거 중요성이 점점 증가하고 있다. 이러한 오염원 제거를 위해서 과거에는 진공 챔버를 개방하여 액상물질로 주기적인 세정을 하였으나 2000년대 초반부터 생산성 향상을 위해 진공 상태에서 건식 세정하는 원격 플라즈마 발생장치(Remote Plasma Generator, RPG)를 개발하여 공정에 적용 해 왔다. 건식 세정을 위해서 화학적 반응성이 높은 고밀도의 라디칼이 필요하고 이를 위해 플라즈마를 이용하여 라디칼을 생성한다. RPG는 안테나 형태의 기존 유도 결합 플라즈마 (Inductively Coupled Plasma, ICP) 방식에 자성코어(Ferrite Core)를 추가함으로써 고밀도 플라즈마 생성이 가능하다. 본 세션에서는 이러한 건식세정과 관련된 플라즈마 기술 소개, 플라즈마 발생장치의 종류 및 효과적인 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 발생장치를 소개하고자 한다.