• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.13 no.4
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• pp.67-74
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• 1996

3차원좌표측정기(Coordinate Measuring Machine)의 공간오차(Volumetric error)의 측정을 위하여 홀-플레이트(Hole-Plate)를 이용하는 방법이 연구되었다. 티타늄 또는 세라믹으로 제작되는 홀-플레이트의 설계 예를 보였다. 홀-플레이트의 측정홀 숫자와 진원도(Roundness)의 영향이 연구되었으며, 또한 홀-플레이트의 설치시 발생하는 오차도 검토되었다. 3차원좌표측정기의 공간오차성분 모두를 별도로 측정하는 방법이 제안되었다. 홀-플레이트를 이용 2차원 및 3차원 공간의 길이 오차를 직접적으로 측정하는 방법도 소개되었다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.174-174
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• 2004

본 논문에서는 4변이 고정된 정사각형 알루미늄 평판의 진동 진폭을 측정하기 위하여, 기존의 위상 이동 ESP떼 스트로보스코프식 조사를 적용한 스트로보스코픽 ESPI 기법을 이용하였다. 일반적으로 시간평균 ESPI를 이용하면 진동하고 있는 대상체의 정성적인 진동 패턴을 측정할 수 있다. 그러나 시간평균 ESPI로는 진동하고 있는 대상체의 두께방향으로의 진폭량을 측정하기는 어렵다. 또한 일반적인 위상이동법을 적용시킬 경우, 대상체가 진동을 하게 됨으로써 정확한 진동 진폭을 측정하기 어렵다.(중략)

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.328-329
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• 2003

최근 전력 계통의 전압 상승과 측정 정밀도에 대한 요구가 증대됨에 따라 전력 설비의 고장 검출이나 측정 분야의 기술과 비용면에서 경쟁력을 갖춘 광을 이용한 고전압 대전류 측정이 주목받고 있다. 본 연구는 광섬유를 이용하여 보다 안전하고 정밀한 대전류 측정 장치 개발에 목적을 두고 있다. 광을 이용한 전류 센서는 편광된 광이 광섬유를 통과할 때 광섬유 주위의 자장에 의해서 편광면이 회전하는 패러데이 회전을 이용한 것이다. (중략)

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.07d
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• pp.1979-1981
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• 2001

직렬 저항형 직류전압 분할기의 비율측정용으로 1:1 저항비율 정밀 측정장치가 개발되었다. 능동가드 및 교환방법을 이용하여 분할기 측정 시 가장 큰 장애 요인의 하나인 누설효과를 성공적으로 제거할 수 있었다. 새로 개발한 측정장치는 10 $k{\Omega}$ 또는 100 $k{\Omega}$ 저항에 대하여 약 $10^{-8}$의 정확도가 가능한 것으로 분석되었다.

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2009.05a
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• pp.1141-1149
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• 2009

In Bone Mineral Density(BMD) measurements, accuracy and precision must be superior in order to know the small changes in bone mineral density and actual biological changes. Therefore the purpose of this study is to increase the reliability of bone mineral density inspection through appropriate management of image quality from machines and inspectors. For the machine management method, the recommended phantom from each bone mineral density machine manufacturer was used to take 10~25 measurements to determine the standard amount and permitted limit. On each inspection day, measurements were taken everyday or at least three times per week to verify the whether or not change existed in the amount of actual bone mineral density. Also evaluations following Shewhart control chart and CUSUM control chart rules were made for the bone mineral density figures from the phantoms used for measurements. Various forms of management became necessary for machine installation and movement. For the management methods of inspectors, evaluation of the measurement precision was conducted by testing the reproducibility of the exact same figures without any real biological changes occurring during reinspection. There were two measurement methods followed: patients were either measured twice with 30 measurements or three times with 15 measurements. An important point to make regarding measurements is that after the first inspection and any other inspection following, the patient was required to come off the inspection table completely and then get back on for any further measurements. With a 95% confidence level, the precision error produced from the measurement bone mineral figures produced a precision error of 2.77 times the minimum of the biological bone mineral density change (Least significant change: LSC). In order to assure reliability in inspection, there needs to be good oversight of machine management and measurer for machine operation and inspection error. Accuracy error in machines needs to be reduced to under 1% for scientific development in bone mineral density machines.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1993.04b
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• pp.204-207
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• 1993

현대는 급속히 발전하는 공업을 바탕으로 생산품의 고기능화, 고정도화, 고속화를 추구하고있다. 그중에서도 고정도화에 대항 요구는 초정밀 가공 분야의 경우 2000년대 초에는 수 nm 수준까지 도달할 것으로 예측된다. 현재 각 선진국에서는, 초정밀도의 형상 정밀도를 요구하는 대형 광학 부품들의 가공에대한 연구가 진행중이며, 이와 같은 연구에서 요구되는 가공 정밀도가 조만간 가공기의 강성한계에 도달할 것이다. 이와함께 초정밀 가공에 있어서, 이송 테이블의 운동오차는 심각한 문제로 대두되고 있으므로, 테이블의 운동오차의측정 및 실시간 보상에 대한 연구의 의미가 있을 것으로 생각된다. 본 연 구는 기계 이송 테이블의 기하학적 운동오차의 실시간보상(real-time correction)에 관한 것이다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1993.04b
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• pp.192-197
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• 1993

반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.6
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• pp.46-52
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• 2000

산업사회가 발전하면서 초정밀 분야의 측정기술 또한 시대적 요구에 걸맞게 발전을 거듭하고 있다. 광을 이용한 측정기술에 있어서 보다 작은광 스팟의 구현은 높은 분해능을 위해서 필수 불가결한 조건이며, 광 기록분야에 있어서는 높은 기록밀도를 위해 핵심적인 기술이다. 하지만 스팟의 직경은 광의 회절한계(diffraction limit)에 의한 최소치를 갖는다. 예로서, 측정을 위한 광학 현미경 중 현재 일반적으로 널리 쓰이는 고배율 광학 현미경(high resolution optical microscope)은 측정 대상 표면에 물리적 손상을 주지 않으며, 측정 범위가 크고, 값이 싼 장점이 있다.(중략)

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.32 no.6
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• pp.134-141
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• 2004

The three-dimensional precision measurement technology for industrial product of middle and/or large scale has been developed. Theodolite measurement system which is one of the technology is widely used in aerospace industry. This paper describes a range alignment method of parabolic antenna to RF probe in the near field range by using the theodolite system, The range alignments of the Ku-band and Ka-band antennas have been accomplished within the requirements, ${\pm}1mm\;and\;{\pm}0.05^{\circ}$.

• Proceedings of the Korean Society of Surveying, Geodesy, Photogrammetry, and Cartography Conference
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• 2010.04a
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• pp.253-255
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• 2010

Needs to study on distance measurement accuracy in aerial and satellite photogrammetry are rapidly increased. However, conventional studies show some confused definitions between measurement accuracy and measurement precision as well as standard deviation(STDEV) and root mean square error(RMSE or RMSD). So, Finite definitions of measurement accuracy and measurement precision as well as STDEV and RMSD are addressed in this paper. Experiment result show using correct definitions improve the distance measurement accuracy in aerial and satellite photogrammetry rapidly, but not the distance measurement accuracy in aerial and satellite photogrammetry.