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실시간 고속 플라즈마 광 모니터링

  • 이준용
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.82.2-82.2
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    • 2013
  • 반도체 및 디스플레이 소자를 생산 하기 위하여 다양하고 많은 공정 기술이 사용 되며 그 중에서 플라즈마를 이용하는 제조공정이 차지 하는 부분은 상당한 부분을 차지 하고 있습니다. 전체 반도체 공정 중 48%가 진공공정이며, 진공공정 중 68% 이상이 플라즈마를 이용하고 있으며, 식각과 증착 장비 뿐만 아니라 세정과 이온증착 에 이르기 까지 다양하며 앞으로도 더욱 범위가 늘어 날 것으로 보입니다. 이러한 플라즈마를 이용한 제조 공정들은 제품의 생산성을 향상 하기 위하여 오염제어 기술을 비롯한 공정관리기술 그리고 고기능 센서기술을 이용한 공정 모니터링 및 제어 기술에 이르기 까지 다양한 기술들을 필요로 합니다. 플라즈마를 이용한 제조 장비는 RF파워모듈, 진공제어모듈, 공정가스제어모듈, 웨이퍼 및 글래스의 반송장치, 그리고 온도제어 모듈과 같이 다양한 장치의 집합체라 할 수 있습니다. 플라즈마의 생성과 이를 제어 하기 위한 기술은 제조장비의 국산화를 위한 부단한 노력의 결실로 많은 부분 기술이 축적되어 왔고 성과를 거두고 있습니다. 그러나 고기능 모니터링 센서 기술 개발은 그 동안 활발 하게 이루어져 오고 있지 않았으며 대부분 외산 기술에 의존해 왔습니다. 세계 반도체 시장은 현재 300 mm 웨이퍼 가공에서, 추후 450 mm 시장으로 패러다임이 변화될 예정이며, 미세화 공정이 더욱 진행 됨에 따라 반도체 제조사들의 관심사가 "성능 중심의 반도체 제조기술"로부터 "오류 최소를 통한 생산성 향상"에 더욱 주목 하고 있습니다. 공정미세화 및 웨이퍼 대구경화로 인해 실시간 복합 센서를 이용한 데이터 처리 알고리즘 및 자동화 소프트웨어의 기능이 탑재된 장비를 요구하고 있습니다. 주식회사 레인보우 코퍼레이션은 플라즈마 Chemistry상태를 정성 분석 가능한 OES (Optical Emission Spectroscopy)를 이용한 EPD System을 상용화 하여 고객사에 공급 중이며, 플라즈마의 광 신호를 실시간으로 고속 계측함과 동시에 최적화된 알고리즘을 이용하여 플라즈마의 이상 상태를 감지하며 이를 통하여 제조 공정 및 장비의 개선을 가능하게 하여 고객 제품의 생산성을 향상 하도록 하는 기술을 개발 하고 있습니다. 본 심포지엄에서는 주식회사 레인보우 코퍼레이션이 개발 중인 "실시간 고속 플라즈마 광 모니터링 기술" 의 개념을 소개하고, 제품의 응용 범위와 응용 방법에 대하여 설명을 하고자 합니다.

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장애인복지 소비자주의에 대한 사회복지전문직의 주관적 개념화 분석 (The Study on the Subjective Conceptualization of Social Work Professional to Consumerism in Social Welfare for the Disabled)

  • 박경수
    • 한국사회복지학
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    • 제58권4호
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    • pp.169-196
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    • 2006
  • 본 연구의 목적은 장애인 복지의 제공자 중심의 서비스를 극복하기 위해 새로운 대안으로 부상하고 있는 소비자주의에 대한 사회복지사들의 주관적 개념화를 파악하기 위한 것이다. Q 방법론을 통해 사회복지사들의 소비자주의에 대한 주관적 개념은 임파워먼트형, 시장기제형, 다중개방형, 전통가치형 등 4가지 유형으로 도출되었다. 이들은 각각 소비자주의에 대한 특정적 확장적 차원에 의해, 전통적 개혁적 차원에 의해, 수단적 목적적 차원에 의해 인식되고 있음을 알 수 있었다. 본 연구의 결과는 우리 사회에서 모호하게 이해되고 있는 소비자주의 개념을 구체화함으로써 소비자 친화적인 정책 및 실천 프로그램과 전문가 교육 프로그램 개발에, 그리고 소비자주의를 지향하는 장애인복지의 정책, 실천현장, 이론, 운동 등 제 영역들 간의 명확한 의사소통을 원활히 하는데 기여할 것이다.

