Journal of the Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회지)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Theory and Application of Near-field Scanning Optical Microscope

광근접장 현미경의 원리 및 응용

  • 윤형길 (한국과학기술원 기계공학과 메카트로닉스 연구실) ;
  • 이준희 (한국과학기술원 기계공학과 메카트로닉스 연구) ;
  • 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과 메카트로닉스 연구실)
  • Published : 2000.06.01
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Abstract

산업사회가 발전하면서 초정밀 분야의 측정기술 또한 시대적 요구에 걸맞게 발전을 거듭하고 있다. 광을 이용한 측정기술에 있어서 보다 작은광 스팟의 구현은 높은 분해능을 위해서 필수 불가결한 조건이며, 광 기록분야에 있어서는 높은 기록밀도를 위해 핵심적인 기술이다. 하지만 스팟의 직경은 광의 회절한계(diffraction limit)에 의한 최소치를 갖는다. 예로서, 측정을 위한 광학 현미경 중 현재 일반적으로 널리 쓰이는 고배율 광학 현미경(high resolution optical microscope)은 측정 대상 표면에 물리적 손상을 주지 않으며, 측정 범위가 크고, 값이 싼 장점이 있다.(중략)

Keywords

References

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