• 제목/요약/키워드: 초기 진공도

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다양한 활성제 이온이 치환 고용된 MgNb2O6 형광체의 특성

  • 김지선;조신호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.167-167
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    • 2013
  • 최근에 산화물 형광체는 황화물 형광체에 비해 높은 화학적 안정성을 나타내기 때문에 백색 발광 다이오드, 전계방출 디스플레이와 플라즈마 디스플레이 패널에 그 응용성을 넓히고 있다. 마그네슘 니오베이트(magnesium niobate, MgNb2O6)는 우수한 유전 특성(상대 유전상수=18.4)을 나타내기 때문에 마이크로파 유전체로 응용 가능하며, 단일상 릴랙서 페라브스카이트(relaxor perovskite) Pb(Mg1/3Nb2/3)O3을 합성하기 위한 전구체 (precursor)로 널리 사용되고 있으며, 나이오븀산염 이온에서 다양한 색상을 방출하는 활성제 이온으로 효율적인 에너지 전달이 일어남으로써 Sm3+, Dy3+, Eu3+와 같은 희토류 이온의 좋은 모체 격자로 개발할 수 있다. 본 연구에서는 마그네슘 니오베이트 MgNb2O6 모체 결정에 다양한 활성제 이온, 즉 Eu3+, Sm3+, Dy3+, Tb3+를 선택적으로 주입하여 발광 효율이 높은 천연색 형광체를 합성하고자 한다. 특히, 모체 결정에 주입되는 활성제 이온 주위의 국소적인 환경이 반전 대칭에서 변형되는 척도를 조사하여 활성제의 주 발광 파장의 세기가 최대가 되는 최적의 조건을 결정하고자 한다. Mg1-1.5xNb2O6:REx3+ 형광체 분말 시료는 초기 물질 MgO, Nb2O5와 희토류 이온을 화학 반응식에 맞게 정밀 저울로 측량하여 플라스틱 용기에 ZrO2 볼과 함께 넣고, 소정의 에탄올을 채운 뒤 밀봉하고서, 300 rpm의 속도로 20시간 볼밀 (ball-mill) 작업을 수행하였다. 그 후, 체(sieve)로 ZrO2 볼을 걸러낸 다음에 혼합된 용액을 각 비커에 담아서 $40^{\circ}C$의 건조기에서 24시간 건조하였고, 건조된 시료를 막자 사발에 넣고 잘게 갈고 80 ${\mu}m$의 체로 걸러낸 후에, 알루미나 도가니에 활성제 이온별로 각각 담아, 전기로에 장입하여 매분당 $5^{\circ}C$의 비율로 온도를 상승시켜 $350^{\circ}C$에서 5시간 동안 하소 공정을 실시한 후에, 온도를 계속 일정한 율로 증가시켜 $1,200^{\circ}C$에서 5시간 동안 소성하여 합성하였다. 합성된 형광체 분말의 결정 구조는 $Cu-K{\alpha}$ 복사선(파장: 1.5406)을 사용하여 X-선회절장치로 측정하였으며, 형광체의 표면 형상은 전계형 주사전자현미경으로 관측하였다. 흡광와 발광스펙트럼은 제논 램프를 광원으로 갖는 형광 광도계를 사용하여 측정하였다. 모체 결정에 활성제 이온 Eu3+, Sm3+, Dy3+, Tb3+가 도핑된 형광체 분말은 각각 적색, 주황색, 황색, 녹색 발광이 관측되었다. 각 발광 스펙트럼과 결정 입자의 크기와 형상 사이의 상호 관계를 조사하였다. 실험 결과로부터, 각 형광체의 발광 파장은 활성제 이온의 종류 와 서로 밀접하게 관련되어 있으며, 형광체 시료 합성시 활성제 이온의 농도를 선택적으로 조절함으로써 발광의 세기를 제어할 수 있음을 확인하였다.

