• 제목/요약/키워드: 탄성전자

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질소함유량에 따른 질화규소 박막의 특성 및 기계적 성질 (Characterization and Mechanical Properties of Silicon Nitride Films with Various Nitrogen Contents)

  • 고철호;김봉섭;이홍림;윤존도;최성룡;김광호
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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    • pp.209-209
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    • 2003
  • 기계가공용으로 개발된 3성분계 Ti-Si-N 코팅막은 약 40㎬이상의 초고경도이며, 그 미세구조는 나노입자의 TiN결정과 비정질 Si$_3$N$_4$로 이루어져 있다. Ti-Si-N 코팅의 경도는 극소량 Si를 첨가함에 따라 급격히 증가하였으며, 7.7at%에서 약 45㎬이었다. 그 이상에서는 감소하였다. 본 연구는 Ti-Si-N 코팅에서 규소첨가에 따른 박막에 형성하는 질화규소 또는 규소의 특성을 조사하기 위하여 질화규소 박막을 제조하여 그 특성 및 기계적 성질을 조사하였다. 스퍼터링 방법으로 제조한 질화규소 박막의 표면 및 내부구조를 광학현미경, 주사전자현미경, 투과전자현미경 그리고 AFM으로, 정성 및 정량을 EPMA와 EDS로, 결정성을 박막 엑스선회 절분석기로, 화학 결합구조을 XPS으로 분석하였다. 그리고 나노인덴터를 이용하여 박막의 경도와 탄성계수를 조사하였다.

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빔 에너지를 이용한 내 마모 및 내 부식성을 갖는 철망 가공 기술 (Wire netting processing technology with abrasion and corrosiveness by using Beam energy)

  • 정성찬;선경철;신영식;최정식;차인수
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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    • pp.1029_1030
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    • 2009
  • 본 논문에서는 빔 에너지를 이용하여 내 마모 및 내 부식성을 갖는 철망을 가공하여, 빔 에너지 조사 전과 후의 SEM 사진과 인장강도를 측정하여 비교, 분석 하였다. 전자빔으로 표면을 개질하기 전보다 후의 표면이 더 치밀해짐을 SEM사진을 통하여 볼 수 있었고, 인장강도를 측정 하여 개질 전과 후를 비교 하였는데, 인장강도와 관련된 탄성계수가 더 크게 나타나 전자빔 조사에 의한 샘플이 긴 수명을 갖는 요인이 분석되었다.

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공진법을 이용한 PMN-PT 단결정의 탄성, 유전, 압전상수 측정 (Measurement of all the Elastic, Dielectric and Piezoelectric Properties of PMN-PT Single Crystals)

  • 이상한;이수성;노용래;이호용;한진호
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제17권1호
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    • pp.31-38
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    • 2004
  • PMN-PT, a piezoelectric single crystal, has many useful applications such as sensors and actuators. In this paper, all the elastic, piezoelectric, and dielectric constants of the PMN-32%PT single crystals were measured by the resonance method. For the rhombohedral symmetry, a total of twelve independent material constants were measured such as six elastic compliance constants at constant electric field, two dielectric constants at constant stress, and four piezoelectric constants d. Seven sets of crystal samples of each different geometry were prepared for the measurement of length-thickness extensional, thickness extensional, radial, length extensional and thickness shear modes of vibration, respectively. In order to check the validity of the measurement, experimental impedance spectrum of the PMN-PT crystal was compared with numerical data spectrum calculated with the measured material constants. The good agreement between the two spectra confirmed validity of the results in this paper.

CMP 공정후 세정공정 여부에 따른 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막 캐패시터의 피로 특성 (Fatigue Properties of $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Film Capacitor by Cleaning Process in Post-CMP)

  • 전영길;김남훈;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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    • pp.139-140
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    • 2006
  • PZT박막은 비휘발성 재료로 유전율이 높고 항전력이 작으면서 잔류 분극랑이 크기 때문에 적합한 특성을 가지고 FeRAM에 매력적인 물질이다. CMP(chemical mechanical polishing)는 기존의 회생막의 전면 식각 공정과는 달리 특정 부위의 제거 속도를 조절함으로써 평탄화 하는 기술로 wafer 전면을 회전하는 탄성 패드 사이에 액상의 Slurry를 투입하여 연마하는 기술이다. 본 논문에서는 CMP 공정으로 제조한 PZT박막 캐패시터에서 CMP 후처리공정(세척)의 유무 및 종류에 따라 피로특성에 대하여 연구하였다, PZT 박막의 캐패시터의 피로 특성을 연구한 결과 CMP 후처리공정 SC-l용액을 사용하여 세정공정을 하였을때 가장 향상된 PZT 캐패시터의 피로특성이 나타났다.

