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플라즈마 공정 진단을 위한 공간 분해 발광 분광 분석법 소개

  • 박창희;김동희;최성원;이창석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.81-81
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    • 2013
  • 반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

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저온에서 고효율 제습기 개발 (Development of High Efficiency Dehumidifiers in low temperature)

  • 김종열
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제17권9호
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    • pp.206-211
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    • 2016
  • 본 논문은 저온에서 건조한 공기를 필요로 하는 각종 산업설비, 자동화설비, 반도체 제조공정 및 수분 접촉이 되는 화학생산라인, 조선업의 도장 전처리 공정에 필수적이며, 식품 건조에서는 단백질 파괴 방지를 억제할 수 있는 중요한 장비인 냉각식 제습기를 개발하였다. 즉 저온($0^{\circ}C$ 이하) 제습방식으로 하기 위해 냉동기 증발기를 4개 설치하였다. 습공기는 순차적으로 3차에 걸쳐 냉각되는데 1차 증발기에서는 증발온도 $+13^{\circ}C$, 2차 증발기에서는 증발온도 $+5^{\circ}C$ 그리고 3차 증발기에서는 $-1.3^{\circ}C$로 유지하게 된다. 4차 증발기에서는 습공기에 포함된 수분을 증발기에 착상시키게 된다. 이때 증발압력이 설정치 이하로 되면 압력 레규레이터(CPCE 12)가 작동되어 제상을 수행하게 되며, 미착상된 공기 중 수분은 고온의 응축기 폐열로서 증발기를 통과한 공기 중 수분을 가열하는 방식으로 구성이 되는 저온에서 제습이 가능한 제습기를 개발하였으며 실험한 결과, 정면풍속 1.0m/s에서 4.0 m/s까지 변화시켜 각 구간에서의 온도와 습도를 측정하였으며, 또한 냉각능력을 산출하였다. 그 결과 정면풍속 2.0m/s에서 냉각능력이 1.77 kcal/h로 가장 크게 나타났다.

제방붕괴로 인한 홍수파 선단의 축척효과 보정 방안 (Method for Scale Effect on Front of Flood Wave Occurred by Levee Breach)

