• 제목/요약/키워드: 투과 전자 현미경

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catalyst-free 유기금속 화학증착법을 이용한 InN nanorods의 성장

  • 김민화;홍영준;정건욱;박성현;이건훈;문대영;전종명;김미영;이규철;윤의준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.126-126
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    • 2010
  • 본 연구에서는 catalyst-free 유기금속 화학증착법 (MOCVD)를 이용하여 사파이어 (0001)면 위에 직접 InN nanorods를 성장하였다. InN 박막의 성장에서 TMIn과 $NH_3$를 전구체로 사용하였으며, 캐리어 가스로는 질소를 사용하였다. 성장 전, 기판에 $1100^{\circ}C$에서 3분간 nitridation 처리를 거친 후 온도를 낮춰 $630{\sim}730^{\circ}C$의 온도범위 에서 InN 박막을 성장하였다. 이때 $710^{\circ}C$의 온도에서 박막은 columnar growth의 특성을 보였으며 동일조건에서 80분간 성장시킨 결과 InN nanorods가 성장되었다. 성장시킨 InN nanorod는 X-선 회절 측정법, 주사 전자 현미경 그리고 투과 전자 현미경을 이용하여 그 특성을 분석하였다. 투과 전자 현미경을 통한 분석결과 지름이 150~200 nm이며 그 길이는 수 ${\mu}m$인 InN nanorod가 성공적으로 성장되었음을 확인하였다. 또한 X-선 회절 측정법과 주사 전자 현미경을 통한 분석에서 이들 nanorods가 대부분 c 방향으로 수직하게 정렬되어 있음을 확인하였다. 또한 Ti/Au (120/80 nm)를 전극으로 사용하여 개개의 nanorod의 전기적 특성을 분석한 결과 linear한 I-V특성이 관찰되었으며 비저항은 평균적으로 $0.0024\;{\Omega}cm$ 이었다. transfer 특성의 측정결과 -50V까지 게이트 전압을 인가하여도 드레인 전류의 변화는 매우 적어 doping level이 상당히 높다고 예상가능하다. 또한 mobility는 $133\;cm^2/Vs$로 도출되었다.

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방사선 조사 후 적혈구의 형태적 고찰 (Morphological Review of Red Blood Cells After X-ray Irradiation)

  • 지태정
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제17권2호
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    • pp.223-230
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    • 2023
  • 본 연구는 전신 방사선 조사 후 적혈구의 형태적 변화를 고찰하고자 하였다. 혈액 시료는 방사선 조사한 랫드(Rat)와 마우스의 적혈구를 사용하였다. 투과전자현미경 관찰결과, 5 Gy 조사 후 20일 지난 적혈구에서 대소부동증이 관찰되었다. 작은 적혈구에서는 삼각형, 테트라포드형의 형태가 관찰되었다. 일반적 크기의 적혈구에는 변형적혈구, 낫 모양의 겸상적혈구, 유극적혈구 등이 관찰되었다. 7 Gy 조사 후 20일 지난 적혈구는 분열적혈구가 관찰되었다. 주사전자현미경 관찰결과, 작은 적혈구들과 함께 누적적혈구가 관찰되었다. 또한 적혈구들이 서로 엉킨 상태의 군집된 형태도 확인되었다. 그 외 다각형의 모양, 반달 모양의 변형된 형태도 관찰되었다. 결론적으로 방사선 피폭에 의한 적혈구 연구는 수적 변화보다 변형된 형태의 병적 연구가 더 중요한 것으로 판단된다.

