• Title/Summary/Keyword: 타원 링

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Investigation of Growth Properties of Sputtered V2O5 Thin Films Using Spectroscopic Ellipsometry (분광타원법을 이용한 스퍼터된 V2O5 박막의 성장특성 조사)

  • Lim, Sung-Taek;Kang, Man-Il;Lee, Kyu-Sung;Kim, Yong-Gi;Ryu, Ji-Wook
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.16 no.2
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    • pp.134-140
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    • 2007
  • Optical structure of $V_{2}O_{5}$ thin films were analyzed and confirmed, the films were deposited in oxygen partial pressure 0% and 10% by RF magnetron sputtering system. Measurements of the elliptic constants were made in the range of $0.75{\sim}4.0\;eV$ by using phase modulated spectroscopic ellipsometer. The elliptic constants of the thin films were analyze by Double Amorphous dispersion relation. The calculated n, k spectra of $V_{2}O_{5}$ layer were obtained over the range of $0.75{\sim}4.0\;eV$ photon energy. SEM and XRD measurements were also made to validate the ellipsometric analysis and they give good agreement with the structural properties of the films. It was found that optical structure of the $V_{2}O_{5}$ layer has a 3 phase(roughness/film/substrate) and optical absorption properties are greatly depend on the partial pressure of the oxygen.

Thickness control of multilayer thin film deposition by in-situ ellipsometer (타원편광계를 이용한 스퍼터링으로 증착되는 다층 박막의 실시간 두께 조절)

  • 이재홍;김성화;황보창권
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.198-199
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    • 2002
  • 진공 증착장비에서 다층박막으로 구성된 광학필터를 증착할 경우, 증착되는 동안 설계된 최종 광학필터의 성능을 구현하기 위해서는 실시간으로 각각의 층들에 대한 굴절률(n)과 물리적 두께(d)를 제어하거나 또는 광학적 두께(nd)를 제어해야 한다. 광학적 두께를 제어하는 대표적인 예로 광모니터링 방법이 있는데, 증착되는 기판에 직접 빛을 입사시켜 기판에서 반사된 빛이나 투과된 빛의 세기를 측정하여 증착과정을 제어하는 방법이다. (중략)

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The properties of ion-assisted multilayer film using the in-situ ellipsometer (타원계을 사용하여 제작한 이온빔 보조 박막의 특성 분석)

  • 이재홍;김성화;황보창권
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.32-33
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    • 2003
  • 광학박막을 제작하는 많은 방법 중에서 이온빔 보조 증착방법은 이온빔을 사용해 박막에 운동량을 전달하여 주고 반응 이온빔의 산화를 촉진시켜주는 장점이 있으며, 스퍼터링은 증착입자의 에너지가 높아서 조밀하한 박막을 제작할 수 있다 그러나 단점으로 이온빔 보조 증착의 경우 증착입자가 낮은 에너지를 갖으며, 높은 에너지를 사용하는 경우 고가의 장비가 필요하게 된다. 그리고 스퍼터링의 경우 낮은 압력하에서 증착됨으로 증착률이 낮다. (중략)

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The Design of Elliptic Function Bandpass Filter using Ceramic Coaxial Resonators (유전체 동축 공진기를 이용한 타원 함수 대역 통과 여파기의 설계)

  • 김정제;윤상원
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.10 no.6
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    • pp.805-814
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    • 1999
  • In this paper, elliptic function bandpass filters using ceramic coaxial resonators are designed. Since elliptic function filters have better performance of frequency selectivity than those based on Butterworth or Chebyshev, therefore it is possible to make better use of limited frequency resources. Elliptic function bandpass filters using ceramic coaxial resonators are designed for reducing it's size, weight, cost and for easy manufacturing and tuning. From measurements, an accurate resonator model is obtained and the coupling coefficient values are extracted. Based on these results, elliptic function bandpass filters are designed. The experimental results have shown that the 8th order elliptic function filter of 959 MHz center frequency with 28 MHz bandwidth using coaxial ceramic resonators have about more tan 17 dB return loss, 5 dB insertion loss, more than 20 dB attenuation at $f_c\pm$5 MHz.

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Determination of Optical Constants of TiNx was Sputtered with RF Magnetron Sputtering Method (RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 TiNx 박막의 광학상수 결정)

  • Park, Myung Hee;Kim, Sang Yong;Lee, Soonil;Koh, Ken Ha
    • Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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    • v.12 no.3
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    • pp.77-81
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    • 2007
  • We sputtered $TiN_x$ (titanium nitride) thin films on silicon substrates using ultra high vacuum RF magnetron sputtering method, and measured spectra of ellipsometry angles ${\Delta}$ and ${\Psi}$ in the photon-energy range of 1.5-5.0 eV using a variable angle spectroscopic ellipsometer. The optical constants, refractive index and extinction coefficient of the $TiN_x$ films were determined via the dispersion parameters extracted from the curve-fitting process based on Drude+Lorentz oscillator dispersion function. The reliability of determined optical constants were verified through the comparison of between simulated reflectance and reflectance spectra measured using a spectrophotometer.