  • 정석일;김수영;이승오
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2016년도 학술발표회
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    • pp.461-461
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    • 2016
  • 이상기후로 인하여 제방붕괴에 대한 위험성이 높아지고 있고, 이로 인해 발생하는 제내지 내 붕괴 홍수파에 대한 연구가 증가하고 있다. 특히 홍수파 선단의 이동 속도 추정은 제내지의 위험성을 예측하고, EAP 등을 수립하는데 매우 중요한 자료가 될 수 있다. 제내지에서의 선단 홍수파에 대한 예측을 하기 위해서는 해당 지역의 하천특성, 수리특성 및 제방 등 수공구조물 특성뿐만 아니라, 제내지의 지형 및 토지이용 현황 등을 조사하여 수리실험이나 수치모의를 수행해야 하는 것이 일반적이다. 수치해석의 경우 수리실험에 비하여 경제성 및 효율성 측면에서 뛰어날 수 있으나, 제방 붕괴과정 및 메커니즘을 반영하기가 불가능하다. 이에 반해 수리모형실험의 경우 제방붕괴 양상 및 그 과정의 재현이 가능하기 때문에, 제내지에서의 선단홍수파 전파에 관한 보다 정확한 양상을 파악할 수 있을 것이다. 그러나 이러한 실험은 실제 크기의 하천이 아닌 축소모형 또는 개수로에서 수행되었기 때문에, 초기 홍수파의 전파가 축척효과(Scale effect)의 영향을 받을 가능성이 매우 크다. 특히 선단 홍수파의 경우 파가 진행되면서 수심이 낮아지고, 유속이 느려지기 때문에 그 영향은 점차 증대된다고 할 수 있다. 이에 본 연구에서는 이러한 초기 선단 홍수파의 표면장력 영향을 고려한 보정 계수 산정에 대한 연구를 수리실험을 통해 수행하였다. 연구는 크게 4가지 과정으로 구성되었다. 첫째는 농도-표면장력의 관계 규명이며, 둘째는 표면장력-홍수파 전파 속도 관계 규명이다. 셋째는 표면장력과 Weber Number(We)의 관계를 도출하는 것이며, 마지막은 We를 이용하여 한계조건을 제시하는 것이다. 실험은 계면활성제의 농도를 변화시켜가며, 얇은 유리관(D=1.0 mm)에서 물의 상승 높이 및 접촉각을 측정하여 농도와 표면장력의 관계를 측정하였으며, 이러한 결과를 바탕으로 물의 표면장력을 변화시켜 가며 $0.5(B){\times}0.3(L){\times}0.2(H)m$의 Head-tank에 설치된 수문을 빠르게 개방하여, 홍수파가 퍼지는 양상을 관측하였다. 홍수파의 이동 속도는 진행시간에 따라서 퍼짐 넓이를 측정하여 제곱근을 취하는 방식으로 평균속도를 산정하였다. 이러한 관계를 이용하여 표면장력이 없을 경우의 이동속도 및 ??를 도출하였다. 본 연구를 통해 홍수파 전파 특성에 대한 수리실험 자료를 바탕으로 Weber 수를 도출하여 표면장력의 영향을 받는지 여부를 판단할 수 있으며, 표면장력의 영향을 받을 경우, 제시된 결과를 이용하여 홍수파 선단의 속도를 보정할 수 있다. 본 연구 결과는 토대로 축소모형으로 수행되는 홍수파 전파에 대한 수리실험결과의 보정 기초자료로 매우 유용할 것으로 판단된다.

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중국 호텔 직원에 대한 사회적 지지가 심리적 안녕감에 미치는 영향 - 상하이 지역 4, 5 성급 호텔을 중심으로 - (The Effect of Social Support of Chinese Hotel Employees on Psychological Well-Being - Focusing on 4, 5 Star Hotels in Shanghai -)

  • 정갑연
    • 국제지역연구
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    • 제22권2호
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    • pp.139-162
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    • 2018
  • 중국 호텔 산업은 양적, 질적으로 큰 성장을 나타내고 있지만, 직접 고객들과 접촉하면서 호텔을 대표하는 직원들에 대한 관리는 부족한 면이 있다. 따라서 본 연구는 중국 상하이에 있는 4, 5 성급 호텔 직원들을 대상으로 사회적 지지가 회복탄력성을 높여 그들의 심리적 안녕감에 긍정적인 영향을 미치는지를 살펴보고자 하였다. 즉, 본 연구에서는 선행연구들을 바탕으로 중국 호텔 직원들의 사회적 지지를 상사지지, 동료지지, 가족지지 등으로 보고, 직원들의 사회적 지지가 회복탄력성을 향상시켜 그들의 심리적 안녕감에 영향을 미치는지를 확인하고자 하였다. 이를 분석하기 위해 중국 상하이의 4. 5성급 호텔 종사원 322명을 대상으로 설문을 진행하여, 자료를 수집하였다. 실증분석 결과 중국 호텔 직원들의 사회적 지지 중 상사지지와 가족지지는 그들의 회복탄력성에 긍정적인 영향을 미친 반면에 동료지지는 영향을 미치지 않는 것으로 확인되었다. 또한 회복탄력성은 심리적 안녕감에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이러한 본 연구의 결과는 중국 호텔 직원들의 스트레스를 감소시키고, 지속적으로 심리적 안녕감을 가질 수 있는 방안으로 그들의 상사, 동료, 친구의 지지와 회복탄력성의 중요성을 제안함으로써 호텔 관리자들에게 직원들의 사회적 지지와 회복탄력성에 대한 올바른 이해를 돕고, 인적자원관리를 위한 효율적인 교육 및 훈련 프로그램에 개발에 대한 시사점을 제공할 수 있을 것이다.

