• Title/Summary/Keyword: 투과광

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대향타겟식 스퍼터법으로 증착한 GAZO 박막의 투입전력에 따른 특성

  • Kim, Gyeong-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.217-217
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    • 2010
  • 새로운 물질의 투명전극 제작을 위해 대향타겟식 스퍼터링 (Facing Targets Sputtering, FTS)법을 이용하여 유리 기판위에 AZO와 GZO 이종타겟을 사용하여 유리 기판 위에 GAZO 박막을 제작하였다. FTS는 두 타겟이 서로 마주보는 구조로 인해 서로 다른 종류의 타겟을 장착하여 새로운 물질의 박막을 제작하는데 있어 용이하고, 타겟 뒷면에 위치한 영구자석으로 인해 타겟으로부터 방출되는 2차 전자 등을 구속하여 고밀도 플라즈마를 형성함으로서 고품위 박막의 제작이 가능하다. 본 연구에서는 투입 전력에 따라 제작된 GAZO 박막의 전기적, 광학적 및 구조적 특성 변화를 살펴보았다. 특성 평가는 UV/VIS spectrometer, Hall measurement, X-ray diffractometer (XRD), Atomic Force Microscope (AFM), Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM) 을 이용하여 분석하였다. 그 결과 제작된 GAZO 박막은 비저항 $4.3\;{\times}\;10^{-4}\l;{\Omega}-cm$, 가시광 영역에서 투과율 80% 이상을 나타내는 것으로 분석되었다.

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산소 플라즈마로 처리한 전도성 투명 BZO(ZnO:B)박막에 대한 전기적 특성

  • Gang, Jeong-Uk;Yu, Ha-Jin;Son, Chang-Gil;Jo, Won-Tae;Park, Sang-Gi;Choe, Eun-Ha;Gwon, Gi-Cheong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.477-477
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    • 2010
  • 태양전지용 TCO(Transfer Conductivity Oxide)는 가시광선 영역에서 높은 광 투과도(optical transmittance), 낮은 저항(resistivity), 우수한 박막 표면 거칠기(roughness) 등의 특성이 요구된다. 현재 가장 많이 사용되는 투명전극은 ITO(Indium Tin Oxide)가 보편적이다. 하지만 ITO에 사용되는 원료 재료인 In이 상대적으로 열적 안정성이 낮아 제조과정에서 필수적으로 수반되는 열처리가 제한적이며, 높은 원료 단가로 인하여 경제적인 측면에서 약점으로 지적되고 있다. 이러한 ITO 투명전극의 대체 재료로서 최근 ZnO 박막의 연구가 활발히 이루어지고 있다. MOCVD(Metal-Organic chemical vapor deposition)로 Soda lime glass 기판위에 약 900nm의 두께로 증착한 BZO(Boron-zinc-oxide)박막을 수소 플라즈마 처리공정을 한 뒤 산소 플라즈마를 이용하여 재처리 하였다. 산소 플라즈마 처리 공정은 RIE(Reactive Ion Etching)방식의 플라즈마 처리 장치를 사용하였고 공정 조건은 13.56 MHz의 RF주파수를 사용하여 RF 전력, 압력, 기판 온도 등을 변화시켜 BZO 박막의 전기적 특성을 측정 및 분석하였다.

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나노박막 코팅을 통한 단열 창호 구성 및 특성 분석

  • Seo, Mun-Seok;Sin, Gwon-U;Jo, Jin-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.307.2-307.2
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    • 2013
  • 창호를 통해 건축물 내부에 유입되는 태양광, 특히 태양열 유입에 큰 영향을 미치는 적외선 파장대역을 차폐할 수 있는 특성을 갖는 근적외선 반사 또는 흡수용 원천소재 개발하였다. 근적외선 반사는 고 굴절률/저 굴절률 다중 코팅막을 이용하여 상대적으로 에너지가 높은 800~1,300 nm 파장 영역의 근적외선만을 효율적으로 반사시킬 수 있 방식으로 적외선 차단 효율을 개선하였다. 근적외선 흡수용 나노박막 유 무기 복합소재를 기반으로 하여 특정 파장대에서 적외선을 흡수하도록 하여 적외선 차단 효율을 증대시켰다. 본 연구개발의 고단열 유리는 기존에 개발된 저방사 유리의 문제점인 높은 근적외선 투과문제를 해결하기 위한 대체/보완기술로서 이를 이용한 대면적 코팅을 통한 고기능성 복층창호 시스템을 구성하였고, 이에 대한 단열 특성 실험을 실시하였다.

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The Characterization of surface roughness of ITO on PET film by FTS System (FTS 장치로 증착된 ITO / PET 박막의 표면 거칠기 특성)

  • Jeon, A-Ram;Geum, Min-Jong;Sin, Gyeong-Sik;Lee, Gyo-Ung;Kim, Gap-Seok;Han, Jeon-Geon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2007.04a
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    • pp.69-70
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    • 2007
  • FTS(Facing Target Sputtering) 장치를 이용하여 polyethylene terephthalate (PET) 필름 위에 ITO(Indium Tin Oxide) 박막을 성장시키고 이들의 광학적, 구조적 특성을 조사하였다. 막 두께는 150 nm로 고정하였고, 인가적력과 산소 가스 유량비를 변수로 박막을 합성 하였다. 그 결과 80 % 이상의 광투과율과 Rms 26.8 nm 값을 갖는 ITO / PET 박막을 합성하였다.

