• 한국항공우주학회지
• /
• 제33권4호
• /
• pp.47-56
• /
• 2005

무인기의 INS/GPS/기압고도계 결합항법 시스템에서 수직채널감쇠루프를 사용하여 고도 오차를 보정할 때 비행 고도의 오차를 감소시키기 위해서 기압고도계의 정밀도를 향상시켜야한다. 피토정압관을 사용하여 기압 고도를 측정할 때 비행 속도와 자세 등의 변화에 따라 피토정압관 주위의 압력이 변하여 정압 오차에 의한 기압 고도의 오차를 유발한다. 정압 오차를 보정하기 위하여 풍동 시험과 CFD, 비행 시험 등의 자료를 이용하여 피토정압관 측정 압력의 변화를 분석하고 받음각과 비행 속도에 따른 압력 오차의 모델을 수립하였다. 비행 속도 변화에 의한 오차를 보정하기 위하여 피토정압관의 차압과 차압/정압 비를 사용한 두 가지 오차 모델에 대하여 압력 섭동에 대한 민감도 해석을 하였고 비행 시험에 적용하여 차압/정압 비를 사용한 모델이 고고도 비행 특성이 우수하다는 결론을 얻었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
• /
• pp.320-320
• /
• 2004

반도체용 노광장비나 검사장비, 초정밀 광학렌즈, 비구면 렌즈 가공 등의 핵심이 되는 것은 초정밀결정기술이다. 서브미크론의 정밀도를 갖는 장비는 한치의 오차도 허용치 야고 계획된 경로대로 정확하게 목표지점에 도달해야 초정밀 가공을 기대 할 수 있다 초정밀 공기정압 스테이지는 저마찰 특성과 높은 운동정밀도, 청정환경유지가 가능하여 반도체 노광장비에서 PDP 나 LCD검사장비, 초정밀가공 가공기 등 다양한 정밀장비에서 활용된다.(중략)

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 1996년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.662-667
• /
• 1996

For compensating the error motion of hydrostatic guideways, the structure and the theoretical design method of ACC(Active Controlled Capillary) are proposed. The maximum controllable range, micro step response and dynamic characteristics of ACC are analyzed experimentally for verifing the availability. The experimental results showed that by the use of ACC, the error motion within 2.7${\mu}{\textrm}{m}$ of a hydrostatic guideway can be compensated with the resolution of 27nm, 1/100 of uncontolled error, and the frequency band of 5.5Hz. From these results, it Is confirmed that the ACC is very effect to improve the moving accuracy of high or ultra precision hydrostatic guideways.

• 한국정밀공학회지
• /
• 제14권8호
• /
• pp.130-136
• /
• 1997

For compensating the error motion of hydrostatic guideways, we introduce a way that the clearance of table is actively controlled corresponding to the amount of error with the variable capillary. The structure and the theoretical design method of active controlled capillary using piezo actuator, named ACC, are proposed in this paper. Basic characteristics such as the maximum controllable range, micro step response and available dynamic bandwidth are tested for confirmation of structural suitability of ACC, and these characteristics are also tested on the table mounted with ACC for verifying the availability. The experimental result showed that by the use of ACC, the error motion within 2.7 .mu. m of a hydrostatic guideway can be compensated with the resolution of 2.7nm, 1/100 contollable range, and the frequency bandwidth of 5.5 Hz. From these results, it is confirmed that the ACC is very effective to improve the motion accuracy of high or ultra precision hydrostatic guideways.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.175-178
• /
• 2000

An aerostatic stage has frictionless behavior, so it has a advantage of investigation into positioning characteristics. A one-dimensional aemstatic ceramic stage with ballscrew driven and laser scale feedback system is manufactured. aiming at investigating positioning characteristic of aerostatic stage, especially position error and repeatability, we analyze positioning behavior with other factors such as angular error, temperature. Experimemal results show that the aerostatic stage has a l0nm micro step response. Comparing experimental results and calculated abbe's error, we confirm that mean of position error is owing to angular error. And, also we confirm the temperature is dominant factor of repeatability in ten nm order.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
• /
• 한국공작기계학회 2003년도 추계학술대회
• /
• pp.36-40
• /
• 2003

In order to discuss the availability of aerostatic guideways driven by the coreless linear motor to ultra precision machine tools, a prototype of guideway is designed and tested in this research. A coreless linear DC motor with the continuous force of 156N and a laser scale with the resolution of $0.01\mu\textrm{m}$ are used as the feeding system. The experiments are performed on the static stiffness, motion accuracy, positioning accuracy, microstep response and variation of velocity. The guideway also has $0.21\mu\textrm{m}$ of positioning error and $0.09\mu\textrm{m}$ of repeatability, and it shows the stable response against the $0.01\mu\textrm{m}$ resolution step command. The velocity variation of feeding system is less than 0.6%. From these results, it is confirmed that the aerostatic guideway driven by the coreless linear motion is very useful for the ultra precision machine tools.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.359-362
• /
• 2003

