• Title/Summary/Keyword: 정밀측정장비

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River Discharge Measurement and Analysis for Nakdong-River Basin in 2007 (2007년 낙동강 유량측정 및 유출특성 분석)

  • Kim, Hyeong-Seop;Kim, Sam-Eun;Lee, Gi-Seong;Jeong, Chan-Yong;Song, In-Ryeol;Im, Hyeok-Jin;Min, Gyeong-Hun;Jeong, Yeong-Hun;Hwang, Su-Jin;Lee, Jeong-Seok;Lee, Gang-Il
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2008.05a
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    • pp.2264-2269
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    • 2008
  • 귀중한 수자원을 효율적으로 관리하고 홍수 피해를 저감하고 환경친화적인 수자원의 역할을 제대로 자리매김하기 위하여 무엇보다 필요한 사항은 신뢰성 있는 유량자료를 기초자료로서 확보하는 것이다. 그러나 유량 측정에 필요한 측정기준의 불명확, 예산과 측정장비의 부족, 전문 인력의 부재로 인해 그동안 유량자료에 대한 문제 제기가 계속되어 온 것이 사실이다. 최근 유량조사사업단의 설립과 함께 정도 높은 유량자료를 생성하고자 유량측정을 전문적으로 담당하는 인력이 유량측정과 분석을 일상적으로 수행하는 등 개선의 노력을 계속하고 있다. 강화된 유량측정 기준과 개선된 방법론에 따른 현장측정을 통해 정밀한 유량측정성과를 확보하였으며, 측정된 유량측정성과의 일상 검증을 통해 보다 정밀한 유량측정성과를 확보하고자 하였다. 또한 유량자료를 생성하여 이를 평가함으로써 유량측정 전 과정이 적절하게 이루어졌는지를 평가하고자 하였다. 그 결과, 낙동강 수계 본류의 주요 9개 대상 지점에 대해 신뢰성 있는 수위-유량관계곡선을 개발할 수 있었다. 개발된 곡선식을 이용하여 유량자료를 생성하고 상 하류간 비교, 유출률 분석 등을 통해 생성된 유량자료를 검토하였다. 확정된 유량자료는 양질의 수준을 갖는 것으로 평가되었다.

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A Study on Accurate Alignment Measurement of Dual Thruster Module Using Theodolite (데오드라이트를 이용한 이중 추력기 모듈의 정밀정렬측정에 관한 연구)

  • Hwang, Kwon-Tae;Moon, Guee-Won;Cho, Chang-Lae;Lee, Dong-Woo;Lee, Sang-Won
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.36 no.11
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    • pp.1399-1404
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    • 2012
  • Because satellites operate in space, it is impossible to repair them when they malfunction. Therefore, to ensure the normal function of the payload used in the satellites, accurate assembly and installation of parts are crucial. To prevent abnormal functioning in the extreme environments during launch and in space, it is essential to test changes at the parts and system levels by performing alignment measurement before and after the launch environment test and the space environment test. Recently, noncontact three-dimensional precision machinery for medium- and large-sized parts has been developed. One of these is the theodolite measurement system, which is widely used in the aerospace industry. This study measures the angle of the dual thruster module that is used to control the attitude of KOMPSAT by using a theodolite, and alignment measurement and a reliability analysis are performed.

Ultrasensitive laser interferometer for precision measurement of small vibration displacement (고감도 레이저 간섭계를 이용한 미소 진동 진폭의 정밀측정)

  • 서상준
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.12 no.3
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    • pp.440-449
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    • 1988
  • Small vibration displacements may be measured by optical interferometers, based on the Michelson method. The standard Michelson interferometer works well when the mirror displacements are relatively large compared to the optical wavelength. But it does not work for displacements less than approximately a quater of optical wavelength. Several multiple reflection laser interferometers, simply modified standard Michelson interferometer, have been developed to decrease the minimum detectable limits. Among these a relatively simple and easy multiple reflection system is used to measure the small vibration displacements. This multiple reflection system is constructed with a right angle prism and a convex lens. Therefore this system makes it possible to measure a vibration displacement of the small area on the vibrating structure. The fringe interpolation method and curve fitting method are used to determine accurately the small vibration displacements from the measured interference fringe patterns. Also computer simulation technique is used to check the accuracies of these method. According to the results of the computer simulation technique, the curve fitting method is more accurate than the fringe interpolation method. The optically measured results are in good agreement with those of the standard accelerometer with high accuracy and it is possible to measure the peak vibration displacement as small as 9.01nm using multiple reflection system and curve fitting method.

