• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2003년도 춘계학술대회논문집
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• pp.1115-1121
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• 2003

The vibration isolation table system for the high precision Processing machinery has been developed. The system uses air spring as its isolation elements. An investigation of the model and the test results showed that the diaphragm has a role in the mathematical model. The vibration levels at various floors in the laboratory were investigated during operating the large shaking table for the selection of optimum installation location. The vibration test on the designed system showed good isolation performances.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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• pp.29-33
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• 2007

최근의 반도체/display 관련 생산장비 및 검사장비들이 대형화/고속화 되어감에 따라 과거 stepping 방식에서 scanning 방식으로 전환된 장비들이 공정 상에 발생하는 과도응답 형태의 진동으로 인하여 제품 수율의 저하와 생산 효율의 감소를 가져오고 있다. 이러한 과도응답의 진동은 장비 자체의 가진력으로부터 발생하므로 건물 구조의 동강성 증대 방안이나 고효율의 방진 시스템 적용으로는 한계를 가지고 있다. 본 논문에서는 smart 재료인 MR유체를 이용한 MR damper를 이용하여 방진효율을 유지하면서 과도응답의 진동을 제어하기 위한 반 능동제어 방식의 방진/제진 시스템을 구성하였으며, 시스템 해석과 제어 시스템의 구성을 위하여 6자유도 강체 진동에 대한 운동방정식을 고려하였다.

• 한국항공우주학회지
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• 제38권9호
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• pp.882-889
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• 2010

수동형 진동제어 방식과 같이 시스템이 안정되며, 수동형에 비해 높은 제진 효과가 기대되는 반능동 진동제어 방식은 시스템의 안정화가 요구되는 우주구조물의 제진방법에 유효한 진동제어 방식중 하나이다. On-Off 제어방식에 근거한 반능동 제어는 On-Off 스위칭 시에 전달력의 불연속성으로 인한 chattering을 발생시킬 수 있으며, 이는 탑재체 구조물의 고유진동수와의 커플링으로 인하여 지향성능을 저하시키는 원인으로 작용할 수 있다. 본 논문에서는 chattering 영향 최소화를 통한 지향성능향상을 목적으로 LQ(Linear Quadratic)이론에 기반한 가변 감쇠형 반능동 제어기법을 제안하였다. 시뮬레이션 결과는 본 논문에서 제안한 반능동 제어기법은 기존의 skyhook와 LQ를 기반으로 하는 Bang-Bang 반능동 제어기법과 비교하여 높은 진동절연 성능을 나타내고 있다.

• 항공우주기술
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• 제7권2호
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• pp.76-81
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• 2008

우주환경시험팀에서는 발사환경 시 진동 시험을 위해 진동 테스트 장비를 운영 중에 있으며 이를 이용하여 여러 위성 프로그램의 환경시험을 성공적으로 수행하였다. 발사체 및 대형위성의 진동시험을 위한 대형 전자기 시스템의 요구를 충족시키기 위해, 직경 3m급 헤드익스펜더를 가진 대형 멀티 전자기 가진 시스템을 개발하고 있다. 개발 시스템은 160 kN의 추력을 가진 3대의 가진 시스템으로 구성되어 있으며 최대 8톤급 시험체의 진동시험과 300 kNm의 횡 하중 지지할 수 있도록 설계되었다. 본 연구에서는 대형 멀티 전자기 가진 시스템 개발 과정에서 요구되는 각 요소의 설계에 대한 연구 결과를 소개하고자 한다.