The aerostatic stage. which is used in semiconductor process, is demanded higher velocity and more precise accuracy for higher productivity and integrated performance. So, in the case of XY stage, H type structure, which is designed two co-linear axis of guide-way, driving force in one surface, has advantage of velocity and accuracy compared to conventional tacked type XY stage. To analyze characteristics of H type aerostatic stage, H type aerostatic surface XY stage is made, which is driven by linear motor and detected position with precise optical linear scale. And, analyze characteristics of motion error, effect of angular motion on positioning accuracy error and effect of simultaneous control on variation of velocity.

• 방송과미디어
• /
• 제2권1호
• /
• pp.45-56
• /
• 1997

이 논문에서는 여러대의 카메라를 이용하여, 화면내의 모든 화소에 대해 정확한 깊이정보를 추출하는 알고리듬을 제안한다. 제안방법은 스테레오정합에 기반하고 있다. 스트레오정압에 의해 깊이정보를 추정하는데 있어서는 , 오클루전(occlusion)이 추정에 미치는 악영향을 어떻게 극복하는가가매우 중요한 문제이다. 오클루전문제는 2대의 카메라로는 근본적으로 해결이 불가능하다. 따라서 이논문에서는 5대의 카메라를 사용하여, 각 카메라로부터의 정보를 선택적으로 사용함으로써, 이 문제를 상당히 개선한다. 한편, 스테레오 정합법에서는 정합창의 크기가 추정성능에 영향을 미치는데, 큰 창을 이요하면 잡음내성은 우수하나 깊이가 불연속인 곳에서 오차가 발생하고, 작은창을 이용하면 잡음성능은 저하되나 불연속부에서의 창크기에 의한 오차가 줄어드는, 대차관계가 존재한다. 이 논문에서는 처음에 큰 창으로 추정하고 차츰 창의 크기를 줄여나가는 계층적 방법을 제안하여, 잡음내성을 강화하고 불연속부의 오차를 줄이고 있다. 실험경과를 통하여 제안방법의 성능을 제시하고 타당성을 확인한다.

• 한국전자거래학회지
• /
• 제23권2호
• /
• pp.33-47
• /
• 2018

도시가스 배관은 지중에 매설되어 있기 때문에 세부 관리가 어렵고 다양한 위험에 노출되어 있다. 본 연구에서는 도시가스 배관압력 실시간 데이터를 분석해 배관압력 이상을 예측하고 전문가의 의사결정을 돕는 모델을 제안한다. 국내 도시가스 공급업체들 중 하나인 중부도시가스사의 정압기에서 수집하는 실시간 배관압력 데이터와 시간변수, 외부환경변수를 통합해 분석 데이터로 사용한다. 아산시와 천안시에 위치하는 11개 정압기를 분석 대상으로 하며 분 단위 배관압력 예측모델을 구현한다. Random forest, support vector regression(SVR), long-short term memory(LSTM) 알고리즘을 사용해 회귀모델을 구현한 결과 LSTM 모델에서 우수한 성능을 보인다. 아산시 배관압력 예측모델의 경우 LSTM 모델에서 RMSE가 0.011, MAPE가 0.494이며, 천안시 배관압력 예측모델의 경우 LSTM 모델에서 평균제곱근오차(root mean square error, RMSE)가 0.015, 절대평균백분율오차(mean absolute percentage error, MAPE)가 0.668로 가장 낮은 오류율을 보인다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.343-346
• /
• 2003

In order to discuss the availability of the hydrostatic guideway driven by the coreless linear motor to ultra precision machine tools, a prototype of guideway is designed and tested in this research. A coreless linear DC motor with the continuous force of 156 N and a laser scale with the resulution of 10 nm are used as the feeding system. The experiments are performed on the static stiffness. motion accuracy, positioning accuracy. microstep response and variation of velocity. The guideway has the infinite axial stiffness within 50 N of applied load, and has 0.08 ${\mu}{\textrm}{m}$ of linear motion error and 0.1 arcsec of angular motion error. It also has 0.21 ${\mu}{\textrm}{m}$ of positioning error and 0.09 ${\mu}{\textrm}{m}$ of repeatability, and it shows the stable response against the 10 nm resolution step command. The velocity variation of feeding system is less than 5%. From these results, it is confirmed that the hydrostatic guideway driven by the coreless linear motor is very useful for the ultra precision machine tools.