• Title/Summary/Keyword: 정밀측정

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Development of High Current Transformer with Optical Fiber Sensor (광섬유 센서를 이용한 대전류 측정장치 개발)

  • 김덕래;정재용;박정남;서정민;김병태
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.328-329
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    • 2003
  • 최근 전력 계통의 전압 상승과 측정 정밀도에 대한 요구가 증대됨에 따라 전력 설비의 고장 검출이나 측정 분야의 기술과 비용면에서 경쟁력을 갖춘 광을 이용한 고전압 대전류 측정이 주목받고 있다. 본 연구는 광섬유를 이용하여 보다 안전하고 정밀한 대전류 측정 장치 개발에 목적을 두고 있다. 광을 이용한 전류 센서는 편광된 광이 광섬유를 통과할 때 광섬유 주위의 자장에 의해서 편광면이 회전하는 패러데이 회전을 이용한 것이다. (중략)

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Precision Measurement Technique of DC Voltage/Resistance Ratio (직류 전압/저항 비율 초정밀 측정기술)

  • Kim, Kyu-Tae;Yu, Kwang-Min
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2001.07d
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    • pp.1979-1981
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    • 2001
  • 직렬 저항형 직류전압 분할기의 비율측정용으로 1:1 저항비율 정밀 측정장치가 개발되었다. 능동가드 및 교환방법을 이용하여 분할기 측정 시 가장 큰 장애 요인의 하나인 누설효과를 성공적으로 제거할 수 있었다. 새로 개발한 측정장치는 10 $k{\Omega}$ 또는 100 $k{\Omega}$ 저항에 대하여 약 $10^{-8}$의 정확도가 가능한 것으로 분석되었다.

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Appropriate image quality management method of bone mineral density measurement (골밀도 측정의 올바른 질 관리방법)

  • Kim, Ho-Sung;Dong, Kyung-Rae
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.1141-1149
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    • 2009
  • In Bone Mineral Density(BMD) measurements, accuracy and precision must be superior in order to know the small changes in bone mineral density and actual biological changes. Therefore the purpose of this study is to increase the reliability of bone mineral density inspection through appropriate management of image quality from machines and inspectors. For the machine management method, the recommended phantom from each bone mineral density machine manufacturer was used to take 10~25 measurements to determine the standard amount and permitted limit. On each inspection day, measurements were taken everyday or at least three times per week to verify the whether or not change existed in the amount of actual bone mineral density. Also evaluations following Shewhart control chart and CUSUM control chart rules were made for the bone mineral density figures from the phantoms used for measurements. Various forms of management became necessary for machine installation and movement. For the management methods of inspectors, evaluation of the measurement precision was conducted by testing the reproducibility of the exact same figures without any real biological changes occurring during reinspection. There were two measurement methods followed: patients were either measured twice with 30 measurements or three times with 15 measurements. An important point to make regarding measurements is that after the first inspection and any other inspection following, the patient was required to come off the inspection table completely and then get back on for any further measurements. With a 95% confidence level, the precision error produced from the measurement bone mineral figures produced a precision error of 2.77 times the minimum of the biological bone mineral density change (Least significant change: LSC). In order to assure reliability in inspection, there needs to be good oversight of machine management and measurer for machine operation and inspection error. Accuracy error in machines needs to be reduced to under 1% for scientific development in bone mineral density machines.

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광위상 간섭을 이용한 기계 이송축의 운동오차 측정 및 실시간 보상

  • 이형석;김승우
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1993.04b
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    • pp.204-207
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    • 1993
  • 현대는 급속히 발전하는 공업을 바탕으로 생산품의 고기능화, 고정도화, 고속화를 추구하고있다. 그중에서도 고정도화에 대항 요구는 초정밀 가공 분야의 경우 2000년대 초에는 수 nm 수준까지 도달할 것으로 예측된다. 현재 각 선진국에서는, 초정밀도의 형상 정밀도를 요구하는 대형 광학 부품들의 가공에대한 연구가 진행중이며, 이와 같은 연구에서 요구되는 가공 정밀도가 조만간 가공기의 강성한계에 도달할 것이다. 이와함께 초정밀 가공에 있어서, 이송 테이블의 운동오차는 심각한 문제로 대두되고 있으므로, 테이블의 운동오차의측정 및 실시간 보상에 대한 연구의 의미가 있을 것으로 생각된다. 본 연 구는 기계 이송 테이블의 기하학적 운동오차의 실시간보상(real-time correction)에 관한 것이다.

웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

  • 이종현;장원익;이용일;김도훈;최부연;정기로;임태영;남병호;김상철
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1993.04b
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    • pp.192-197
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    • 1993
  • 반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

Partial discharge Measurement on 362 kV GIS of Power Plant Switchyard (화력발전소 S/Y 362 kV GIS 부분방전 정밀측정)

  • Han, Ki-Seon;Yoon, Jin-Yul;Han, Sang-Ok
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.04b
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    • pp.143-145
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    • 2007
  • 화력발전소 S/Y(switchyard)의 362 kV GIS에 대한 부분방전 정밀측정을 수행하였다. 2005년 부터 화력발전소 S/Y GIS의 고장예방을 위해 설치 운전승인 UHF 부분방전 상시감시시스템에서 상당히 큰 부분 방전신호가 지속적으로 감지되었다. 상시감시시스템에서 방전신호의 원인을 부유전극으로 추정하였으며, 이에 해당 사업소에서 감지된 방전신호의 노이즈 여부 및 방전 발생위치 추정을 위한 기술지원을 요청하였다. 이에 따라 전력연구원은 방전신호를 정밀 측정한 후 PRPD(phase resolved partial discharge) 분석을 통해 부유전극이 GIS 내부에 존재함을 확인하였으며, TOA(time of arrival)법에 의해 제 1 발전기 step-up 변압기부터 인근 가스절연모선 사이에 결함이 존재하는 것으로 추정하였다. 전력연구원의 측정결과를 바탕으로 발전소측에서 해당 개소를 분해 점검한 결과 가스절연모선의 중앙도체를 지지하는 supporting insulator 금구류의 접촉불량에 의한 부유전극 결함을 발견하고 보수하였다. 보수후 상시감시시스템에서 방전신호가 검출되지 않음에 따라 방전원인이 제거되었음을 확인하였다.

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Theory and Application of Near-field Scanning Optical Microscope (광근접장 현미경의 원리 및 응용)

  • 윤형길;이준희;권대갑
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.6
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    • pp.46-52
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    • 2000
  • 산업사회가 발전하면서 초정밀 분야의 측정기술 또한 시대적 요구에 걸맞게 발전을 거듭하고 있다. 광을 이용한 측정기술에 있어서 보다 작은광 스팟의 구현은 높은 분해능을 위해서 필수 불가결한 조건이며, 광 기록분야에 있어서는 높은 기록밀도를 위해 핵심적인 기술이다. 하지만 스팟의 직경은 광의 회절한계(diffraction limit)에 의한 최소치를 갖는다. 예로서, 측정을 위한 광학 현미경 중 현재 일반적으로 널리 쓰이는 고배율 광학 현미경(high resolution optical microscope)은 측정 대상 표면에 물리적 손상을 주지 않으며, 측정 범위가 크고, 값이 싼 장점이 있다.(중략)

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Study on Inclination Sensor by Capacitance Measurements (전기용량 측정에 의한 기울기 센서연구)

  • Kim, Han-Jun;Lee, Rae-Duk;Kang, Jeon-Hong;Semenov, Yu. P.;Han, Sang-Ok
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2003.07b
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    • pp.807-810
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    • 2003
  • 금속 평행판 전극 사이에 주입된 액체 유전체의 움직임에 의해서 발생되는 차동 전기용량 변화를 이용하여 기울기 측정센서를 개발하였다. 기울기 $0^{\circ}{\sim}{\pm}90^{\circ}$의 범위에서 직선에 대한 상관계수가 0.999 99로 분석이 되어 우수한 선형성을 보였다. 센서의 전극구조를 완벽한 3-전극형 전기용량기로 설계하였기 때문에 외부로부터의 전자기 잡음 및 전기장의 영향에 관계없이 기울기를 정밀하게 측정할 수 있었다. 또한 안정된 디지털 출력을 이용하여 기울기의 정밀측정 뿐만 아니라 장치나 구조물 등의 기울기를 원격조정 또는 monitoring에도 적용이 가능하다.

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Precise Measurement of Magnetic Field Using CW-NMR Technique (CW-NMR 기법을 이용한 자기장 정밀측정)

  • 이정한;이대행;김민철;이순칠;홍계원;이호준
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.5 no.1
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    • pp.79-85
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    • 1995
  • A precise magnetic field probe was designed to measure the field distribution inside a superconducting magnet. The operation principle of the developed equipment is based on cw-NMR. The range of field is from 2.8 T to 5.8 T, and the resolution is better than 0.3 ppm NMR samples were water and heavy water contained in a tube of 4 mm diameter and 4mm height. This equipment can be manufactured very inexpensively compared with the currently available commertial ones.

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A Study for Exact Spherical Diopter by Cross Cylinder Lens and Red·Green Card Method (크로스 실린더법과 적·녹검사를 이용한 정밀구면 굴절력에 관한 고찰)

  • Yoon, Kyounghan
    • Journal of Korean Ophthalmic Optics Society
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    • v.4 no.2
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    • pp.39-43
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    • 1999
  • In this study, It obtained results that the exact spherical diopter to practice test by using Cross cyliner lens and Red Green Card method. In the test used to the 1750 eyes of middle and high school students. The results was as follows ; 1. Using Cross cylinder lens method, I tested a exact spherical diopter after accommodation. At -0.25 Dptr the ratio of spherical Dptr error limits were measured as 58% and at -0.75 Dptr they were oppeared as 1%, at -1.00 Dptr they are not measured. In this method, the error limits of exact spherical Dptr was 91% from 0 Dptr to -0.25 Dptr. 2. Using Red Green Card method, they were measured as 45% at -0.25 Dptr. and measured as 20% at -0.50 Dptr. From the result of these test, Cross cylinder lens method was a better detailed method than Red Green Card method.

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