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Effect of the atmospheric plasma etching preprocessing on properties of silica coating (대기압플라즈마 에칭 전처리 공정이 실리카 코팅의 특성에 미치는 영향)

  • O, Seung-Cheon;Sin, Jung-Uk;Kim, Sang-Sik
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.200-200
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    • 2012
  • 대기압 플라즈마 에칭 전처리 공정이 실리카 코팅의 특성에 미치는 영향을 연구하였다. 접촉각 특성, aging 효과, 광투과도 변화를 분석 하였다. 대기압 플라즈마 에칭 전처리를 통해 실리카 코팅의 특성은 접촉각 $13^{\circ}$에서 $6^{\circ}$로 변하였으며 aging 시험 결과 에칭 전 $6^{\circ}$ 증가에서 에칭 후 $2^{\circ}$로 친수특성 유지도가 향상되었다. 광 투과도는 89.8 %에서 90.67% 로 0.61 % 향상되었다.

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Wide Viewing Angle Transflective Liquid Crystal Display using Fringe-Field Switching Mode (FFS 모드를 이용한 광시야각 반투과형 액정 디스플레이)

  • Song, Je-Hoon;Lim, Young-Jin;Park, Chi-Hyuk;Lee, Seung-Hee
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.11a
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    • pp.567-570
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    • 2004
  • We have designed a single gap transflective liquid crystal display (LCD) driven by a fringe electric field, in which the LCs are homogeneously aligned in the initial state. In the reflective and transmissive areas, the degrees of the rotation of the LC director are $22.5^{\circ}$ and $45^{\circ}$, respectively. Utilizing this mechanism and an in-cell retarder with a quarter-wave plate that is used below the LC layer, the transflective LCD using fringe-field switching (FFS) mode is realized.

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Light scattering from restructured colloidal silica aggregates (재구조화된 콜로이드 실리카 응집체에 대한 광 산란)

  • 임영훈
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.3 no.3
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    • pp.167-171
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    • 1992
  • We present the static and dynamic light scattering results of the salt induced restructured colloidal silica aggregates. We also report the results from the transmission electron micrographs which confirms the individual sizes of the particles and the local structure of the ramified aggregates. The fractal dimensions of the restructuring silica aggregates are considerably different with in-situ light scattering measurements. The measured fractal dimensions, $D_{F}$, is 2.21 for the 0.5 wt.% concentration of the salt induced Ludox-AM. The Rayleigh linewidth for 0.1 wt.% concentration of Ludox-AM is discussed.

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The design of the EDEA gain flattening filter using an asymmetrical directional coupler (비대칭 구조의 커플러를 이용한 EDFA 이득평탄필터 설계)

  • 조준용;이경식
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.13 no.5
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    • pp.373-376
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    • 2002
  • An asymmetrical directional coupler with two nonidentical fibers has, for the first time, been proposed and analyzed for an EDFA gain flattening filter (GFF). The characteristics of the transmission spectra of the GFFs have been theoretically investigated for the core spacings, the coupling lengths and the fiber parameters of the asymmetrical directional coupler. The analytical results show that an EDFA gain spectrum with flatness of ~7 ㏈ can be flattened to within $\pm$0.75 ㏈ over a bandwidth of 30 nm by using the asymmetrical directional coupler-based GFF.

Electrical and optical properties of ITO films annealed at high humidity (고습에서 열처리된 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성)

  • Ma, Tae Young;Park, Ki Cheol
    • Journal of IKEEE
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    • v.25 no.1
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    • pp.47-52
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    • 2021
  • The ~185 nm thick ITO films deposited by high frequency magnetron sputtering were annealed at 100% humidity. Annealing was performed at 200℃, 250℃, 300℃, 350℃, 400℃ and 450℃ for 4 hours, respectively. Variations in resistivity, electron concentration, and mobility by high-humidity annealing were investigated. The stress change was estimated from the XRD results, and the surface morphology of films was observed through the FESEM micrographs. After measuring the light transmittance, the energy-band-gap was obtained and analyzed with the Burnstein-Moss effect.

Evaluation of NO Removal Performance of GST Incorporated UHPC for Application of LEFC (광투과 콘크리트 적용을 위한 GST 혼입 UHPC의 NO 제거성능 평가)

  • Kim, Byoung-Il;Kim, Soo-Yeon;Oh, Sang-Keun;Seo, Seung-Hoon
    • Proceedings of the Korean Institute of Building Construction Conference
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    • 2020.11a
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    • pp.139-140
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    • 2020
  • LEFC, a emotional concrete and one of light-transmitting concrete, has a characteristic of transmitting light, so its utility is great. In this study, in order to utilize LEFC under ultraviolet conditions, GST, a low-cost high-performance photocatalyst, was incorporated into the UHPC mix proportion. Specimens were prepared by applying ISO 22197-1. The test was conducted according to the standard and it was confirmed that the NO removal performance was over 50%.

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