한국산 Red Deer (Cervus elaphus)의 심근에서 관찰된 Sarcocystis grueneri 양 포낭의 투과전자현미경 소견 (Ultrastructure of Sarcocystis grueneri-like Sarcocysts from Cardiac Muscle of Red Deer (Cervus elaphus) in Korea)

  • 손화영;김남수;류시윤;김현철;이주희;조정곤;박배근
    • 한국임상수의학회지
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    • 제26권6호
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    • pp.595-599
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    • 2009
  • 한국산 양축 엘크사슴 (Cervus elaphus)의 심장 조직에서 Sarcocystis grueneri 양 포낭을 광학 및 투과전자현미경으로 관찰하였다. 심장조직의 병리소견에서는 다수의 포낭이 관찰되었으며, 염증 및 근섬유의 변성은 관찰되지 않았다. 염증 및 근섬유의 변성은 관찰되지 않았으며 다수의 포낭이 관찰되었다. 포낭은 난형에서 난원형 이었으며, 크기는 90-170$\times$ 110-380 ${\mu}m$로 계측되었다. 투과전자현미경 소견에서 포낭은 숙주세포 유래의 sarcoplasm에 싸여 있었고 0.45-0.6 ${\mu}m$ 두께의 매우 얇은 포낭벽을 갖고 있었으며, 포낭벽은 protrusion 및 ground substance로 구성되어 있었다. 다수의 길고 가느다란 protrusion 층의 높이는 0.2-0.3 ${\mu}m$, protrusion의 길이는 최장 4.2 ${\mu}m$로 계측되었다. Protrusion은 포낭의 표면과 평행하게 주행하였다. 포낭은 중격에 의하여 소실로 나뉘어져 있었고 소실에는 크기가 약 $15\times4\;{\mu}m$인 다수의 merozoites가 존재하였다. 관찰된 모든 포낭은 같은 발육기를 갖고 있었다. Merozoite는 4개 구역(micronemes and rhoptries, amylopectin granules, 핵 및 amylopectin granules)으로 구분되었으며 7-11 개의 rhoptry가 충체의 전방에 분포하였다.

조선시대 태아 미라 두피조직의 보존상태 분석 (Analysis on the Preservation of Scalp Collected from Full-Term Baby Mummy of Medieval Joseon Dynasty)

  • 장병수
    • Applied Microscopy
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    • 제38권2호
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    • pp.135-140
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    • 2008
  • 본 연구에서 분만 중에 사망한 여성미라의 자궁 내에 있는 태아미라의 두피를 주사전자현미경과 투과전자현미경을 사용하여 관찰하였다. 주사전자현미경상에서 태아 두피의 표면은 잘 보존된 상태로 관찰되었으며, 각질층에 각화세포도 모양을 그대로 유지하고 있었다. 또한 땀샘과 모발도 원형 그대로 유지하고 있었으며 일부 두피표면에 모발이 빠져서 형성된 모공들이 다수 관찰되었다. 채취한 두피의 횡단면 두께는 약 1mm로 나타났으며 표피와 진피 및 피하조직이 뚜렷하게 존재하였다. 투과전자현미 경상에서 상피세포의 구조나 형태는 관찰되지 않았으며 또한, 세포의 형태를 그대로 유지하고 있는 어떠한 세포들도 전혀 관찰할 수 없었다. 그러나 진피의 교원섬유들은 잘 보존되어 있었고 이들 사이에 Clostridium 속으로 추정되는 부패세균들이 다수 관찰되었다.

투과 전자 현미경을 이용한 다이아몬드 박막과 실리콘 기판의 계면 연구 (Investigation of the interface between diamond film and silicon substrate using transmission electron microscopy)

  • 김성훈
    • 한국결정성장학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.100-104
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    • 2000
  • 다이아몬드 박막을 마이크로웨이브 플라즈마 방법을 이용하여 실리콘 기판위에 증착하였다. 증착된 다이아몬드 박막과 실리콘 기판의 단면을 이온 밀링 방법으로 식각한후, 경계면을 투과 전자 현미경으로 분석하였다. 다이아몬드 박막은 실리콘 기판위에 직접 성장되거나 또는 중간층이 형성된후 성장됨을 알 수 있었다. 중간층의 구성은 주로 Sic 또는 무정형 탄소로 이루어졌으며 중간층의 두께는 경계면을 따라 다르게 변하였다. 전자 회절 패턴으로부터, 경계면 주위에 잘 발달된 실리콘 기판과 다이아몬드의 결정면들이 서로 적합하게 성장되었고 있음을 알 수 있었다. 이 결과들로부터 실리콘 기판위에 성장되는 다이아몬드 박막의 초기 성장 형태를 추론할 수 있었다.