• 한국산업융합학회 논문집
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• 제6권3호
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• pp.261-266
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• 2003

이 논문에서는 반능동 진동 흡수기를 통합 시트/섀시 현가 장치에 확대, 적용하여 그 성능을 조사하였다. 통함 현가시스템의 성능분석을 위해 집중 인체질량과 함께 실험적으로 입증된 한 비선형 시트 쿠션 모델을 도입하였다. 또한 3 자유도 시트/섀시 현가시스템의 효과적인 진동제어를 위해 리아푸노브 바이스테이트 제어법칙을 사용하였다. 시뮬레이션결과 반능동 통합 현가장치는 시트 쿠션 모델과 관계없이 운전자의 승차감과 관련 있는 시트의 절대가속도 크기와 시트쿠션의 시트 트랙에 대한 상대변위를 상당히 감소시킬 수 있음을 알 수 있었다. 그러나, 주로 사용되어온 선형 쿠션 모델을 사용한 경우보다 비선형쿠션 모델을 사용한 경우의 제진성능이 약간 저조함을 알 수 있었다. 따라서, 자동차 시트 설계시 성능분석을 위해서는 실제의(비선형의) 시트 쿠션 특성을 적용해야 함을 알 수 있다.

• 한국지진공학회논문집
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• 제19권6호
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• pp.273-282
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• 2015

In this study, shaking table test has been carried out for the dual frame passive control system for seismic performance verification of the proposed system. The proposed system was separated into two independent frameworks that are strength resistant core and frame structure by connecting to the damper. Moreover, the seismic performance improvement of the proposed system has been verified by comparing and analyzing the experimental results of the proposed system with an existing core system. As a result of the shaking table test, acceleration and displacement responses of dual-frame vibration control system are decreased than those of the existing strength resistant type core system. In the case of the core system, while the damage was concentrated on the column of first floor, the damage of the dual system was dispersed in each layer. The damage also was concentrated on the damper, almost no damage occurs to the structural members. It has been emphasized that installed dampers in the proposed dual system reduce the input energy of whole structure by absorbing seismic input energy, which leads overall system damage to be reduced.

• 한국정밀공학회지
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• 제24권3호
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• pp.124-133
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• 2007

Active vibration isolation systems need the following performance specifications which are different from those of existing positioning systems: usage of seismic sensors, strict suppression of phase lead/lag in signal processing for sensors and actuators, excellent control in low frequency range and so on. In consideration of such specifications, a 3-DOF precision stage for vibration isolation is designed and modeled based on the physical characteristics. Then the major parameters such as spring constants and damping coefficients are valued by the system identification method using empirical transfer function. Finite element analysis is used as a verification and simulation tool throughout this research. This paper lays the foundation for the future research on the control of the active vibration isolation system.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2006년도 추계학술대회논문집
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• pp.925-933
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• 2006

Using the physics-based model for the vibration isolation system, the model uncertainties are described. With the model including parameter perturbations, the robust controller to meet the robust performance and stability is designed through $\mu$-synthesis by DK-iteration. The order of controller is reduced by virtue of Hankel norm approximation technique to allow the efficient implementation in the real-time experimental environment without any performance degradation. The performance of the reduced $\mu$-controller is accessed in comparison with the original one. The experiments validate the superiority of the proposed control scheme against the model uncertainties and its applicability with varying payload.

• 한국소음진동공학회논문집
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• 제16권12호
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• pp.1262-1271
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• 2006

Using the physics-based model for the vibration isolation system, the model uncertainties are described. With the model including parameter perturbations, the robust controller to meet the robust performance and stability is designed through $\mu$-synthesis by DK-iteration. The order of controller is reduced by virtue of Hankel norm approximation technique to allow the efficient implementation in the real-time experimental environment without any performance degradation. The performance of the reduced $\mu$-controller is accessed in comparison with the original one. The experiments validate the superiority of the proposed control scheme against the model uncertainties and its applicability with varying payload.

• 한국정밀공학회지
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• 제21권10호
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• pp.137-146
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• 2004

This is the second of two companion papers concerned with the analysis and design of a pneumatic vibration isolation system. The properties of the system are clarified by observation of the transmissibility surface calculated by the models and algorithm developed in the first paper of this research. It Is shown that the nonlinear model proposed in this research is more closer to experimental results than the linear model that have been used in previous studies. The design optimization of the major design variables that affect the performance of the system is achieved by using the condition for attenuation, disturbance rejection and maximum damping in resonance peak. The design space search method is adopted for the optimization of the orifice area. The models, transmissibility calculation algorithms and design optimization techniques developed in this research are shown to be greatly helpful to the optimal design of the pneumatic vibration isolation system by experiment.