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RF 플라즈마 아킹의 PM-tube를 이용한 광량 측정

  • 김용훈;장홍영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.125-126
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    • 2010
  • 플라즈마 아킹은 PECVD, 플라즈마 식각 그리고 토카막과 같은 플라즈마를 이용하는 여러 공정과 연구 분야에서 문제점을 야기시켜왔다. 하지만, 이에 대한 연구는 아킹 현상의 불규칙성과 과도적인 행동으로 인해 미비한 상태이다. 특히, RF 방전에서의 아킹 연구는 DC 방전에서의 아킹 연구에 비해 많이 부족한 것이 현실이다. 플라즈마 아킹은 집단전자방출(collective electron emission)에 의한 스파크 방전(spark discharge)현상이다. 집단전자방출은 전계방출(field emission)이나 플라즈마와 쉬스를 두고 인접한 표면위에서의 유전분극(dielec emission)에 의해 발생한다. 이렇게 방출된 집단 전자들은 쉬스에서 가속되어 에너지를 얻게 되고 원자와의 충돌로 전자 아발란체를 일으킨다. 이렇게 배가된 전자들은 아킹 스트리머(arcing streamer)를 형성하게 되고 아킹 발생 시 높은 전류와 공정 실패의 원인이 된다. 우리는 $30cm{\times}20cm$ 크기의 사각 전극을 위 아래로 가진 챔버에서 Ar 가스를 RF(13.56 MHz)파워를 이용해 방전시켰다. 방전 전압과 전류는 파워 전극 압단에서 High voltage probe (Tektronix P6015A)와 Current probe (TCPA300 + TCP312)를 이용해 측정했다. 플라즈마 아킹시 변하는 플라즈마 플로팅 포텐셜은 챔버 중앙에 위치한 랑뮈프 프로브에 의해 측정되고 챔버 옆의 뷰포트 앞에 위치한 PM-tube를 이용해 아킹시 변하는 광량을 측정한다. RF 방전에서의 플라즈마 아킹은 아킹시 플로팅 포텐셜의 변화에 의해 크게 세부분으로 나눌 수 있다. 아킹 발생과 동시에 급격히 감소하는 감소부분 (약 2us) 그리고 감소한 포텐셜이 유지되는 유지부분 (약 0~10ms) 그리고 감소했던 포텐셜이 서서히 원래 상태로 회복되는 회복부분(약 100 us)이다. 아킹 초기시 방출된 집단 전자들과 원자들간의 충돌에 의해 형성된 아킹 스트리머는 플라즈마 전체를 단락시키게 되고 이로 인해 플로팅 포텐셜은 급격히 감소하게 된다. 이렇게 감소한 플로팅 포텐셜은 아킹 스트리머가 유지되는 한 계속 감소한 상태를 유지하게 된다. 그리고 플라즈마를 섭동했던 아킹 스트리머가 중단되면 플라즈마는 섭동전의 원래 상태로 돌아가려 하기 때문에 플로팅 포텐셜은 서서히 증가하면서 원래 상태로 회복된다. 플라즈마 아킹 발생시 생성되는 아킹 스트리머는 순간적으로 많은 전자들을 국소적으로 생성하게 되고 이 전자들에 의해 광량이 순간적으로 증가하게 된다. PM-tube (750.4 nm)에 의해 측정된 아킹시 광량은 정상방전 상태의 두배 가량이 된다. 그리고 이 순간적으로 증가된 광량은 시간이 지남에 따라 감소하게 되고 정상방전 일때의 광량이 된다. 광량이 증가한 후 정상방전 상태의 광량에 이르는 부분은 플로팅 포텐셜이 감소한 상태에서 유지되는 부분과 일치하고 이는 플로팅 포텐셜의 유지부분동안 아킹 스트리머가 발생하고 있다는 간접적인 증거가 된다. 그리고 정상 방전 상태 일때의 광량이 되면 아킹 스트리머가 중단되었다는 것이므로 그 시점부터 플로팅 포텐셜은 정산 방전상태 일 때의 포텐셜로 복구되기 시작한다. 이처럼 PM-tube를 이용한 아킹 광량 측정은 아킹 스트리머를 간접적으로 측정하게 하고 아킹 스트리머를 이용해 아킹시의 플로팅 포텐셜의 변화를 설명하게 해 준다. 응용적인 측면에서 아킹 광량 측정을 이용한 아킹 판독은 방전 전류와 방전 전압과 같은 전기적 신호를 이용한 아킹 판독에 비해 여러가지 장점을 가진다. 우선, 전기적 신호를 이용한 아킹 판독처럼 매칭 회로나 플라즈마를 섭동시키지 않는다. 그리고 원하는 부분의 아킹만을 판독하는 것도 가능하며 photo-diode를 이용할 경우 전기적 신호를 이용하는 것에 비해 경제적으로 유리하다.

