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Cu배선을 위한 Ta-Si-N Barrier에 관한 연구 (Studies on the Ta-Si-n Barrier Used for Cu Interconnection)

  • 신영훈;김종철;이종무
    • 한국재료학회지
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    • 제7권6호
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    • pp.498-504
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    • 1997
  • Cu는 AI보다 비저항이 더 낮고, 일렉트로마이그레이션 내성이 더 강하기 때문에 AI을 대체하여 사용될 새로운 상부배선 재료로 널리 연구되고 있다. 그러나 Cu는 SiO$_{2}$층을 통해 Si기판 속으로 확산하는 것과 같은 열적불안정성을 갖고 있으므로 Cu 배선을 위해서는 barrier금속을 함께 사용해야 한다. 지금까지 알려진 가장 우수한 재료는 TaSi$_{x}$N$_{y}$이다. Tasi$_{x}$N$_{y}$는 90$0^{\circ}C$에서 불량이 발생하는 것으로 보고된 바 있으나, 그것의 barrier특성과 관련하여 확인하고 또 새로 조사되어야 할 내용들이 많이 있다. 본 연구에서는 반응성 스퍼터링 테크닉을 사용하여 (100)Si 웨이퍼상에 TaSi$_{x}$N$_{y}$막을 증착하고, Cu에 대한 barrier재료로서 반드시 갖추어야 할 열적 안정성을 면저항의측정, X선 회절 및 AES 깊이분석 등에 의하여 조사하였다. 스퍼터링 공정에서 N$_{2}$/Ar기체의 유량비가 15%일때 열적 안정성이 가장 우수한 TaSi$_{x}$N$_{y}$막이 얻어졌다. Ta와 TaN은 각각 $600^{\circ}C$$650^{\circ}C$에서 불량이 발생하는 반면, TaSi$_{x}$N$_{y}$는 90$0^{\circ}C$에서 불량이 발생하였다. TaSi$_{x}$N$_{y}$의 불량기구는 다음과 같다:Cu는 TaSi$_{x}$N$_{y}$막을 통과하여 TaSi$_{x}$N$_{y}$/Si계면으로 이동한 다음 Si기판내의 Si원자들과 반응한다. 그 결과 TaSi$_{x}$N$_{y}$Si가 생성된다.

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무용공간의 새로운 공간 탐색 ; 극장과 미술관의 공간 연구 (A New Search for Dance Space ; A comparative Study of Spaces between Theaters and Museums)

  • 박성혜
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제19권8호
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    • pp.44-57
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    • 2019
  • 극장 공연에서의 무용 공연은 텍스트 중심으로 진행되어 플롯이 존재하고 캐릭터가 부각된다. 또한 극장 공연에서의 무용 공연은 표현력과 테크닉이 강조되는가 하면 공간에 대한 인식 역시 매우 근대적이며 이분법적인 데카르트적 사고의 전형을 보인다. 미술관이라는 공간 역시 극장 공간과 동일하게 근대적 산물의 공간인 동시에 예술이 도래하는 권위를 부여받았다는 점에서는 많은 유사점을 가지고 있는 공간이다. 미술관은 재현(Representation)에 목적을 두는 것이 아닌 현존(Presence)에 더한 가치를 두고 있다. 이러한 이유로 최근에 들어 빈번하게 소개되는 미술관에서의 작업들은 장소특정적이거나 수행적 개념의 작업들이 주를 이루고 있다. 이제는 미술관도 작품으로 규정된 미학에서 얻을 수 있는 것보다도 지금, 여기에서 발생되는 사건으로의 퍼포먼스에 주목하면서 미술관 스스로의 미학적 생산과 당위성을 보장받고 있는 셈이다.

영화 시네마 천국의 테마음악 기능분석 (Movie 'Cinema Paradiso' theme music function analysis)

  • 임주희
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제19권12호
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    • pp.561-568
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    • 2018
  • 본 논문은 이탈리아 출신의 영화음악가 엔니오 모리코네(Ennio Morricone)의 '시네마천국(Cinema Paradiso)'에 사용된 영화음악을 아론 코플랜드(Aron Copland)가 제시한 다섯 가지의 기능론과 현대의 대표적 영화음악의 기능 두 가지를 중심으로 분석한 논문이다. 영화 장면에 따른 각각의 테마음악을 변주시키는 변주법과 기능론을 제시함으로써 영화음악을 전공하는 학생들에게 음악의 테마 변주 테크닉과 장면에 따른 기능론을 습득시키기는데 도움이 될 것으로 판단된다. 엔니오 모리코네는 1960년대 <황야의 무법자>등의 서부영화에서 탁월한 능력을 보이고 1980년대에 들어 <미션(Mission)>, <시네마 천국(Cinema Paradiso)>등에서 전성기를 맞았다고 평가되어진다. 또한 그의 작품들은 테마음악의 변주를 통하여 주인공 인물의 내적 표현과 장면의 효과를 극대화시키는 등 영화음악의 기능론을 다루기에 매우 효과적이다. 특히 '시네마 천국'에서는 테마음악의 다양한 변주를 통하여 영화의 일관성과 다양성을 동시에 추구하였다. 그리고 특정한 분위기를 강조하여 장면의 연속성과 영화의 진행감을 주고자 하였다. 본 연구를 통해 엔니오 모리코네의 '시네마 천국'의 음악을 연구 분석하여 영화음악의 테마 변주법 연구에 의미를 두고자 한다.

