Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Effect of the atmospheric plasma etching preprocessing on properties of silica coating

대기압플라즈마 에칭 전처리 공정이 실리카 코팅의 특성에 미치는 영향

  • 오승천 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터 플라즈마팀) ;
  • 신중욱 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터 플라즈마팀) ;
  • 김상식 (고등기술연구원 로봇/생산기술센터 플라즈마팀)
  • Published : 2012.05.31
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Abstract

대기압 플라즈마 에칭 전처리 공정이 실리카 코팅의 특성에 미치는 영향을 연구하였다. 접촉각 특성, aging 효과, 광투과도 변화를 분석 하였다. 대기압 플라즈마 에칭 전처리를 통해 실리카 코팅의 특성은 접촉각 $13^{\circ}$에서 $6^{\circ}$로 변하였으며 aging 시험 결과 에칭 전 $6^{\circ}$ 증가에서 에칭 후 $2^{\circ}$로 친수특성 유지도가 향상되었다. 광 투과도는 89.8 %에서 90.67% 로 0.61 % 향상되었다.

Keywords