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고선량 감마선 조사가 즉석 취식용 양념 돼지 갈비 구이의 저장성 및 지질 산화에 미치는 영향 (Effects of High Dose Gamma Irradiation on Shelf Stability and Lipid Oxidation of Marinated and Precooked Pork Rib Steak)

  • 이주운;박재남;김재훈;박진규;김천제;김관수;변명우
    • 한국축산식품학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.471-477
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    • 2006
  • 본 연구는 사막이나 우주 등 극한 환경에서도 취식이 가능한 즉석 양념 돼지 갈비 구이의 저장 안정성 확보를 위한 고선량 조사 적용을 평가하기 위해 실시하였다. 이를 위해 즉석 양념 돼지 갈비 구이를 제조하여 진공 포장한 후 10, 20, 30, 40 및 50 kGy로 조사하고 $35^{\circ}C$에서 가속 저장하면서 미생물 생육과 지질 산패도를 평가하였다. 가열처리에 의해 약 3 Log CFU/g의 미생물 감소 효과를 얻을 수 있었으나, 완전 사멸시키지는 못했다. 감마선 조사에 의해 저장 초기 미생물 생육은 관찰되지 않았으나, 저장 기간이 경과함에 따라 10, 20, 30 kGy조사구에서 저장4일, 7일, 14일에 미생물 생육이 관찰되었다. 오염 미생물의 최대성장률 예측 결과에서 비조사구, 10, 20, 30 kGy 감마선 조사구의 최대 성장률이 1.13, 0.60, 0.52, 0.18 Log CFU/g/day로 나타나, 감마선 조사에 의한 초기 미생물 감소가 저장성 증진에 크게 효과적인 것으로 판단되었다. 그러나 가속 저장 중 malondialdehyde 함량은 저장 기간이 경과함에 따라 모든 처리구에서 증가하였고, 특히 감마선 조사에 의해 심한 지질 산화가 발생되는 것으로 나타났다. 따라서, 고선량 조사 적용시 품질 변화 없이도 육가공품의 완전멸균을 위해서는 다양한 식품 가공 방법과의 병용 처리 연구가 수행되어야 할 것이다.

성형미세구조가 반응소결 탄화규소체의 소결미세구조 및 기계적 특성에 미치는 영향 (Effect of Green Microstructure on Sintered Microstructure and Mechanical Properties of Reaction-Bonded Silicon Carbide)

  • 박현철;김재원;백운규;최성철
    • 한국세라믹학회지
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    • 제36권1호
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    • pp.97-105
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    • 1999
  • 탄화규소와 카본의 이성분계에서 pH, 계면활성제 및 출발원료의 입도 분포를 이용하여 성형체의 기공크기 및 기공을 제어에 관한 연구를 수행하였다. 성형체는 각각 다른 분산조건을 가지는 슬러리를 이장성형법을 이용하여 제조하였으며, 입자간의 응\ulcorner제어에 따른 상이한 성형미세구조를 가지도록 하였다. 제조된 성형체에 대하여 반응소결 공정은 1$600^{\circ}C$, 진공분위기에서 20분간 응용 실리콘 침윤 공정을 행하였다. 초기 성형 미세구조가 반응소결체의 미세구조에 미치는 영향을 관찰하기 위하여 광학 현미경 및 SEM 분석을 통하여 제조된 소결체의 미세구조를 분석하였으며, 그리고 이에 따른 반응 소결체의 기계적 특성을 평가하였다. 각각의 분산조건에 따라 성형미세구조는 다르게 나타났으며, 미세한 탄화규소를 입자를 사용하였을 경우에 기공크기가 현저하게 작아짐을 확인하였다. 제조된 반응소결체의 미세구조 분석결과 일반적인 반응소결 탄화수소에서 발견되는 bimodal 미세구조는 관찰되지 않았으며, 이는 초기 탄화규소의 카본의 비가 중요항 변수인 것으로 분석하였다. 반응소결 탄화규소의 3-점 곡강도 값은 입자간의 분산이 잘 이루어진 성형체를 사용하였을 경우 310$\pm$40 MPa으로서 응집이 일어난 성형체를 사용한 반응소결체의 260$\pm$50MPa 보다 높았다.