교정치료를 동반한 CTG를 통한 치간유두 재생 (Reconstruction of Interdental papilla through connective tissue graft with orthodontic treatment: A Clinical Case Report)

  • 정성국
    • 대한심미치과학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.84-91
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    • 2020
  • 치주질환으로 손상된 치간유두의 재생은 아주 도전적인 과제이다. 지금까지 많은 치과의사들이 훌륭한 수술적인 방법을 고안하여 소개하였다. 지금까지 소개된 술식들을 순서대로 비교해보고 장단점을 비교해 치간유두를 재생을 위한 최적의 방법을 고안해보았다. 치주수술만으로 해결하기 어려운 좁은 치간유두 사이의 공간을 부분교정치료를 통하여 공간을 일시적으로 만들어 주는 것이 치은이식을 위해 큰 도움이 되었다. 치은이식은 마이크로 블레이드를 이용하여 박리를 시행하고 치은경계부에서 떨어진 수직절개를 하나만 시행해 여기를 통해 추가적인 박리와 이식편을 넣어서 치은이식을 시행하였다. 이렇게 교정치료를 동반하여 좁은 치간유두 사이의 폭을 벌려서 치은이식이 더 용이한 상태로 만들어 치은이식을 진행하고, 치은이 성숙한 뒤 교정력으로 다시 치아사이를 모아주는 술식(ELSA technique)을 통해 치간유두 재생을 할 수 있었다.

토니상 오케스트레이션상 수상작으로 살펴보는 편곡의 중요성 : <스위니 토드>, <스프링 어웨이크닝>, <인 더 하이츠>를 중심으로 (The Importance of Arrangement focusing on Tony Awards Winners for Best Orchestration : with , , and )

  • 성찬경
    • 한국엔터테인먼트산업학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.121-131
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    • 2020
  • 뮤지컬에서 편곡에 관한 연구는 극작 및 작곡 분야에 비해 상대적으로 소외되어온 영역이다. 그러나 편곡의 과정 없이 절대 온전한 뮤지컬 음악이 존재할 수 없듯 편곡가는 극작가나 작곡가만큼 막중한 역할을 맡는 주요 창작가이며, 최종적으로 뮤지컬의 완성도를 높이는 데 결정적인 기여를 한다. 권위 있는 토니상 오케스트레이션상 수상작품 중 <스위니토드>(2006), <스프링 어웨이크닝>(2007), <인 더 하이츠>(2008)의 수록곡을 바탕으로 기악 편곡의 특징을 악기 편성, 악기 배합과 배치, 대선율 삽입으로 나누어 분석함으로써 극작 및 작곡가의 의도에 부합하는 편곡가의 영민한 오케스트레이션 테크닉과 함께 편곡가의 새로운 상상력과 창의력을 발견할 수 있다.

원위내경동맥에 위치한 비파열성 동맥류의 치료에 있어 풍선-스텐트 테크닉에 대한 단일기관의 경험: Scepter-Atlas 조합을 사용하기 위한 간단하지만 확실한 방법 (Single Center Experience of the Balloon-Stent Technique for the Treatment of Unruptured Distal Internal Carotid Artery Aneurysms: Sharing a Simple and Reliable Tip to Use Scepter-Atlas Combination)