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한국 영화의 특성에 따른 일본 수출 성과에 대한 연구: 2002년부터 2006년까지의 개봉작을 중심으로 (Export of Korean Films in Japan: Focused on the Films Released between 2002 and 2006)

  • 이문행
    • 한국언론정보학보
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    • 제39권
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    • pp.355-384
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    • 2007
  • 이 연구는 한국 영화의 일본 수출이 급격하게 증가한 지난 2002년부터 2006년까지 한국 영화 개봉작 436편을 대상으로 장르와 한류 스타 출연 여부, 메이저 배급 여부, 국내 관객수 등에 따른 일본 수출 성과를 살펴보고자 했다. 우선 장르 면에서는 멜로 영화의 수출 비중이 가장 높아서, 코믹 영화를 즐겨보고, 멜로 영화에 대한 선호도는 다소 저조한 한국 관객과의 차이를 보여준다. 또한, 한류 스타가 출연한 영화 비중은 전체 개봉작의 14%에 지나지 않았으나, 한류 스타가 출연한 영화의 일본 수출 비중은 비한류 스타 출연작에 비해 월등히 높은 것으로 나타나, 일본 수출에 있어 한류 스타의 중요성을 입증해주고 있다. 뿐만 아니라, 메이저 배급 여부와 국내 개봉 성과 또한 일본 수출과 통계적으로 유의한 결과를 나타냄으로써, 배급사의 브랜드 파워와 개별 영화의 1차 시장 성적이 후속 시장에 영향을 주고 있음을 알 수 있다.

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FFNN을 사용한 P2P 디바이스 디스커버리 (Device Discovery in P2P Environment using Feed Forward Neural Network)

  • 차크라;권기현;김상춘;변형기;김남용
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2006년도 춘계학술발표대회
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    • pp.1223-1226
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    • 2006
  • P2P(Peer to Peer) 기술은 1990년대 후반기부터 산업계 및 학계에 주목을 받고 있는 기술 분야중의 하나로 이 기술의 장점은 인터넷 환경에 산재하여 있는 컴퓨팅 파워, 공간, 네트워크 대역을 인터넷 기반으로 효과적으로 활용하여 협력작업을 가능하게 한다는데 있다. 최근에는 모바일 환경 응용을 위한 P2P 디바이스 탐색 분야에 관심사가 증대되고 있으며, P2P 시스템은 중앙통제 장치가 결여 되어 있기 때문에 중앙통제 장치 개입을 최소로 하면서 P2P를 운영하기 위한 효율적인 기법 및 체계가 요구되고 있다. 본 논문에서는 기존의 접근방법을 검토하여 FFNN(feed forward neural network)을 이용한 디바이스 탐색 기법을 제시한다. 제시한 FFNN은 BP(back propagation) 알고리즘을 통해 훈련하고 디바이스를 탐색한다. 제시한 시스템의 성능을 보이기 위해 일정한 계산량을 가지는 작업을 에이전트를 활용, 탐색된 디바이스간에 분배하여 처리한다. 본 논문에서는 제한된 자원을 가지는 디바이스 간에 P2P를 사용하는 기법에 대해 제시하였다.