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Nanocrystalline Electrolytic $MnO_2$ (EMD)의 미세구조 연구 (Microstructure of Nanocrystalline Electrolytic $MnO_2$ (EMD))

  • 김창훈
    • 한국결정학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.79-83
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    • 2003
  • Electrolytic MnO₂ (EMD)의 미세구조를 X선 회절 및 투과전자현미경 분석을 통해 연구하였다. 벌크에 대한 X선 회절 실험은 전헝적인 EMD 재료의 분말 회절패턴을 나타내었다. 투과전자현미경 분석은 EMD가 약 0.2㎛크기의 입자로 이루어져 있고, 각각의 입자가다시 10 nm 정도의 결정립으로 이루어진 이중 미세구조를 가짐을 나타내었다. 나노 결정립에 대한 전자빔 마이크로 회절 분석 결과, EMD 입자는 여러 상의 혼합체로서 약 50%의 Ramsdellite, 30%의 ε-MnO₂, 15%의 Pyrolusite 상으로 이루어져 있음을 확인하였다. 한편, X선 분말 회절패턴 상의 약 67°에 위치한 {1120} 피크와 (0001) 면에 대한 고분해능 이미지는 ε-MnO₂ 상의 존재를 입증하였다.

TEM을 이용한 비정질 박막의 구조분석

  • 백현석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.74-74
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    • 1999
  • TEM(투과전자현미경, Transmission Electron Microscop)은 결정재료뿐 아니라 비정질 재료까지도 원자단위의 구조를 연구하는데 매우 유용한 도구이다. 특히 200kV의 가속전압 투과전자현미경에 FEG(Field Emission Gun) 전자총이 장착되기 시작하면서 TEM은 비정질 구조 연구에 하나의 핵심적인 도구로서의 역할이 크게 기대되는 장비가 되었다. 본 연구에서는 TEM의 microanalysis accessary인 EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)technique을 주로 이용하던 기존의 방법대신 고 분해능(HRTEM(High Resolution Transmission Electron Microscopy)의 image로부터 비정질 정량묘사의 유일한 도구인 원자분포함수(RDF(Radial Distribution Function))로의 Reconstruction을 Simulation을 이용하여 시도하였다. 비정질 HRTEM image의 정량분석을 통하여 이 분야에서의 TEM의 한계를 이해하기 위하여 몇 모델을 제시하고 사용하였다. 또한 비정질 구조를 정량적으로 묘사하는 도구인 원자분포함수를 알아보고 비정질재료를 보다 물리적으로 모델링하기 위하여 가능한 모델 제시 후 첫 단계로서 HRTEM image에서 원자분포함수를 이끌어내기 위한 모델링을 수행하고 비정질 게르마늄(a-Ge) film에 대하여 실제로 적용하여 보았다. 마지막으로 실험적인 접근으로 200kV FE-TEm (poingt resolution 0.14nm) 으로 비정질 Ge의 image를 solw Scan CCD를 이용한 Elastic image를 Through Focus로 얻었으며 수치적인 정량비교를 역격자 공간에서 출발한 가장 물리적인 구조 모델을 이용하여 수행하였다. 모든 정량비교는 image의 Fourier 변환인 Diffractogram으로 하였다. 결론적으로, 많은 복잡한 수치 처리과정을 거쳐야 하지만 HRTEM의 image로부터 구조에 대한 정보(RDF)는 명확하게 얻을 수 있었다.