리튬이차전지용 고체 전해질의 최근 진전과 전망 (Recent Progress and Perspectives of Solid Electrolytes for Lithium Rechargeable Batteries)

  • 김주미;오지민;김주영;이영기;김광만
    • 전기화학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.87-103
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    • 2019
  • 현재 상용화되어 있는 리튬이온전지에 사용하고 있는 비수계 유기 전해액은 가연성, 부식성, 고휘발성, 열적 불안정성 등의 단점 때문에 더욱 안전하고 장수명을 보이는 고체 전해질로 대체하는 연구가 진행되고 있으며, 이것은 전기자동차 및 에너지저장 시스템과 같은 중대형 이차전지에도 효율적으로 활용될 수 있다. 다양한 형태의 고체 전해질 중에서 현재 고분자 매트릭스에 활성 무기 충진재가 포함되어 있는 복합 고체 전해질이 고이온전도도와 전극과의 탁월한 계면접촉을 이루는데 가장 유리한 것으로 알려졌다. 본 총설에서는 우선 고체 전해질의 종류와 연혁에 관해 간단히 소개하고, 고분자 및 무기 충진재 (불활성 및 활성)로 구성되는 고체 고분자 전해질 및 무기 고체 전해질의 기본적 물성 및 전기화학적 특성을 개괄한다. 또한 이 소재들의 형상을 기준으로 입자형 (0D), 섬유형 (1D), 평판형 (2D), 입체형 (3D)의 형식으로 구성된 복합고체 전해질과 이에 따른 전고체 전지의 전기화학적 특성을 논의한다. 특히 리튬금속 음전극을 사용하는 전고체 전지에 있어서 양전극-전해질 계면, 음전극-전해질 계면, 입자간 계면의 특성에 관해 소개하고, 마지막으로 현재까지 보고된 관련 총설들을 참조하여 복합 고체 전해질 기술의 현재 요구조건 및 미래 전망을 알아본다.

드론 열화상 및 초분광 센서를 이용한 농업가뭄 모니터링 적용 연구 (A Study on Agricultural Drought Monitoring using Drone Thermal and Hyperspectral Sensor)

  • 함건우;이정민;배경호;박홍기
    • 한국지리정보학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.107-119
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    • 2019
  • 최근 ICT 기술과 융합 기술의 발달에 힘입어 농업 분야에서도 많은 변화와 혁신이 추구되고 있다. 과거 전통적인 농작물 생산 중심의 농업 분야에서 다양하고 첨단의 기술과 접목되어 6차 산업이라는 새로운 산업 형태를 만들고 있으며 이러한 변화의 핵심은 농업 분야에서도 ICT 기술과 공간정보의 융합이 있기에 가능하다. 센서를 이용한 농작물 작황 분석과 이를 공간정보 기반에서 분석 및 예측하기 위한 다양한 접근이 시도되고 있다. 특히 최근에는 드론을 이용한 농작물 재배 및 스마트 팜을 위한 다양한 연구가 추진되고 있다. 하지만, 이러한 연구는 드론을 이용한 직접적인 농작물 재배 등의 물리적 활용과 공간정보 구축에 국한되는 문제가 있다. 이에 본 연구에서는 농작물 재배에 가장 영향을 미치는 가뭄에 대한 과학적이고 객관적인 지표를 산출하기 위한 드론을 활용한 농업 가뭄 모니터링 체계 구축을 목표로 하였다. 이를 위해 가뭄 우심지역에 대하여 토양수분 센서를 설치하여 실제 토양의 수분을 확인하고 기준값으로 설정하여 드론에서 구축한 온도 및 정규식생지수를 비교분석하였다. 드론 열화상 센서에서는 대상 지역의 토양 온도를 산출하였으며, 드론 초분광센서를 이용하여 대상 농작물의 정규식생지수를 산출하여 실제 대상 지역의 농작물의 작황상태 및 토양온도와의 상관관계를 분석하였으며, 이를 검증하기 위해 대상지역에 설치된 토양수분측정 센서를 이용하여 실제 토양수분을 산출하여 드론 성과와 비교 분석하였다. 이와 같은 접근은 비접촉 방식으로 작물의 종류, 작물의 생육정도, 단위면적 당 작황상태에 관한 데이터를 생산하여 효율적인 가뭄피해 분석에 활용될 것으로 기대된다.