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사회복지사의 임파워먼트에 영향을 미치는 요인에 관한 연구 : 지역사회복지관 사회복지사를 중심으로 (A Study of Social Workers' Empowerment Level and Its Predictors : Cases of Social Workers in Community Welfare Centers)

  • 강철희;윤민화
    • 한국사회복지학
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    • 제41권
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    • pp.7-42
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    • 2000
  • Little empirical study has been conducted concerning social worker' empowerment that has very important function on clients' empowerment. Using the sample of 222 social workers selected from 92 community welfare centers, this study attempted to identify social workers' empowerment level and its predictors. This study used the empowerment scale developed by Leslie, Holzhalb, Holland (1998) that focuses on measurement of social workers's empowerment in social work agencies. Using confirmatory factor analysis, it was confirmed that the scale has three factors such as control of work environment, work relationships, and personal work orientation. This study showed that using 5 points scale, mean of social workers' empowerment is 3.67. In identifying predictors of the empowerment, this study used variables from the following aspects: organizational characteristics, job characteristics, and individual characteristics. Using regression analysis, it was found that variables related to job characteristics such as role ambiguities, role conflicts, and skill varieties are statistically very significant predictors of social workers' empowerment. Self-esteem in personal characteristics and participation in decision making and transformational leadership in organizational characteristics are also statistically significant predictors of social workers' empowerment. This study also revealed that self-control and self-esteem variables function as moderator in the relation with variables such as role ambiguities and role conflicts. Finally, this study discussed the direction of future research in social workers' empowerment and the areas that management efforts should be focused on for promoting social workers' empowerment.

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여러 질소 플라즈마 상태에서 성장한 wurtzite GaN의 결정특성 (Crystal properties of wurtzite GaN grown under various nitrogen plasma conditions)

  • 조성환;김순구;유연봉
    • 한국진공학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.354-358
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    • 1997
  • 다양한 질소 압력, 플라즈마 파워 상태에서 사파이어 기판위에 전자 사이클로트론 공명 MBE로 제작한 wurtzite GaN의 결정특성을 XRD의 반치폭, 주사전자 현미경으로 조 사하였다. 질소 압력은 XRD의 반치폭에 커다란 영향을 미치고 있으며 최적 질소 압력에서 제작한 시료에는 높은 dislocation density를 포함하고 있음을 알았다. 이러한 결과들은 갈륨 질소의 결정질(crystal quality)은 플라즈마 상태에 매우 민감하며 또한 스트레스 완화는 V/ III비에 의존하고 있음을 나타낸다. 그렇지만 사파이어 기판의 nitridation은 스트레스 완화에 커다란 영향을 미치지 않고 있었다.

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애니메이션 영화의 흥행결정 요인에 관한 연구 : 2003-2008년 개봉작품을 중심으로 (Predicting Box Office Performance for Animation Movies' Evidence from Movies Released in Korea, 2003-2008)

  • 정완규
    • 만화애니메이션 연구
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    • 통권16호
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    • pp.21-32
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    • 2009
  • 본 연구는 2003년부터 2008년까지 한국에서 개봉된 애니메이션 영화들을 분석대상으로 하여 해당 영화의 흥행성과에 영향을 미치는 요인들을 고찰하고자 한다. 종속변수는 전국 총관객수이다. 총관객수에 영향을 미치는 요인이 무엇인지 고찰하기 위해 독립변인은 배급사 파워, 개봉스크린 규모, 개봉시점, 속편형태, 수상실적, 영화의 국적 및 등급, 그리고 전문가 평점과 네티즌의 온라인평점으로 설정되었다. 회귀분석 결과에서 전국 관객수에 유의미한 영향력을 미치는 변수는 개봉스크린 규모, 할리우드직배사의 배급, 여름시즌 개봉, 그리고 네티즌 평점이다. 본 연구는 한국 영화시장에서 애니메이션 흥행성과에 대한 분석을 시도했다는 점에서 의의를 찾을 수 있을 것이다.

