• 한국공작기계학회논문집
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• 제15권6호
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• pp.64-70
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• 2006

The optical element was usually used in optical devices and optical transfer devices, but it has been recently used in communication, computer and medical equipment. With the development of very high speed optical-communication, the development of the kernel parts of optical communication has also increased. Presently, the alignment of the optical element is time consuming, and an effective alignment algorithm has not yet to be developed. In this paper, the alignment automation of the optical element is studied. The ultra precision stage is applied to an optical element alignment to improve the accuracy of the alignment. The automation program of the optical element alignment is developed by LabVIEW programming to save the alignment time. The alignment algorithms of the optical element consist of field search and peak search algorithms.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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• pp.213-218
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• 2004

As optical fiber communication grows, the fiber alignment become the focus of industrial attention. This greatly influence the overall production rates for the opto-electric products. We proposed multi-axis nano positioning stage for optical fiber alignment. This device has 3 DOF translation and sub nanometer resolution. This nano stage consist of 3 PZT-driven flexure stages which are stacked parallel. The displacement of it is measured with capacitance gauge and is controlled by computer-embedded main controller. The design process of flexure stage using FEM is proposed and the performance evaluation of this system is verified with experiments.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2002년도 합동 추계학술대회 논문집 정보 및 제어부문
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• pp.309-312
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• 2002

Precision stage is essential device for semiconductor equipments, fiber optic assembly systems and micro machines. In this paper, we develop a piezo-electric inchworm type actuator for long stroke ultra precision linear stages, and implement a controller to interface with commercial motion controllers. It provides fast implementation of precise position control system substituting for rotary motor. In the future, using a laser interferometer as a position sensor, we plan to implement a nano meter precision stage.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2006년도 춘계학술대회논문집
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• pp.1404-1408
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• 2006

In this paper, a hybrid-type vibration isolator which has air chamber(spring) and viscous damper in series is developed. The developed vibration isolator is designed to perform 3 following functions : spring function for normal operating conditions, damping function to reduce an impact for sudden move of upper beam, and finally leveling function. Based on the given natural frequency and damping factor, the design procedure is proposed. The performance of the developed isolator is tested by measuring stiffness and damping.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제6권1호
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• pp.37-41
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• 2007

Recently PZT is used in ultra precision mechanism field. PZT has a small motion range although it has a high resolution. Many methods, such as inchworm, impact driving, etc., have been applied for the expansion of the motion range.? In this study, the new actuating mechanism for rotational motion with two PZT actuators is proposed. The ultra precision rotational actuator which is made by proposed mechanism is able to operate both coarse and fine motion. The design parameters of the proposed mechanism are considered to improve the performance of the system. The rotational stage which is applied by the proposed mechanism is fabricated. The resolution and velocity for fabricated rotational stage are measured by laser interferometer.

• 한국기계가공학회지
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• 제13권6호
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• pp.15-22
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• 2014

With a conventional positioning apparatus, it is very difficult simultaneously to achieve desired driving ranges and precision levels at the sub-micrometer level. Generally, a lead screw and friction drive have been used as servo control systems. These have large driving ranges, and high-speed positioning is feasible. In this study, we present a global servo system controlled by a laser interferometer acting as a displacement measurement sensor for achieving positioning accuracy at the sub-micrometer level.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.54-59
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• 2005

Recently, the ultra-precision stage is widely used in the fields of the nano-technology, specially in AFMs(Atomic Force Microscope) and STMs(Scanning Tunneling Microscope). In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. The guide mechanism which consisted of flexure hinges is analyzed by Finite Element Method. And we derived the transfer function of the system in 1st order system from step responses according to the magnitude. We performed simulation for the model to tune the control gain and applied the gains to the developed system. Experimental results found that the stage can be controlled in 5 nm resolution by PID controller.

• 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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• 한국방송공학회 2013년도 추계학술대회
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• pp.131-134
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• 2013

디지털 홀로그램 기록 방식에 있어서 기록하고자 하는 영상을 디지털화하는 작업과 더불어 영상을 필름에 투영시키기 위한 공간 광 변조기, 기록 광원을 생성하기 위한 광학 시스템 및 필름 이송을 담당하는 스테이지의 정밀한 제어가 필요하다. 본 논문에서는 디지털 홀로그래픽 기록 시스템을 개발함에 있어서 전체 운용 기능에 해당하는 제어 구조를 제안하고 제안된 구조의 기능과 구현된 결과를 통해 향후 개선 사항을 소개하고자 한다.

• 한국정보과학회:학술대회논문집
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• 한국정보과학회 2003년도 가을 학술발표논문집 Vol.30 No.2 (2)
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• pp.625-627
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• 2003

본 논문에서는 정밀 측정 장비인 VMS(Video Measuring System)에서 줌을 서보 모터(servo motor)로 제어하는 자동화된 줌 렌즈 보정에 대하여 연구하였다. 이전의 자동화된 줌 렌즈의 연구들은 줌, 초점과 조리개 3 가지의 렌즈 설정에 대한 모든 카메라 파라미터들에 대하여 보정하였지만, VMS 의 자동화된 줌 렌즈의 보정은 줌의 렌즈 설정에 대해서만 보정한다. 줌 렌즈 설정에 의해 보정 되는 파라미터들은 줌에 따라 변화하는 이미지 중심과 픽셀 크기이다. 카메라의 외부 파라미터들을 제외한 이유는 VMS에서는 카메라가 움직이고 않고, 스테이지가 움직이면서 그에 따른 좌표 값을 주기 때문에 카메라의 이동과 회전에 대하여 보정할 필요가 없다. 줌을 조정하는 줌 단계가 많기 때문에 모든 줌 단계를 보정하기 위해서는 많은 시간과 노력이 든다. 본 논문에서는 보정 파라미터들을 최소 단계의 줌 렌즈 설정에 대하여 계산하고 계산되지 않은 영역들을 보간법으로 빠르고 효과적인 줌 렌즈 보정을 할 수 있는 방법을 제안하였다.

• 한국광학회지
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• 제32권2호
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• pp.49-54
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• 2021

본 논문에서는 고출력 광섬유 레이저의 핵심 부품인 대구경 광섬유 엔드캡을 제작하는 장비를 설계 및 제작하였으며, 제작장비를 이용하여 대구경 광섬유 엔드캡을 제작하였다. 대구경 광섬유 엔드캡 제작장비는 레이저 광을 조사하여 접속 열원으로 사용하기 위한 CO2 레이저 광원부, 대구경 광섬유와 엔드캡의 위치를 이송하기 위한 정밀 스테이지 조립체, 스테이지 조립체와 연동되어 융착 시 정렬에 사용되는 비전 시스템으로 구성되어 있다. 레이저 광원의 출력은 스테이지 조립체와 연동되어 출력을 제어하며, 비전 시스템으로 대구경 편광유지 광섬유의 편광축을 정렬할 수 있도록 제작되었다. 자체 제작한 장비를 이용하여 클래드 직경이 400 ㎛인 대구경 편광유지 광섬유와 10(W)×5(D)×2(H) ㎣의 엔드캡을 레이저 융착하여 대구경 광섬유 엔드캡을 제작하였다. 제작된 대구경 광섬유 엔드캡의 신호광 삽입손실, 소광률 및 빔품질(M2)은 각각 0.6%, 16.7 dB, M2x=1.21, M2y=1.22로 측정되었다.