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참가자미의 저장 중 오염미생물 Staphylococcus aureus와 Escherichia coli의 생육에 미치는 Chitosanascorbate의 영향 (Inhibitory Effects of Chitosanascorbate on Growth of Staphylococcus aureus and Escherichia coli Contaminated in Flounder during Storage)

  • 김영숙;오승희;김순동
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제16권1호
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    • pp.128-133
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    • 2009
  • 참가자미의 저장 중 오염미생물(total aerobacter, Staphylococcus aureus, E. coli)의 생육에 미치는 0.1% chitosan-ascorbate (CA) 의 영향을 조사하였다. 참가자미는 아가미를 제거한것(OG)과 제거하지 않은 것(WG), 건조도를 0%(0 D), 20% 건조(20 D), 40% 건조(40 D)로 구분하였으며 처리 후 진공 포장하여 $5^{\circ}C$에서 10일간 저장하였다. 저장중 총호기성 균수(log CFU/g)는 OG가 WG에 비하여 0.29-0.44 log cycle이 낮았다. S. aureus(log CFU/g)는 CA처리구가 무처리에 비하여 0.13-0.14 log cycle이 억제되었으며, E. coli에서도 0.3-0.43 log cycle이 낮았다. 0 D, 20 D 및 40 D를 비교한 결과, total aerobacter, S. aureus 및 E. coli 모두 20D에서 가장 낮았으며 total aerobacter의 경우는 생것에 비하여 0.13-0.53 log cycle이 억제되었다. 건조도 20 D의 CA처리는 무처리에 비하여 0.13-0.53이 억제되었다. 40 D에서도 CA 처리는 무처리에 비하여 0.3-0.88 log cycle이 감소되었다. 참가자미로부터 분리한 S. aureus의 배양액에 CA를 첨가한 결과 세포가 붕괴되어 사멸해가는 것을 볼 수 있었다. 배양초기와 중기(3-6 hr)에 CA의 첨가는 생육을 68-90% 억제하였으나 배양후기(24 hr)에는 46%가 억제되었다. E. coli에서는 배양초기와 중기(3-6 hr)에는 75-96%가 억제되었으며, 배양후기에는 54%가 억제되었다. 본 연구에서 CA는 E. coli와 S. aureus 모두를 저해하지만 E. coli의 생육이 더 크게 저해되었다.

기능성 고등어 Fillet제조 및 저장 중 품질 변화 (Processing of Functional Mackerel Fillet and Quality Changes during Storage)

  • 신석우;장미순;권미애;서호준
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.22-27
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    • 2004
  • 고등어 fillet 제품의 저장 중 항산화와 기능성을 부여하고 고등어 특유의 비린내를 제거하기 위해 식염 외에 녹차, dill weed, 키토산, 올리고당, 생강을 첨가하여 진공포장한 후 5$^{\circ}C$, $0^{\circ}C$, -2$0^{\circ}C$에 80일간 저장하면서 제품 특성을 조사하였다. 5$^{\circ}C$에 저장한 고등어 fillet의 휘발성 염기질소 측정 결과는 이들 첨가물을 단독 또는 복합적으로 첨가한 시제품에서 2주 이내에 초기부패에 도달했고, $0^{\circ}C$에서는 4∼7주, -2$0^{\circ}C$에서는 저장 80일간 모든 시제품에서 신선도를 유지할 수 있었다. 이들 첨가물 가운데서도 키토산과 올리고당을 첨가한 시제품이 가장 신선도가 양호함을 알 수 있었다. 항산화성은 초기 과산화물가가 5.4∼7.8 meq/kg 이었던 것이 5$^{\circ}C$ 저장시 35일째 15.7∼20.4 meq/kg, $0^{\circ}C$ 저장시 49일째 13.9∼18.4 meq/kg, -2$0^{\circ}C$ 저장시 80일째 11.6∼20.2 meq/kg으로 저온 일수록 산화속도가 늦었고 각각의 저장온도에서도 녹차, dill weed, 생강, 키토산, 올리고당을 첨가한 시제품에서 가장 산화속도가 늦었다. 친유성 갈색도는 -2$0^{\circ}C$에서 80일 저장기간 동안 거의 변화가 보이지 않았고 5$^{\circ}C$$0^{\circ}C$에서는 저장기간이 연장됨에 따라 갈색도는 증가하는 경향을 나타내었다. 저장 중 생균수 변화는 5$^{\circ}C$$0^{\circ}C$에서는 저장 21일째 각각 부패균수에 도달하였고 -2$0^{\circ}C$에서는 저장 80일째까지 생균수 변화는 보이지 않아 신선도 유지가 가능하였다. 관능검사 결과는 5$^{\circ}C$저장시 14∼21일, $0^{\circ}C$저장시 28∼49일 점질물이나 산패취가 발생하여 상품적 가치를 상실하였고, -2$0^{\circ}C$에서는 80일간 저장기간 동안에 이들 변화는 나타나지 않았다.