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탄성표면파 가스센서 (Surface Acoustic Wave Gas Sensor)

  • 유범근;박용욱;강종윤;김진상;최두진;윤석진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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    • pp.251-252
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    • 2006
  • A development of surface acoustic wave gas sensor to detecting volatile gas has been observed by monitoring output signal as function of time onto the network analyzer. The SAW sensor with a center frequency of 200MHz was fabricated on $42^{\circ}$ S-T Quartz substrates. Using the gas chromatography column has been selectivity. Experimental results, which show the phase change of output signal under the absorption of volatile gas onto sensors, were presented. The proposed sensor has the properties of high sensitivity compare to the conventional SAW gas sensor and chemical selectivity. Thus, it is thought these results are applicable for use in sensor array of an high performance electronic nose system.

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탄성체의 크기 변화에 따른 L1-B4형 초음파 리니어 모터의 구동 특성 (Driving Characteristic of L1-B4 Type Ultrasonic Linear Motor by Varying the Size of Elastic Material)

  • 김행식;박태곤
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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    • pp.93-96
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    • 2004
  • An ultrasonic linear motor was composed of a slider and a stator vibrator including piezoelectric material and elastic material. The ultrasonic linear motors mainly consist of an ultrasonic vibrator which generates elliptical oscillations. L1-B4 ultrasonic linear motor use longitudinal and bending multi-vibration. In order to design stators which has high efficiency and driving characteristics, The finite element method was used to optimize dimension of ultrasonic vibrator and direction of vibratory displacement. stator vibrator of respectively width 3, 5, 7[mm] was fabricated and experimented. as results When width was 5[mm], the driving characteristics was good.

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탄성형 에폭시의 흡습에 따른 전기적인 특성 (Electrical Properties according to Moisture Absorption of Elastomer Epoxy Resin)

  • 박재열;박성희;이강원;강성화;임기조
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
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    • pp.1155-1158
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    • 2003
  • In this paper, we studied on the electrical characteristics of insulation material of elastomer epoxy. As the results of test, properties of epoxy represent differently according to elastomer contents. Also, its permittivity, tan ${\delta}$ and BDV(Break-Down Voltage) strength show big difference when those compare before moisture absorption test and after moisture absorption test. From this test we find results that mush elastomer contents can cause insulation properties to degrade.

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후방산란신호에 의한 Rayleigh 파의 속도측정 및 비파괴검사 (The Measurements of Rayleigh Velocity and the Non-Destructive Evaluation by Using Backscattering Signal)

  • 반천식;김장권;전계석
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제26권2호
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    • pp.163-168
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    • 1989
  • 본 연구에서는 Rayleigh 임계각 근처에서 발생하는 후방산란신호를 검출 함으로써 탄성매질에서 Rayleigh 파의 속도를 측정하였다. Rayleigh 각을 측정하기 위한 회전시스템을 제작하였으며 스테인레스, 황동, 알루미늄, 구리샘플에 대해서 측정된 속도는 이론값과 좋은 일치를 보였다. 후방산란신호에 의한 비파괴검사 방법을 제시하였으며 IC 샘플내부에 대한 c-scan 음향이미지를 나타내었다.

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탄성에너지를 이용한 전력보상 불연속에너지발생시스템의 운전특성에 관한 연구 (A Study on Driving Characteristics of Power Compensation Discontinuity Energy Occurrence System)

  • 박세준;임중열;윤석암;강병복;차인수
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2002년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.622-626
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    • 2002
  • Combined generation system of photovoltaic and wind power is required backup system that such as a storage battery to supply energy, when not enough photovoltaic and wind power source for power supply equally and continually, because the energy source is changeable and stable through change of weather as irradiation, temperature, wind speed, wind speed, wind direction, seasons, etc..

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흡습이 탄성형 에폭시의 기계적 특성에 미치는 영향 (Study on Mechanical and Water absorbing Property of Elastic Epoxy for Electric Use)

  • 이관우;최용성;박대희
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
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    • pp.460-463
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    • 2003
  • In this paper, we present the properties of water absorption of elastic epoxy for high voltage. The ratio of water absorption shows linearly increase according to ${\sqrt}t$ till 66 hours. And rigid epoxy is 0.053 [%], elastic epoxy at addictives 35 [phr] is 0.309 and it at addictives 70 [phr] is 0.44 [%]. The reason where absorption of elastic epoxy is high is because of micro void. It can be confirmed by SEM analysis. Dieletric constant increased linearly by addictives' concentration and tans is also increased by addictives' concentration.

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