Journal of the KSME (기계저널)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)
권호 표지

집속 이온빔 기술

  • 윤관호 (포항공과대학교 기계공학과) ;
  • 노준석 (포항공과대학교 기계공학과/화학공학과)
  • Published : 2017.01.01
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Abstract

이 글에서는 대표적인 고에너지 입자빔 기반의 나노가공방법 중에 하나인 집속 이온빔 시스템(focused ion beam system)에 대해 소개하고 이의 응용분야 및 앞으로의 발전 가능성에 대해 논의하고자 한다.

Keywords