  • 박유정;노지은;백승국;염정아;강철후;정희석;이상원
    • 대한영상의학회지
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    • 제82권5호
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    • pp.1258-1273
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    • 2021
  • 목적 풍선-스텐트 테크닉(balloon-stent technique; 이하 BST)은 복잡한 동맥류를 치료하는 보조술로서 그 고유한 장점을 가지고 있다. 저자들의 기관에서 Atlas의 출시 이래 Scepter-Atlas 조합의 BST를 치료에 적용해 온 경험을 공유하고자 한다. 대상과 방법 초기에 Atlas를 Scepter 카테터에 진입시키지 못하는 기술적 실패를 겪은 뒤 이를 해결하기 위해 문제가 되었던 기구들을 면밀히 관찰하였다. 2018년 3월부터 2019년 12월까지 총 57개의 비파열성 원위내경동맥 동맥류에 대해 코일 색전술을 시행하였고, 이중 25개(23명)의 증례는 BST로 치료하였다. 포함된 증례들의 영상 및 임상 정보는 후향적으로 수집하고 분석하였다. 결과 이 논문에서 소개하는 간단한 팁을 알게 된 이후 Scepter-Atlas 조합의 기술적 성공률은 50%에서 100%로 상승하였다. BST로 치료한 환자군에서 시술 직후에 84%, 추적검사에서 95.8%가 완전하거나 거의 완전한 폐색을 보였고 stent-assisted coil 그룹에서는 각각 96.3%, 88.4%가 시술 직후와 추적검사에서 같은 결과를 보였다. 소수의 환자에서 합병증을 보였지만 임상적으로 문제가 된 증례는 없었다. 결론 Scepter-Atlas 조합을 이용한 BST는 원위내경동맥에 위치한 비파열성 동맥류를 치료하는 데 효과적이고 안전한 방법이 될 수 있다. Scepter는 Atlas를 매개하는 카테터로 충분히 사용될 수 있다.

드래그 감소를 위한 유체의 최적 엑티브 제어 및 최적화 알고리즘의 개발(1) - 대용량, 비선헝 유체의 최적화를 위한 알고리즘 및 테크닉의 개발 (Optimal Active-Control & Development of Optimization Algorithm for Reduction of Drag in Flow Problems(1) - Development of Optimization Algorithm and Techniques for Large-Scale and Highly Nonlinear Flow Problem)

  • 박재형
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제20권5호
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    • pp.661-669
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    • 2007
  • 바람에 저항하는 초고층 건물, 비행기나 자동차, 물에 저항하는 선박 등은 동일한 거동을 보여준다. 즉, 유속이 빨라 질경우, 건물 혹은 비행기, 자동차, 선박 뒤편에는 마이너스 압력과 와류가 발생하게 되는데 이로 인해 건물에서는 변위가 크게 발생하게 되고, 비행기나 자동차, 선박 등에서는 속력이 저하된다. 본 연구에서는 흡입과 방출이라는 기법을 이용하여 유체의 흐름을 우리가 원하는대로 적극적으로 제어하고자 한다. 그렇게 할 수만 있다면 초고층 건물에서의 변위를 대폭 줄일 수 있을 것이고, 자동차나 비행기 선박 등은 더 빠른 속도로 달릴 수 있을 것이다. 그렇다면 문제는 유체를 제어하기 위한 최적의 흡입 혹은 방출량을 구하는 것이고, 이 최적의 양들을 어떤 방법으로 구하는 것이냐 하는 것이다. 본 연구는 최적화 기법을 사용하여 Navier-Stokes 유체를 받는 물체의 표면에서 최적의 흡입, 그리고 방출량을 결정하려는 시도에서 출발하였다. 그러나 이 문제는 큰 Reynols Number 상태에서는 높은 비선형성으로 인하여 직접 한번에 Navier-Stokes 유체의 해석조차 불가능하였고, 더군다나 너무나 많은 변수로 인하여 기존의 방법으로는 최적화는 도저히 불가능 하였다. 본 연구에서는 이를 해결하기 위한 최적화 알고리즘을 제안하고, 또한 수렴속도도 대폭 증가시키기 위한 매우 효율적인 몇 가지 방법들을 제안하였다.

WEPP 모형을 이용한 우회수로 및 식생수로의 유출 및 토사유출 저감 평가 (Evaluation of Runoff and Sediment Yield Reduction with Diversion Ditch and Vegetated Swale Using WEPP Model)

  • 최재완;신동석;김익재;임경재
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제44권11호
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    • pp.863-873
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    • 2011
  • 전세계적으로 토사유출은 심각한 문제로 알려져 있다. 환경관리자, 농부 및 다른 토지소유자들을 위해 다양한 모델링 테크닉이 개발되어왔고, 토양유실 저감을 위해 다양한 site-specific 최적관리기법의 효율을 산정하여 활용하였다. 물리적기반인 WEPP 모형은 시 공간적으로 작은 유역과 필지에서 발생하는 토양유실을 산정할 수 있다. 그러므로 본 연구에서는 WEPP watershed version을 이용하여 강원도 홍천군 자운리에 위치한 연구지역에 빗물 우회수로와 식생수로를 적용하였다. 우회수로 적용시 유출량과 토사유출량은 각각5.8%, 29.6% 저감되었으며, 식생수로 적용시 각각 9.8%, 14.5% 저감되었다. 식생수로와 우회수로를 혼합한 식생우회수로는 유출량과 토사유출량이 각각 11.8%, 40.4% 저감되었다. 본 연구의 결과와 같이 WEPP 모형은 유출량과 토사유출량 저감효과를 산정하고, site-specific 토사유출저감 최적관리기법 수립에 유용할 것으로 판단된다.