부상분리 공정의 접촉영역 모델을 이용한 이산화탄소와 공기 기포의 충돌 및 입자 분리효율 비교 평가 (Comparative Evaluation on Collision and Particle Separation Efficiency between CO2 Bubbles and Air Bubbles Using Contact Zone Model of Flotation Process)

  • 양종원;최용호;채인석;김미숙;정용훈;김태금;곽동희
    • 한국물환경학회지
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    • 제35권1호
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    • pp.64-71
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    • 2019
  • In recent years, carbon dioxide ($CO_2$) bubbles emerged as the most widely applied material with the recycling of sequestrated storage to decrease global warming. Flotation using $CO_2$ as an alternative to air could be effective in overcoming the high power consumption in the dissolved air flotation (DAF) process. The comparison of DAF and DCF system indicated that, the carbon dioxide flotation (DCF) system with pressurized $CO_2$ only requires 1.5 ~ 2.0 atm, while the DAF system requires 3.0 ~ 6.0 atm. In a bid to understand the characteristics of particle separation, the single collector collision (SCC) model was used and a series of simulations were conducted to compare the differences of collision and flotation between $CO_2$ bubbles and air bubbles. In addition, laboratory experiments were sequentially done to verify the simulation results of the SCC model. Based on the simulation results, surfactant injection, which is known to decrease bubble size, cloud improved the collision efficiency of $CO_2$ bubbles similar to that of air bubbles. Furthermore, the results of the flotation experiments showed similar results with the simulation of the SCC model under anionic surfactant injection. The findings led us to conclude that $CO_2$ bubbles can be an alternative to air bubbles and a promising material as a collector to separate particles in the water and wastewater.

사회복지 실천현장의 신자유주의적 성과주의 역설: 사회복지사의 경험을 중심으로 (Paradox of Meritocracy of the Social Welfare Organization in the Neoliberalism)

  • 이인숙
    • 한국사회정책
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    • 제24권1호
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    • pp.239-275
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    • 2017
  • 본 연구는 사회복지 실천현장에 나타난 신자유주의적 성과주의 요구에 대해 사회복지사들이 '무엇'을 '어떻게' 경험하는가를 탐구함으로써 이들 경험의 본질적 주제를 드러내고자 하였다. 자료수집을 위해 사회복지사 18명에 대한 심층면접을 실시하고, 수집된 자료를 Colaizzi(1978)가 제안한 현상학적 방법으로 분석했다. 분석결과 총 4개의 본질적 주제로 통합되었다. 연구참여자들은 효과성과 효율성에 기반 한 의미 있는 성과 아닌 '실속 없는 형식적 성과' 만들기에 매몰되어 있었다. 이러한 상황에서 클라이언트는 실적의 도구가 되고, 현장과의 접촉점이 상실되며, 서비스의 질적 저하와 기관 간 연계가 약화되는 '본연의 실천 가치에 역행하는 실천의 재조직화'로 나타난다. 또한, 성과주의가 의도했던 책임성의 구현은 외부에서 의해 부여된 성과기준에 매몰되어 성과가 불명확한 도전은 포기하게 되는 '재량권 없는 경직된 책임성'만 남게 되었다. 실속 없는 형식적 성과 만들기에 몰두하는 동안 사회복지 실천현장의 가치와 특수성을 담아내지 못하고 실천가의 자부심을 상실하는 '사회복지 정체성 침식'을 경험하였다. 이러한 결과는 성과주의의 본래 목적이 전치된 성과주의의 역설과 실패로 귀결된다. 연구결과를 바탕으로 논의와 정책 방향을 제시 하였다.