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DC-sputtering으로 증착한 IZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적 특성

  • 김준호;문진영;김형훈;이호성;한원석;조형균;김흥승
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.468-468
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    • 2008
  • IZO(Indium zinc oxide) 박막은 화학적으로 안정하면서, 가시광 영역 (380~780 nm)에서 80% 이상의 높은 투과도와 낮은 전기비저항, 3.5 eV 이상의 넓은 밴드갭 특성을 가진다. IZO 박막의 이러한 특성 때문에 평판표시소자 (Flat Panel Display; FPD) 및 태양전지와 같은 광전소자들의 차세대 투명전도성 산화물(Transparent Conducting Oxide; TCO) 박막 재료로 주목 받고 있다. 특히 평판표시소자(FPD)들의 고해상도, 대면적화 및 경량화로 인해 투명전극용 박막의 고품위 특성이 요구되고 있다. 현재 투명 전극으로 널리 사용되고 있는 고가의 ITO(indium tin oxide)를 대체할 다성분계 산화물 투명 전극 중에서 투광성과 전기전도도가 좋은 IZO 박막에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 이러한 IZO 박막의 광학적, 전기적 특성은 박막 내의 조성 차이와 미세구조에 의해 결정된다. 따라서 고품위의 IZO 박막 형성을 위해서 결정구조와 미세구조에 대한 분석이 필수적이다. 본 연구에서는 Si(100) 기판 위에 DC-sputtering으로 증착한 IZO 박막의 열처리 온도에 따른 구조적 특성을 알아보기 위해 300~$600^{\circ}C$ 공기분위기에서 1시간 동안 열처리 하였다. 표면 형상(surface morphology)은 원자현미경(AFM). 결정구조는 X-선 회절(XRD)로 분석하였고, 미세구조는 투과전자현미경(TEM)으로 관찰하였다.

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Toad bladder의 상피수송(上皮輸送)에 관한 동결치환(凍結置換) 및 동결절단법(凍結切斷法) 연구(硏究) (Freeze-Substitution and Freeze-Fracture Studies on Epithelial Transport of Toad Bladder)

  • 전진석
    • Applied Microscopy
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    • 제20권2호
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    • pp.81-101
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    • 1990
  • Toad bladder의 상피수송(上皮輸送)을 분석(分析)하기 위하여 동결치환(凍結置換) 및 동결절단법(凍結切斷法)을 적용(適用)하여 전자현미경(電子顯微鏡) 관찰(觀察)을 실시하였다. 방광(膀胱)의 점막층(粘膜層)은 과립성세포(顆粒性細胞), 미토콘드리아가 풍부한 세포, 점막분필세포(粘膜分泌細胞) 및 기저세포(基底細胞)등 4가지 세포로 구성되어 있었다. 과립성세포(顆粒性細胞)는 점막표면적의 대부분을 점유하며 $Na^+$ 수송(輸送)에 주요한 역할을 하고, 정단부(頂端部)의 세포질에는 다수의 과립이 분포하며 정단세포막(頂端細胞膜)은 microvilli type I로 배열되어 있고, 표면에 glycoprotein을 함유하는 세포외막(細胞外膜)이 관찰되었다. 대조적으로 미토콘드리아가 풍부한 세포는 세포질 전역에 걸쳐 다수의 미토콘드리아가 분포해 있으며 주요 기능은 $H^{+},\;K^{+}$$HCO_{3}^{-}$ 분필수송(分泌輸送)에 관여할 것으로 생각되며 이들 수송상피(輸送上皮)는 정단부가 견고연접(堅固連接)으로 둘러 싸이고 기저세포막(基底細胞膜)은 인접세포와 서로 분리되므로 상피세포의 극성이 유지되며 정단부(頂端部) 세포막과 기저세포막의 수송특성(輸送特性)은 각기 다르다고 생각된다. 따라서 두꺼비 방광(膀胱)에서 상피수송(上皮輸送)은 세포 통과수송 및 세포간 분류수송 경로를 나타내고 있다. 한편 세포막 투과성(透過性)의 조절과 관련하여 동결절단(凍結切斷) 전자현미경 관찰에 의하면 forskolin에 촉진된 정단부(頂端部) 세포막 투과성의 변화는 세포막내(細胞膜內) 입자(粒子)의 분포와 밀접한 관계를 가지는 것으로 보인다. 특히 과립성세포(顆粒性細胞)에서 집단으로 관찰되는 세포막내(細胞膜內) 입자(粒子)는 forskolin에 유도된 정단세포막(頂端細胞膜) 투과성의 변화를 나타내주는 것으로 사료되나 이의 기능적 의미에 대하여는 연구가 더욱 필요하다고 본다.

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