• 대한기계학회논문집A
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• 제34권8호
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• pp.1029-1034
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• 2010

본 논문은 회전체의 진원도 및 흔들림 정밀도 측정에 관한 연구이다. 일반적으로 가공물 진원도 측정은 정밀한 회전테이블 또는 기준 원형 디스크를 필요로 하여, 고가의 비용이 소요된다. 축차2점법은 2개의 변위센서를 사용하여 직선가이드 등에서진직도 측정을 위하여 사용되었으며, 본 연구에서는 이 방법을 회전체에 적용하였다. 한 개의 디스크를 이용하여 측정된 회전체 변위 측정값에서 장치의 회전시 흔들림 오차를 제거하여 회전체의 순수한 진원도 프로파일을 측정하였다. 본 연구는 정밀한 기준 디스크 (Artifact)를 사용하지 않고 원형 가공물의 진원도 프로파일 측정에 유용할 것이다.

• 한국지반환경공학회 논문집
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• 제19권12호
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• pp.47-58
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• 2018

Duncan & Chang(1970)는 던컨-창 모델을 제안하면서 흙시료의 초기 접선계수와 극한 축차응력을 구하기 위하여 쌍곡선이론을 사용하여 삼축압축시험의 응력-변형률의 비선형관계를 변환된 변형률/축차응력-변형률의 선형관계로 재구성하였다. 그러나 변환된 응력-변형률 관계는 이론적으로 선형관계를 나타내지만, 실제로는 시험이 시작되는 변형률이 작은 구간과 시료가 파괴에 이르는 변형률이 큰 구간에서는 비선형관계를 보인다. 이러한 현상은 삼축압축시험의 응력-변형률 곡선이 완전한 쌍곡선 형태가 아님을 나타낸다. 따라서 변환된 응력-변형률 곡선의 전 구간에 대하여 선형 회귀분석을 실시하여 직선의 식을 구하게 되면, 비선형관계를 나타내는 구간의 범위에 따라 선형관계식의 산정에 편차가 발생하게 된다. 이러한 편차를 줄이기 위하여 본 연구에서는 변환응력-변형률 관계에서 비선형을 나타내는 초반과 종반 구간을 제외한 구간에 대하여 선형회귀분석을 실시함으로써 초기접선계수와 극한 축차응력을 산정하는 수정회귀분석법을 제안하였다. 수정회귀분석법을 검증하기 위하여, 풍화토의 다짐시료에 대하여 압밀-배수 삼축압축시험을 실시하였다. 삼축압축시험의 응력-변형률 곡선으로부터 구한 변환응력-변형률 관계에 대해서 수정회귀분석을 실시하여 Duncan et al.(1980)이 제안한 2점법으로 구한 결과와 비교하였다. 분석결과 수정회기분석법에 비해 Duncan의 2점법으로 산정한 초기 접선계수는 4.0% 크게, 그리고 극한 축차응력은 2.9% 작게 평가되었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.423-424
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• 2012

• 한국정밀공학회지
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• 제24권3호
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• pp.117-123
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• 2007

This paper describes a three-probe system that can be used to measure the parallelism and straightness of a pair of rails simultaneously. The parallelism is measured using a modified reversal method, while the straightness is measured using a sequential two-point method. The measurement algorithms were analyzed numerically using a pair of functionally defined rails to validate the three-probe system. Tests were also performed on a pair of straightedge rails with a length of 250 mm and a maximum straightness deviation of $0.05{\mu}m$, as certified by the supplier. The experimental results demonstrated that the parallelism-measurement algorithm had a cancellation effect on the probe stage motion error. They also confirmed that the proposed system could measure the slope of a pair of rails about $0.06{\mu}rad$. Therefore, by combining this technique with a sequential differential method to measure the straightness of the rails simultaneously, the surface profiles could be determined accurately and eliminate the stage error. The measured straightness deviation of each straight edge was less than $0.05{\mu}m$, consistent with the certified value.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.769-772
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• 2005

Five DOF motion errors of a hydrostatic bearing table driven by the coreless type linear motor were compensated utilizing the active controlled capillaries in this study. Horizontal linear motion and yaw error were simultaneously compensated using two active controlled capillaries and vertical linear motion, pitch and yaw error were also simultaneously compensated using three active controlled capillaries. By the compensation, horizontal linear motion accuracy and yaw were improved from 0.16 ${\mu}m$ and 1.96 arcsec to 0.02 ${\mu}m$ and 0.03 arcsec. Vertical linear motion accuracy, pitch and roll were also largely improved from 0.18 ${\mu}m$, 2.26 arcsec and 0.14 arcsec upto 0.03 ${\mu}m$, 0.07 arcsec and 0.02 arcsec. The compensated motion errors were within the range of measuring repeatability which was ${\pm}0.02\;{\mu}m$ in the linear motion and ${\pm}0.05$ arcsec in the angular motion. From these results, it is found that the motion error compensation method utilizing the active controlled capillaries are very effective to improve the five motion accuracies of the hydrostatic bearing tables.

• 한국정밀공학회지
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• 제22권11호
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• pp.135-141
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• 2005

Measurement of five DOF motion errors in a ultra precision feed table was attempted in this study. Yaw and pitch error were measured by using a laser interferometer and roll error was measured by using the reversal method. Linear motion errors in the vertical and horizontal directions were measured by using the sequential two point method. In this case, influence of angular motion errors was compensated by using the previously measured ones by the laser interferometer and the reversal method. The capacitive type sensors and an optical straight edge were used in the reversal method and the sequential two point method. Influence of thermal deformation on sensor jig was investgated and minimized by the periodic measurement according to the variation of room temperature. Deviation of gain between sensors was also compensated using the step response data. 5 DOF motion errors of a hydrostatic table driven by the linear motor werer tested using the measurement method. In the horizontal direction, measuring accuracies for the linear and angular motion were within ${\pm}0.02\;{\mu}m$ and ${\pm}0.04$ arcsec, respectively. In the vertical direction, they were within ${\pm}0.02{\mu}m$ and ${\pm}0.05$ arcsec. From these results, it was found that the introduced measurement method was very effective to measure 5 DOF motion errors of the ultra precision feed tables.