탈산소제에 의한 반염건고등어 저장중의 품질안정성 (The Storage Stability of Semi-Salted and Dried Mackerel by Free-Oxygen Absorber)

  • 이응호;정영훈;주동식;김정희;오광수
    • 한국수산과학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.131-138
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    • 1985
  • 다획성적색육어류에 속하는 고등어를 효율적으로 이용하기 위한 방안의 하나로서 즉석에서 그대로 조리하여 먹을 수 있도록 알맞은 수분함양과 식염함양이 적은 반염건고등어를 제조하여 함기포장한 것을 대조제품으로 하고 탈산소제를 봉입한 포장제품을 진공포장제품, 질소치환포장제품과 비교하여 저장중의 품질안정성에 대하여 검토하였다. pH는 전제품이 $6.1{\pm}0.2$의 범위내에서 저장중 약간의 증감이 있었으며, 휘발성염기질소와 아미노질소는 전제품이 저장중 증가하는 경향이었다. 특히 탈산소제봉입포장제품은 휘발성염기질소의 증가폭이 낮았다. 색조는 저장중 전제품이 L값(명도)이 약간 감소한 반면에 a값(적색도) 및 b값(황색도)은 증가하는 경향이었다. 그리고 함기포장제품(대조제품)의 경우 생균수는 저장 15일경에 $3{\times}10^6/g$에 달하였으나 진공, 질소치환 및 탈산소제봉입포장제품은 저장20일까지도 $2{\sim}6{\times}10^5/g$범위였다. TMAO는 저장중 감소하고 TMA는 증가하는 역상관관계를 나타내었으며, histamine은 전제품 모두가 16mg/100g이 하였다. 또한 핵산관련물질은 초기에 IMP가 축적되었으나 저장기간이 경과함에 따라 IMP가 분해되고 이노신과 하이포크산틴이 축적되었다. TBA값은 함기포장제품의 경우 저장 9일째 최고값을 나타내다가 감소하였으며, 진공포장제품과 질소치환포장제품은 저장 9일째 최고값을 나타내었으나, 함기포장제품의 경우보다 1/2 정도로 낮았다. 그러나 탈산소제봉입포장제품은 저장중 거의 변화가 없었으며, 과산화물 값도 비슷한 경향이었다. 생시료는 포화지방산이 $35.6\%$, polyene 산이 $34.2\%$, monoene 산이 $30.3\%$였고 oleic acid가 $20.2\%$로 가장 많았고 다음으로 palmitic acid, docosahexaenoic acid, eicosapentaenoic acid순이였다. 저장중 포장방법에 관계없이 고도불포화지방산($C_{20:5},\;C_{22:6}$)이 감소하는 반면에 $C_{16:0},\;C_{18:1}$은 다소 증가하는 경향을 나타내었으나, 탈산소제봉입포장제품이 고도불포화지방산의 보존효과가 가장 좋았다. 관능검사 결과, 함기포장제품은 저장 9일째에 선도저하에 의한 이취로 식용할 수 없을 정도였으나, 진공포장, 질소치환포장제품 및 탈산소제봉입포장제품은 저장 15일까지도 식용가능하였다. 특히 탈산소제봉입포장제품은 진공포장제품 및 질소치환포장제품과 마찬가지로 품질보존효과가 우수하다는 결론을 얻었다.