A Study on the Dynamic Stiffness Criteria of Exposure Equipment for next TFT-LCD Fab (차세대 TFT-LCD 노광기 기초의 구조물 동강성허용규제치 결정)

  • 김강부;박해동;강현승;이홍기
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.247-251
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    • 2004
  • 최근 정밀장비의 진동허용규제치 및 동강성허용규제치는 제작사가 사용자에게 반드시 제출해야 하는 하나의 사양으로 정착되고 있지만, 대부분 국내외의 장비 제작자가 제시하는 진동허용규제치는 부정확할 뿐만 아니라 통일된 양식을 갖추고 있지 못하고 있는 실정이다. 따라서, 본 연구에서는 장비제작사에서 제시하는 동하중에 의한 기준과 진동측정을 통한 평가 동하중에 따른 기준으로 노광기의 기초에서 진동허용규제치를 만족시키기 위한 건물의 요구 이너턴스를 평가하여 차세대 노광기에 대한 정량적인 동강성규제치를 제안하였다.

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Development of a Vision Based Machine Tool Presetter (영상 기반 머신툴 프리세터 개발)

  • Jung, Ha-Hyoung;Kim, Tae-Tean;Park, Jin-Ha;Lyou, Joon
    • Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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    • v.19 no.3
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    • pp.49-56
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    • 2014
  • Generally, the tool presetter is utilized to align and measure some specific dimensions of a machine tool. It is classified into two types(contact and contactless) according to the measurement method, and the optical sensor based contactless scheme has the advantages of measurement flexibility and convenience. This paper describes the design and realization of an industrial tool presetter using machine vision and linear scaler. Before measurement, the objective tool is attached to the mechanical mount and is aligned with the optical apparatus. After capturing tool images, the suggested image processing algorithm calculates its dimesions accurately, combining the traversing distance from the linear scaler. Experimental results conforms that the present tool presetter system has the precision within ${\pm}20um$ error.

Novel Accuracy Enhancement Method for Absolute Temperature Measurement Using TEC-LESS Control in Uncooled Thermal Imaging (비냉각 열상시스템에서 TEC-Less를 이용한 절대온도 측정 정밀도 향상 기법)

  • Han, Joon Hwan
    • Journal of the Korea Society of Computer and Information
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    • v.17 no.12
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    • pp.41-47
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    • 2012
  • Every object over $O^{\circ}K$ emits radiant energy based on its own temperature. Uncooled thermal imaging system displays the detected incident radiant energy as an image by signal processing. Recently, the uncooled thermal imaging system is applied to various areas such as medical, industrial, and military applications. Also, several researches are in progress to find new applications of the uncooled thermal imaging system. In this paper, we present effective method for controlling TEC-less detector in the uncooled thermal imaging system and also present the efficient control scheme for maximizing the accuracy of temperature measurement. The proposed scheme is to apply TEC-less and temperature detection algorithm in Uncooled thermal imaging system. In results of tests performed by using the actual chamber, we acquired images of better quality than the former system and temperature measurement accuracy was improved to less than $1^{\circ}C$.

Design of the Cardiac Output Measurement Module using Swan-Ganz Cathetar (Swan-Ganz Cathetar를 이용한 Cardiac Output 측정 모듈 개발에 관한 연구)

  • Jeong, Yong-hyun;Kim, Young-kil
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2009.10a
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    • pp.549-552
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    • 2009
  • 본 논문에서는 심폐기능에 이상이 있는 중환자의 지속적인 감시와 진단을 위한 방법으로 Swan-Ganz Catheter를 체내에 삽입하여 심박 출량과 혼합정맥혈 산소포화도를 기존 장비들보다 정밀하게 측정할 수 있는 모듈을 개발하고자 한다. Swan-Ganz Catheter에는 두 개의 온도센서와 한개의 압력센서를 포함하고 있으며 이를 통해 입력되는 센서 값을 세밀하게 수집하고 이를 기반으로 일회 심박 출량, 전신 및 폐혈관저항, 산소소모량 등을 계산하여 환자의 상태를 보다 정확하게 진단 및 치료가 가능하게 한다.

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Preliminary Study for Soil Moisture Measurement System in the Mountainous Hillslope (산림 사면에서의 토양 수분 측정 시스템구축을 위한 사전연구)

