• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.545-545
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• 2012

집속이온빔장치(FIB: Focused Ion Beam System)에 사용하는 액체금속이온원(LMIS: Liquid Metal Ion Source)은 고 전류밀도, 고 휘도, 낮은 에너지퍼짐 등 많은 장점이 있다. 집속이온빔장치는 주로 표면 분석, 집적 회로의 수정, 마스크 교정(Repair) 및 잘못된 부분의 분석(Failure Analysis) 등에 사용되고 있는데 최근에는 고 분해능의 이온빔 리소그래피와 이온 주입의 기술 및 미세가공 기술 등의 분야에 집중되고 있으며 이를 위해서는 집속이온빔장치의 수렴성(Convergence)을 개선해 나가는 것이 중요하다. 집속이온빔장치의 수렴성은 이온빔의 에너지 퍼짐(Energy Spread)과 각 분포(Angular Distribution)에 많은 영향을 받으며 에너지퍼짐 특성은 색수차에 직접적인 영향을 준다. 수렴성을 개선하기 위해 기존의 에미터(Emitter), 저장소(Reservoir), 추출극(Extractor)으로 제작된 액체금속이온원에 서프레서(Suppressor)라는 새로운 전극을 사용하여 이 전극의 유 무에 따른 각 분포의 변화에 대해 연구하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 2004.04a
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• pp.500-503
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• 2004

본 연구에서는 금속 원자를 단열 팽창시켜 클러스터를 만들고, 생성된 클러스터를 이온화시킨 후 집속렌즈 및 electric quadrupole을 이용하여 기판으로 증착 하였다. 집속렌즈의 설계에서는 단일 초점 방식의 렌즈보다 성능을 높이기 위하여 이중 초점과 핀홀을 써서 집속 효과 및 효율을 높였다. 렌즈의 설계는 일반적으로 하전입자의 에너지 손실 없이 집속할수 있는 Einzel 렌즈를 기본으로 하였으며, SIMION software 를 사용하여 시뮬레이션 하였다. 시뮬레이션 후 실제 렌즈계 및 정전압원을 제작하여 금(Au)의 클러스터를 생성하여 렌즈계를 통과한 후 실제 기판위로 증착이 되는 것을 AFM(Atomic force microscopy)과 XPS(X-ray photoemission spectroscopy)를 이용해 조사하여 렌즈계가 실제로 동작함을 확인하였다.

• Journal of the KSME
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• v.57 no.1
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• pp.37-41
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• 2017

이 글에서는 대표적인 고에너지 입자빔 기반의 나노가공방법 중에 하나인 집속 이온빔 시스템(focused ion beam system)에 대해 소개하고 이의 응용분야 및 앞으로의 발전 가능성에 대해 논의하고자 한다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.25 no.3
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• pp.23-31
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• 2008

• The Science & Technology
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• v.12 no.7 s.122
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• pp.22-27
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• 1979

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.3
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• pp.304-313
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• 1993

집속 이온빔 기술은 고해상도의 이온빔 리토그라피, 마스크가 필요없는 이온주입, 그리고 Ion beam induced deposition 등 반도체 소자의 미세가공에 널리 이용되어 왔다. 좋은 안정도와 높은 전류밀도, 적은 에너지 퍼짐 그리고 낮은 에미턴스와 높은 선명도를 갖는 집속 이온빔 장비를 위한 액체 갈륨 이온원이 한국에서 개발 시업되었다. 이온빔의 전압이 15kV, 렌즈전압이 7kV 그리고 렌즈상단에 위치한 aperture의 직경이 0.2mm일 때, 0.1$mu extrm{m}$의 빔 직경으로 집속되는 정전 einzel렌즈가 설계 조립되었고, FIB 진공 chamber는 렌즈부와의 차 등 진공시스템으로 구성되어 설계제작되었다. FIB 장비가 조만간 한국에서 이온빔 밀링, ion beam induced deposition 그리고 잘못된 부분의 수정 등 반도체 제작공정에서의 응용에 큰 기여를 할 것이라 기대된다.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.29 no.2
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• pp.114-121
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• 2009

Ultrasonic guided waves have been widely utilized for long range inspection of structures. Especially, development of array guided waves techniques and its application for long range gas pipe lines(length of from hundreds meters to few km) were getting increased. In this study, focusing algorithm for array guided waves was developed in order to improve long range inspectability and accuracy of the array guided waves techniques for long range inspection of gas pipes, and performance of the developed techniques was verified by experiments using the developed array guided wave system. As a result, S/N ratio of array guided wave signals obtained with the focusing algorithm was increased higher than that of signals without focusing algorithm.

• The Journal of Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
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• v.9 no.1
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• pp.45-48
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• 2016

The treatment of obesity have been developed various devices for the treatment of obesity, the ultrasound is to be made after the state changes to become easy fat decomposition by heat and vibrations to facilitate the flow of blood and lymph fatty acid released into the blood. There is such ultrasonic transducer array is used in obesity therapy focusing angle of the transducer array and the frequency may have a significant impact on the degradation of fat. In this paper, we set the frequency that reaches the shortest time to a set temperature 27kHz, 1MHz, by applying a transducer with a diameter of 5mm, 10mm, 16mm for the frequency of 3MHz, obtain the wavelength and near the stomach in order to set the frequency of the transducer array, which was set to the focusing angle of the transducer with three contact surfaces. As a result, the time to reach the set temperature was short days when 3MHz frequency, the focusing angle is titrated is $40^{\circ}$.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.35 no.2
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• pp.134-140
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• 2015

Traditional moxibustion therapy can cause severe pain and leave scarring burns at the moxibustion site as it relies on the practitioner's subjective and qualitative treatment. Recently, ultrasound therapy has received attention as an alternative to moxibustion therapy owing to its objectiveness and quantitative nature. However, in order to convert ultrasound energy into heat energy, there is a need to precisely understand the ultrasound-focusing characteristics of the acoustic lens. Therefore, in this study, an FEM simulation was performed for acoustic lenses with different geometries a concave lens and zone lens as the geometry critically influences ultrasound focusing. The acoustic pressure field, amplitude, and focal point were also calculated. Furthermore, the performance of the fabricated acoustic lens was verified by a sound pressure measurement experiment.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.31 no.4
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• pp.367-373
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• 2011

Guided waves inspection techniques that are different with inspection technique by bulk waves are widely used in pipe line evaluation due to advantages of long distance inspection. However, most of pipe lines at industrial fields are buried and/or coated. In this case, due to the attenuation effect from soil and/or coating material, there are a lot of difficulty on inspection by conventional ultrasonic technique. In this paper, guided waves propagating patterns are calculated with respect to excitation mode by Normal Mode Expansion(NME). Guided waves patterns based on excited by single transducer and guided wave focusing technique have employed to analyze focusing pattern on a pipe. A longitudinal mode and high order flexural modes are used with various number of transducers to determine sensitivity. Guided waves energy excited by multi transducer with focusing algorithm was successfully focused at a desired point.