선경화 시간에 따른 항공기 De-icing용 나노실리카/폴리우레탄 복합재료 탑코트의 소수성 및 접착특성 평가 (Hydrophobicity and Adhesion of SiO2/Polyurethane Nanocomposites Topcoat for Aircraft De-icing with Different Pre-curing Time)

  • 김종현;신평수;권동준;박종만
    • Composites Research
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    • 제33권6호
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    • pp.365-370
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    • 2020
  • 항공기에서의 결빙은 동체 전체의 무게증가로 인한 연료 효율 감소, 거칠기 생성으로 인한 항력 증가, 센서의 오작동 등과 같은 문제의 원인이다. 폴리우레탄 탑코트의 경화온도인 60℃에서의 경화시간에 따른 폴리우레탄 탑코트의 점도를 실시간으로 측정하였고 이 데이터를 통해 폴리우레탄 탑코트의 시간 별 점도에 대해 파악하였다. 실리카 나노입자는 초음파분산을 통해 에탄올 내에 분산을 진행하였고, 각기 다른 선경화 조건을 진행한 폴리우레탄 탑코트 위에 도포를 진행하였다. 실리카/폴리우레탄 탑코트 나노복합재료의 표면 거칠기는 표면 거칠기 테스터를 사용하여 측정하였고 표면 거칠기 데이터는 3차원 매핑을 사용하여 시각화 하였다. 선경화 시간에 따른 실리카와 폴리우레탄 탑코트 간의 접착력은 인발접착시험(Adhesion pull-off test)를 통하여 평가를 진행하였고, 표면 소수성은 증류수를 이용한 정적 접촉각을 통해 평가하였다. 최종적으로 소수성 표면을 위한 폴리우레탄 탑코트의 최적 선경화 시간을 파악할 수 있었다.

지질단면을 이용한 교량 접속도로 퇴적암 비탈면의 안정성 검토 연구 (Slope Stability for Bridge Access Road on Sedimentary Rocks using Geological Cross Sections)

  • 임명혁
    • 문화기술의 융합
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    • 제8권1호
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    • pp.507-512
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    • 2022
  • 연구 대상은 교량 접속도로 절취비탈면으로서 파괴 위험 가능성이 큰 중생대 경상누층군 퇴적암 비탈면이다. 비탈면의 구성 암석은 사암, 미사암 및 암맥이며, 불연속면은 층리와 전단절리, 인장절리 및 암맥 접촉면이 발달한다. 구간별로 파괴의 유형과 규모는 암석의 종류와 불연속면의 배향에 따라 다양하나 평면파괴가 우세하고, 파괴암체의 크기는 대부분 1m3 이하이다. face-mapping 자료, SMR, 암석의 물성·역학시험, 구간별 지질횡단면도 분석 및 한계평형해석으로 종합·검토한 결과, 대표적 단면 모두 건기 시와 우기 시의 허용안전율에 크게 미달하여 대책공법이 필요 하였다. 따라서 경제성, 효율성, 현장 특성, 등을 고려하여 비탈면 내 구간과 위치에 따라 대책공법 안을 제안하였고 대책공법을 적용한 후 비탈면의 건기 및 우기 시의 안전율은 모두 허용안전율을 상회 하였다. 특히, 법면 face-mapping 자료와 법면에 수직인 여러 대표 구간의 지질횡단면도, 그를 기본도면으로 사용한 한계평형해석 및 대책공법 제시는 비탈면의 객관적인 해석 및 안정성 검토의 합리적인 도구가 될 것으로 예상한다.