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Epoxy Bonding Film 표면 개질과 도금공정을 이용한 미세패턴형성에 관한 연구 (The Study on Fine-Pitch Pattern Formation Using epoxy bonding film Surface modification and Semi-additive Method)

  • 김완중;박세훈;정연경;이우성;박종철
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.165-165
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    • 2009
  • 현재 반도체나 이동통신 분야는 사용자의 요구에 따라 PCB의 회로선폭이 갈수록 좁아지고 있다. 이러한 정밀 부품을 제조하기 위한 제조공정에서 각광받기 시작한 기술 중 하나가 대기압 플라즈마 기술이다. 본 연구에서는 미세패턴 형성이 가능한 에폭시 본딩 필름위에 무전해 도금공정을 통한 패턴 도금법을 이용하여 패턴을 형성하였고, 형성된 패턴에 대기압 플라즈마 처리 횟수에 따른 접촉각(Contact Angle)과 Peel Strength의 변화를 분석하였다. 또한 에폭시 본딩 필름을 이용한 Build-up공정을 거쳐 Micro Via를 형성하여 대기압 플라즈마 처리 횟수에 따른 Via 표면을 분석하였다. 대기압 플라즈마 기술은 진공식에 비해 소규모 장비를 이용한 전처리가 가능하고, 초기 설비비용을 절감하는데 탁월한 효과가 있어 널리 사용하는 기술 중 하나이다. 이 연구를 통하여 대기압 플라즈마 처리 횟수에 따른 표면에너지의 변화로 인한 접촉각이 좋아지는 것을 알 수 있으며, 대기압 플라즈마 처리를 한 패턴표면이 친수성으로 변하면서 현상된 드라이 필름 사이로 도금액이 원활히 공급되어서 미세패턴 모양이 우수하게 구현되었음을 알 수 있었다. 또한 Via Filling에도 뛰어난 효과가 있었음을 확인할 수 있었다.

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수출용 진공포장 냉장 돈육 등심의 육색, TBARS 및 VBN 변화 (Meat Color, TBARS and VBN Changes of Vacuum Packaged Korean Pork Loins far Export during Cold Storage)

  • 최염순;조수현;이성기;이민석
    • 한국축산식품학회지
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    • 제22권2호
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    • pp.158-163
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    • 2002
  • 한국산 수출용 냉장 등심을 2$^{\circ}C$에 50일간 저장하면서 육색, TBARS 및 VBN의 변화를 5일~ 10일 간격으로 조사하였으며, 그 결과는 다음과 같다. 육색 변화에서 명도는 II와 III업체시료가 유의적으로 높았고, 저장기간에 따라 저장 35일까지 유의적으로 증가하다가 이후 감소하였다. 선도변화에서 TBARS 값이 저장 초기에는 I업체와 II업체 시료가 서로 비슷한 수준이었으나, 저장 40일 이후부터는 II업체와 III업체 시료가 I 업체 시료보다 높은 수준으로 나타났다. VBN 값은 수출업체간에 차이가 없었고, 저장기간이 경과함에 따라 유의적으로 증가하였다.

뉴로모픽 기반의 저항 변화 메모리 소자 제작 및 플라즈마 모듈 적용 공정기술에 관한 융합 연구 (Convergence Study on Fabrication and Plasma Module Process Technology of ReRAM Device for Neuromorphic Based)

  • 김근호;신동균;이동주;김은도
    • 한국융합학회논문지
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    • 제11권10호
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    • pp.1-7
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    • 2020
  • 뉴로모픽 소자 초기 단계인 저항 변화형 메모리 소자의 제작 공정으로, 진공 공정의 연속성을 유지하였고, 고집적, 고신뢰성을 보장하는 뉴로모픽 컴퓨팅을 위한 저항 변화 메모리 소자 제작 및 공정 기술에 적합한 플라즈마 모듈을 적용하였다. 플라즈마 모듈을 적용한 저항메모리(ReRAM) 소자의 제작과 연구는 ReRAM 소자 기반의 TiO2/TiOx 산화물박막의 제작방법과 소재의 변화를 통한 다양한 실험을 통하여 완성되었다. XRD를 이용하여 rutile결정을 측정하였고, 반도체 파라미터 측정기로 저항 메모리의 HRS : LRS 비율이 2.99 × 103 이상이고, 구동 전압 측정이 0.3 V이하에서 구동이 가능한 저항 변화형 메모리 소자의 제작을 확인 하였다. 산소 플라즈마 모듈을 적용한 뉴로모픽 저항메모리 제작과 TiOx 박막을 증착하여 성능을 확인하였다.