  • Jin, Sung-Won;Kim, Sang-Hyun;Kwon, Kyu-Sang;Lee, Yeon-Kil;Jung, Sung-Won
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2008.05a
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    • pp.1142-1146
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    • 2008
  • 토양수분은 지표수의 유출과정을 설명하는 과정에서 중요인자이며, 생태수문학의 핵심변수이자 기상모형의 결정적인 입력변수이다. 또한 토양수분의 공간적 시간적 특징들은 강우 및 지하수와 토양수분간의 순환 구조를 규명하는데 매우 중요하다. 본 연구에서는 산지사면의 토양수분을 체계적으로 측정하는데 필요한 시스템의 구축을 위한 기초조사 및 사전분석에 대한 연구를 수행하였다. 우수한 토양 수분 측정 장비인 TDR 장비 매설에 앞서 대상유역 선정에 대한 여러 가지 고려사항을 검토하고 수치지형 분석 등을 통한 사전분석을 실시하였다. 대상유역을 선정하기 위해서는 대상유역의 자료획득의 용이함, 지정학적, 시스템 운영적 측면에서의 가용성, 그리고 정밀측량 및 부수적요인 등 여러 요소의 고려가 요구된다. 본 연구에서는 경기도 파주시 적성면 설마리의 설마천 유역내 감악산 범륜사 우측 산지 사면을 측정대상 사면으로, 지정학적 위치, 식생분포, 지질구조 및 심도 등의 토양특성의 고려를 통해서 선정하였다. 또한 대상 사면에 흐름 발생 및 분포를 계산하기 위해서 대상사면의 지표 및 기반암 표고를 정밀 측량하였으며, 기반암 또는 풍화대까지의 깊이를 실측하여 지표면 및 지하면의 수치지형 모형을 구축하였다. 이를 대상사면 및 지하면에 대하여 표고수치지형모형(Digital Elevation Model:DEM)으로 도식한 후 흐름 발생 공간 분포를 계산하였다. 흐름발생공간분포예측은 단방향 알고리즘, 다방향 알고리즘, 흐름 분배 알고리즘 그리고 다중무한방향 알고리즘을 사용하여 지형인자인 기여사면적과 지형습윤지수를 계산하였다. 각 분배알고리즘의 의해 도출된 지형인자들로 인한 흐름발생 공간적 분포특성을 비교하였다. 이는 합리적인 토양수분 측정시스템을 구축하는데 중요한 의사결정 수단으로 판단된다.

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진공공정 실시간 측정 기술 개발 동향

  • Sin, Yong-Hyeon;Hong, Seung-Su;Im, In-Tae;Seong, Dae-Jin;Im, Jong-Yeon;Kim, Jin-Tae;Kim, Jeong-Hyeong;Gang, Sang-U;Yun, Ju-Yeong;Yu, Sin-Jae
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.28-28
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    • 2011
  • 우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 이들 산업 분야에서는 우리나라가 세계 최고의 생산 기술을 가지고 있으므로 자체적인 기술 개발 확보가 중요하다. 최근에는 기존에 개발되어 있는 장비의 성능을 뛰어넘어야 하는 공정 기술력이 요구되면서, 진공 공정 기술 개발이 매우 중요한 이슈가 되었다. 반도체나 디스플레이 산업 등 기존 주력산업의 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서뿐 아니라 태양전지, LED 등 진공기술을 이용한 신성장 동력 산업의 생산 시스템 경쟁력 확보 측면에서도 진공 공정 기술 개발 중요성은 매우 크다. 지금까지 양산에 적용되는 증착, 식각, 확산 등 진공 공정 운영은, 사전 시험을 통해 얻은 최적 공정의 입력 파라미터들을 정해 놓고 그대로 공정을 진행한 뒤, 생산되어 나오는 제품의 상태를 사후 측정하여 공정 이상 여부를 점검하고 미세 조정하는 형태로 진행되고 있다. 실질적으로 현재 진행 중인 진공 공정에 대한 직접적인 정보가 없으므로 공정 중 발생되는 문제들에 대한 대처는 그 공정이 끝난 후에 이루어지는 상황이다. 공정 미세화 및 대구경화에 따라 기존의 wafer to wafer 제어 개념 보다 발전된 개념으로 센서 기반 실시간 공정 진단 제어 기술의 필요성이 대두되었으며 이를 위한 오류 인식 및 예지기술 (Fault Detection & Classification, FDC) 그리고 이 정보를 이용한 첨단 제어 기술(Advanced Process Control, APC)을 개발하는 노력들이 시작되었다. 한국표준과학연구원에서는 수요기업인 대기업과 장비업체, 센서 개발 중소기업 및 학교 연구소와 공동으로 진공 공정 실시간 측정 진단 제어와 관련된 연구를 하고 있다. 진공 공정 환경측정 기술, 플라즈마 상태 측정 기술, 진공 공정 중 발생하는 오염입자 측정 원천 기술 개발과 이를 구현하기 위한 센서 개발, 화학 증착 소스 및 진공 공정 부품용 소재에 대한 평가 플랫폼 구축, 배기 시스템 진단기술 개발 등 현재 진행되고 있는 기술 개발 내용과 동향을 소개한다. 진공 공정 실시간 측정 기술이 확보되면 차세대 반도체 제작에 필요한 정밀 공정 제어가 가능해지고, 공정 이상에 바로 대응 혹은 예방 할 수 있으며, 여유분으로 필요 이상으로 투입되던 자원(대기시간, 투입 재료, 대체용 장비)을 절감하는 등 생산성을 향상을 기대할 수 있다. 또한 진공 환경에서 이루어지는 박막 증착, 식각 공정 과정에 대한 이해가 높아지고, 공정을 개발하고 최적화하는데 유용한 정보를 제공할 수 있으므로, 기존 장비와 차별화된 경쟁력을 가진 고품위 진공 장비 및 부품 개발에 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

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