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청소년의 임파워먼트 향상을 위한 의생활 영역 가정과수업 개발(제1보) (Development of Home Economics Teaching-Learning Plan in the Clothing and Textiles area For Teenager's Empowerment Improving(I))

  • 오경선;하지수;이수희
    • 한국가정과교육학회지
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    • 제31권3호
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    • pp.155-177
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    • 2019
  • 본 연구는 의생활 교육내용을 임파워먼트 향상을 목표로 하는 비판과학 관점의 가정과수업으로 구성하여 청소년들이 직면하는 의생활 문제를 해결하고 나아가 새로운 의생활 문화를 창조시킬 수 있는 교수·학습 과정안을 개발하고자 하였다. 이를 위해 Yoo와 Lee(2010)가 구체적으로 해석한 Laster(1986)의 교육과정 개발 과정을 적용하여 개념화한 후, Brown(1979)의 실질적 내용구성과 미국 위스콘신 주에서 개발한 교사용 지도서 "A Teacher's guide : Family, Food and Society"(Staaland & Storm, 1996)에서 제시된 실천적 추론의 개념적 틀을 적용하였다. 본 연구의 결과를 요약하면 다음과 같다. 첫째, 의생활 관련된 문헌들을 고찰한 결과를 토대로 의생활과 관련된 지속적인 관심사로는 '사회 내의 가족을 위하여 의생활과 관련하여 무엇을 해야 하는가?'로 선정하였다. 추구하는 가치목표는 자유가 많고 책임이 큰 상태인 복합적인 위치로 정의하여, 상호의존성, 감정적 성숙, 지적발달, 의사소통 능력 등을 학습의 목표로 삼았다. 교육내용과 활동 구조를 위해 교육내용의 개념적 틀로 실천적 추론 과정을 사용하였으며, 하위 관심사, 광의의 개념, 하위 개념과 지적·사회적 기술을 포함시켰다. 둘째, 실천적 추론 단계를 토대로 의생활 영역의 교수·학습 과정안을 개발하였다. 그 결과 총 5개 모듈의 12차시 과정안을 개발하였으며, 읽기 자료, 그림 자료, 모둠활동 자료, 동영상 자료 등을 포함하여 총 31개의 학습지를 개발하였다. 본 연구결과, 실천적 추론과정을 수업에 새로이 시도해 보고자 하는 교사들이나, 실천적 추론 과정을 현장에서 실행하는 데에 어려움을 겪은 교사들에게 바로 적용할 수 있는 자료로 활용될 수 있다.

선박 육상건조를 위한 로드-아웃 시스템의 보기 배치 사례 연구 (Case Study on the Bogie Arrangement of the Load-out System for On-ground Shipbuilding)

  • 황존규;고재용
    • 해양환경안전학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.153-160
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    • 2022
  • 본 연구는 선박 육상건조를 위한 로드-아웃 시스템(Load-out System)의 보기(Bogie;대차) 배치 방법과 그 적용사례에 대한 표준을 제시하였다. 로드-아웃 시스템은 도크 설비 없이 육상에서 선박을 건조하는 가장 중요한 시스템 중 하나로, 본 시스템은 보기, 모터부착 보기, 트레슬, 파워팩의 4가지 장비로 구성되어 있다. 또한, 선박의 구조적 안전을 위해 트레슬의 반력을 계산하고 적절한 보기의 대수를 결정하였다. 이러한 맥락에서 본 연구의 목적은 최소한의 비용으로 구조적 안전요건을 만족하는 보기 배치를 수행할 수 있는 최적의 시스템 설계방법을 제안하고 과도한 보기 배치에 따른 기업의 손실을 줄이는 데 그 목적이 있다. 제안된 방법은 육상건조 단계에서 조선사들의 생산 경쟁력 향상은 물론 실효성 있는 작업절차 구현에도 기여할 것으로 기대된다. 또한, 로드-아웃 과정에서 선체 바닥에서 발생할 수 있는 선체변형에 대한 위험을 최소화하기 위하여 114K 원유 탱커(최소 보기 수 54대)와 174K CBM LNG 운반선(최소 보기 수 88대)에 보기 배치 방법을 적용하여 육상건조 선박의 보기의 수와 임계 위험(안전율 1.61)을 최소화할 수 있도록 하였으며, 본 연구를 통해 독자는 향후 성공적인 육상건조와 이에 따른 경제적인 선박건조를 수행할 수 있을 것으로 판단한다.

DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성 (NIR reflecting properties of TiO2/Ag/TiO2 multilayers deposited by DC/RF magnetron sputtering)

  • 김성한;김서한;송풍근
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.158-158
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    • 2016
  • 최근 화석연료의 고갈과 환경 보전 및 에너지 절약에 대한 관심이 높아짐에 따라 화석연료의 소비를 최소화하고 실내조건을 쾌적하게 유지하려는 연구가 진행되고 있다. 국내의 경우 전체 에너지 소비의 30%이상을 차지하고 있는 건물부문에서의 에너지 소비를 줄이기 위한 활발한 연구가 진행되고 있으며 이에 따른 에너지절약 소재개발이 활발하게 진행되고 있다. 1975년 이후 여러 차례에 걸친 단열강화 조치를 통해 건물에서의 에너지 소모를 줄이고 있었으나 건물의 외벽에 대한 사항으로 한정되어있었고, 또한 건물의 창 면적이 증가함에 따라 창을 통한 열손실량과 열획득량이 더욱 증가하게 되었다. 이러한 문제를 해결하기 위해 열반사유리에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 열반사유리는 근적외선(열선)영역의 빛을 반사시켜 실내의 열손실량 및 외부에서의 열획득량을 감소시켜 에너지의 소비를 줄일 수 있는 유리을 말한다. 이러한 열반사유리은 fresnel 방정식을 통해 빛의 파장대에 따른 반사율 및 투과도를 예측할 수 있는데, 다층박막구조인 Oxide-Metal-Oxide(OMO)구조는 Oxide의 높은 굴절률과 Metal의 낮은 굴절률을 통해 가시광영역대의 높은 투과도와 근적외선 영역의 높은 반사율을 얻을 수 있다. 또한 Metal층을 삽입함으로서 flexible한 코팅이 가능하고, 높은 carrier density와 mobility로 표면 플라즈몬 공명을 통해 특정 파장대의 반사율을 높일 수 있으므로 많은 연구가 진행되고 있다. $TiO_2$는 고굴절률 및 낮은 광흡수성의 특성을 가지는 산화물반도체로 기존의 $In_2O_3$계 산화물에 비해 값이 싸고 높은 안정성과 광촉매특성을 보이므로 외부에 노출된 환경에 적합한 재료이다. Ag는 저굴절률과 낮은 광흡수성을 가지는 재료로 금속층에 적합하다. 본 연구에서는 fresnel 방정식을 통해 반사도 및 투과도를 예측하고 마그네트론 스퍼터링법으로 다층박막을 열선인 적외선 영역에서의 반사율 및 반사 효율을 평가하였다. Index-matching 시뮬레이션을 통해 $TiO_2/Ag/TiO_2$ 다층박막의 투과도와 반사도를 이론적으로 검토하였다. 시뮬레이션 프로그램은 Macleod프로그램을 이용하였고 재료 각각의 굴절률은 Ellipsometry를 이용하여 측정하였다. 두께 40 nm 와 8 ~ 16 nm를 가지는 $TiO_2$층과 Ag층을 각각 RF/DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Glass기판 위에 증착하였다. 직경 3 in 의 $TiO_2$, Ag 소결체 타깃을 이용하였고 스퍼터링 파워는 각각 200 W, 50 W로 설정하였고, 스퍼터링 가스는 Ar가스의 유량을 20 sccm으로 설정하였다. 작업압력은 모두 1 Pa로 설정하였고 타깃 표면의 불순물 및 이물질 제거를 위해 Pre-sputtering을 10분 진행하였다. 박막의 두께는 reflectometer와 Alphastep을 이용하여 측정하였고 Hall effect measurement를 이용하여 비저항, carrier density, mobility등 전기적 특성을 측정하였다. 또한 UV-VIS spectrometer와 USPM-RU-W NIR Micro-Spectrophotometer를 통해 광학적 특성을 측정하였고 계산 값과 비교분석하였다. 또한 열반사 특성을 평가하기 위해 직접 set-up한 장비를 이용하였다. 단열 박스에 샘플을 장착해 적외선 램프를 조사하였을 때의 열 반사효율을 평가하였고, IR Camera를 이용하여 단열 박스 내부의 온도 변화를 관찰하였다.

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