식도암의 방사선 치료 결과 (Result of Radiotherapy for Esophagus Cancer)

  • 정태식;문창우;염하용;양칠용
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제6권2호
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    • pp.211-226
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    • 1988
  • 방사선 단독 치료나 수술후 방사선 치료를 받았던 165명의 식도암 환자 중에서 평균 생존율은 6.6개원이였으며 3,5년 생존율은 $10\%,\;8\%$였다. 생존율을 semilogarithmical하게 나타낸 biphasic plotting에서 보면 non-responder group은 치료에도 불구하고 1년내 모두 사망하였고 responder group중에서는 수술후 방사선 치료를 받았던 환자 20명 $(54\%)$은 1, 2, 3년 생존율이 각각$80\%,\;70\%,\; 60%$였으며, 방사션 치료만 받은 환자 61명$(48\%)$의 생존율은 각각 $62\%,\;38\%,\;23\%$였다. 즉, 3년간의 생존율의 비교는 수술후 방사선 치료가 방사선 단독치료 보다는 좋았다 (P<0.01). 가장 많은 사망의 원인으로는 연하곤란$(55\%)$이였으며 환자의 대다수는 국소적인 치료실패에 의해 사망하였으며 $(62\%)$ 협착의 $88\%$는 지속적인 암의 존재와 관련이 있었다. 환자의 $50\%$는 국소적인 임파절 전이가 발견되었다. 수술전의 진단 실패율은 $54\%$가 국소임파절 전이 때문에, $29.7\%$가 육안적인 임파절 전이 때문에, $13.5\%$가 혈행성 전이 때문에 그리고 $14\%$가 국소적인 직접 침범 때문이였다. Conventional radiation (6000 cGy/30 fraction in 6 weeks)이나 hyperfractionation radiation (upto 6900cGy, l15cGy/fraction)이거나 관계없이 gross disease는 충분히 즉일수 없었다. 그러나 hyperfractionation 테크닉에 의해서 급성 방사선 염증이 감소되어서 환자의 고통을 덜어줄 수 있었으며 그 후의 만성 부작용으로서의 방사선 합병증이 현저히 감소되었다.

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눈 형태에 따른 스모키 메이크업의 감성 이미지 (Analysis of emotional images according to eyes shapes and smoky makeup tone)

  • 김민경;류희욱
    • 감성과학
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    • 제14권2호
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    • pp.321-330
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    • 2011
  • 한국인의 전형적인 3가지 유형의 눈 모양 (표준 눈, 작고 외겹 눈, 올라간 눈)에 대해 명암을 변화시킨 5가지 스모키 메이크업 일러스트레이션의 이미지를 시각적 감성언어를 사용하여 체계적으로 분석하였다. 눈의 형태와 스모키 메이크업의 돈 변화(아이 쉐도우의 명암 조절)에 따라 다양한 이미지들을 표현할 수 있음을 확인하였다. 이들 스모키 메이크업 일러스트레이션들의 이미지에 대한 메이크업 전공학생과 전문가 집단의 인식은 대부분 일치하였으나, 메이크업에 대한 테크닉 구사 능력과 식견의 차이뿐만 아니라 세대 차이 등으로 인해 몇몇 일러스트레이션들에 대해서는 뚜렷한 인식의 차이가 있었다. 스모키 메이크업 일러스트레이션 자극물을 통하여 느껴지는 다양한 감성언어를 눈 형태와 스모키 메이크업의 톤 변화에 따라 느끼는 감성반응을 정리한 메이크업 이미지 포지셔닝 맵을 제시하였다. 무 메이 크업, 소프트 스모키, 면적 스모키에 대한 두 집단의 연상이미지는 각각 부드럽고 따뜻한, 부드럽고 정적 도시적, 차갑고 심플한 것으로 동일하게 평가 되었다. 반면에 면적 스모키에 대한 연상이미지는 인공적인 것(전문가 집단)과 선명하고 돋보이는 것(전공학생 집단)으로 다르게 평가되었다. 어두운 톤(dark)의 면적 스모키는 두 집단 모두 대체적으로 역동적이라는 감성평가가 나왔다. 눈 모양에 따른 메이크업 포지셔닝 맵은 스모키 메이크업을 통해 표현하고자 하는 다양한 이미지에 대한 기준을 제시하였다. 추후 다양한 눈 모양에 따른 이미지 포지셔닝 맵을 통하여 이미지 감성을 정량화 할 수 있는 기반이 될 것이다.

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