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Growth Properties of Sputtered ZnO Thin Films Affected by Oxygen Partial Pressure Ratio (산소분압비에 따른 ZnO 박막의 성장특성)

  • Kang, Man-Il;Kim, Moon-Won;Kim, Yong-Gi;Ryu, Ji-Wook;Jang, Han-O
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.17 no.3
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    • pp.204-210
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    • 2008
  • ZnO thin films were grown on a glass by RF sputtering system with RF power 100W and oxygen partial pressure of $0%{/sim}30%$. Elliptic constants were measured by using a phase modulated spectroscopic ellipsometer and analyzed with the Tauc-Lorentz dispersion formula and best fit method in the range of 1.5 to 3.8eV. Also, scanning electron microscope(SEM) was used for the analysis of surface crystallization condition. From elliptic constants spectra, optical constants, thickness and roughness of ZnO films were evaluated. Total thickness of ZnO films obtained by ellipsometry showed good agreement with SEM data. It was found that the grain size of the films were getting smaller with increasing oxygen partial pressure. Band-gap of ZnO films increase with the oxygen partial pressure. These findings clearly indicate that optical properties of ZnO films are strongly dependent on the oxygen partial pressure. It could be explained that increasing the oxygen partial pressure induced high crystalline imperfection in the ZnO films.

Development of Elliptical Fitting Based Recognition Method for Melon Harvesting Robot (참외 수확로봇을 위한 타원 정합기반의 인식 기법 개발)

  • Won, Chulho
    • Journal of Korea Multimedia Society
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    • v.15 no.11
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    • pp.1273-1283
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    • 2012
  • In this paper, vision-based positioning algorithm for melon harvesting robot is presented. RGB value of the input image was converted into HSI value then, melon area was extracted after performing the binarization using HUE value. After morphological filtering was applied to remove noise, outermost boundary points were obtained using border following and convex hull method. Elliptical fitting for melons was perform by the RANSAC algorithm, the center point of ellipse, the length of the short and long axis, and rotation angle were obtained. We verified the effectiveness of the proposed method by various simulation experiments and confirmed actual feasibility of the proposed method by applying to the real melon.

Development of the aluminum extrusion type ultra-high vacuum chamber

  • Hong, Man-Su;Ha, Tae-Gyun;Gwon, Hyeok-Chae;Han, Hong-Sik;Park, Jong-Do
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.118.1-118.1
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    • 2016
  • 포항가속기연구소 PLS-II 저장링에 설치 운용을 위한 타원편광 언듈레이터(EPU114)용 초고진공 진공 챔버는 전체를 기계가공 후 용접하여 제작하는 기존의 방식을 바꾸어 알루미늄 압출 공법을 적용한 진공 챔버의 개발과 본제품 제작을 완료하였다. 압출 공법을 이용한 초고진공용 진공 챔버 제작은 기계가공 및 용접비용의 절감과 동일 형상의 진공 챔버를 상대적으로 쉽게 대량 생산을 할 수 있는 장점이 있다. 알루미늄 압출형 초고진공 진공 챔버의 기계, 진공 특성을 달성하기 위하여 정밀금형 제작기술, 특수압출기술, 표면처리기술 등이 필수적이다. 본 발표에서는 초고진공 진공 챔버 개발을 위하여 적용된 압출 공법의 소개와 함께 압출 공법이 적용된 타원편광 언듈레이터(EPU114)진공 챔버의 제작, 초고진공 진공달성, 설치 등의 과정을 내용으로 한다.

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The Estimation of Yaw Direction of Wind Turbine Using Vision System (비전 시스템에 의한 풍력발전기의 Yaw방향 추정)

  • Jeong, Myung-Hee;Jeong, Jun-Ik;Rho, Do-Hwan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.10c
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    • pp.199-201
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    • 2006
  • 풍력발전기에 있어서 블레이드의 Yaw방향 제어는 끊임없이 변화하는 풍향에 대해 효율의 극대화와 블레이드의 강도 및 진동측면에서 대단히 중요하다. 기존의 블레이드 Yaw 방향 측정은 접촉 및 비접촉 센서가 이용되어왔다. 본 논문에서는 풍력발전기의 원격모니터링 시스템에서 기본적으로 설치되는 카메라를 이용하여 블레이드의 Yaw방향을 측정하는 방법을 제안한다. 블레이드가 풍향에 따라 회전할 때 영상 누적을 행하고, 누적영상에 대해 경계점을 추정하여 타원의 궤적을 추정한다. 추정된 경계점들을 이용하고 최소자승법을 적용하여 타원방정식을 추정하고, 장축과 단축을 연산한다. 장축과 단축의 변화를 이용하여 카메라의 촬영방향의 기준점으로부터 Yaw방향의 변화를 정량적인 값으로 산출하여 이를 바탕으로 Yaw회전각을 추정한다. Yaw 방향 추정의 검증을 위해 블레이드 속도와 Yaw 방향의 제어가 가능한 모형풍력발전기를 제작하고 실험을 통하여 제안한 추정알고리즘의 유효성을 검증한다.

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