• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.103-103
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• 2010

최근 산화물 반도체 기반의 박막 트랜지스터에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며 이는 공간 점유와 시각적 제약을 해소하려는 시장의 요구에 의해 주도되고 있다. 특히, 2004년 Hosono 그룹에서 비정질 InGaZnO (IGZO) 박막을 이용한 TFT소자 제작을 발표하고 우수한 특성을 확인한 후 산화물 TFT 소자기술에 대한 전 세계적인 연구개발의 계기가 마련되었다. 그러나 다성분계 화합물로 이루어진 산화물 반도체의 경우 복잡한 성분 조합과 조절이 어렵고, 장비의 제약으로 인해 상업화에 어려움을 겪고 있다. 따라서 이성분계 물질인 산화아연의 경우 아직까지 상업화 이점이 남아있으며, 우수한 전기적 성질과 광학적 장점이 있기에 그 가능성은 더욱 커지고 있다. 그럼에도 불구하고 산화아연계 박막 트랜지스터의 경우 바이어스에 의해 동작전압이 이동하는 DC신뢰성의 문제점이 남아 있고, 이를 해결하기 위해 안정적인 절연막 또는 보호막을 도입하려는 연구가 많이 시도되고 있다. 본 연구에서는 산화아연기반의 박막 트랜지스터에 Hf이온을 도핑하여 DC 신뢰성을 향상시키는 연구를 진행하였다. Bottom gate 형식의 HfZnO TFT를 제작하였고 전이 특성을 살펴본 결과 Hf의 함량이 늘어날수록 이동도는 감소하는 경향이 나타났다. 또한 Hf의 미량 도핑에도 불구하고 산소결핍에 의한 결함 생성을 억제하여 DC신뢰성이 상당히 향상되었으며, 이는 특히 산화물 반도체와 절연막 사이의 결함을 억제하여 생긴 결과로 생각된다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.8 no.3
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• pp.31-36
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• 2001

Dielectric material which is suitably designed for the application of the high-temperature electrostatic chucks(HTESCS) has been developed. Electrical resistivities and dielectric constants of the dielectric layer satisfy the demands for the proper operation of HTESC, and coefficient of thermal expansion(CTE) of the dielectric material matches well that of the bottom insulator so that it secures stable structure. In order to minimize particle contaminations, borosilicate glass(BSG) is selected as a bonding layer between dielectric layer and bottom insulator, and silver is used as a electrode. BSG is solidly bonded between upper dielectric and bottom insulator, and no diffusions or reactions are observed among silver electrode, dielectric, and glass layers. The chucking characteristics of the fabricated HTESC are found to be superior to those of the commercialized one.

• Journal of IKEEE
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• v.23 no.2
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• pp.364-369
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• 2019

The ratios of compliant branch circuit of leakage current and insulation resistance were 68.4% and 90.8%, respectively at the lamp load, 64.6% and 96.5% at the heat load, 86.7% and 88.9% at the power load. Limit of residual current of the zero phase secondary current value at the zero phase primary current was 100 A when rated primary current 400 A more than. The reason why the ratio of branch circuit of the leakage current was less than the ratio of compliant branch circuit of the insulation resistance might be that the leakage current includes the capacitive leakage current and the zero phase current.

• Journal of IKEEE
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• v.23 no.3
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• pp.811-816
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• 2019

The silicon-adsorbed oxygen(Si-O) superlattice grown by ultra high vacuum-chemical vapor deposition(UHV-CVD) was introduced as an epitaxial barrier for silicon quantum electron devices. The current-voltage (I-V) measurement results show the stable and good insulating behavior with high breakdown voltage. It is apparent that the Si-O superlattice can serve as an epitaxially grown insulating layer as possible replacement of silicon-on-insulator(SOI). This thick barrier may be useful as an epitaxial insulating gate for field effect transistors(FETs). The rationale is that it should be possible to fabricate a FET on top of another FET, moving one step closer to the ultimate goal of future silicon-based three-dimensional integrated circuit(3DIC).

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.21 no.7
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• pp.614-623
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• 2002

In this paper, it was manufactured an interferometric optical fiber sensor and measured partial discharge acoustic signal caused by defect of power facilities such as power cables, transformers and gas insulation. Acrylic and aluminium mandrels wound with fiber-optic were chosen as optical fiber sensor, Sagnac and Mach-Zehnder interferometers were chosen to detect discharge acoustic signals. The two fiber optic interferometers were identified by using the PZT. Discharge experimentation set in the discharge imitation cell in oil tank and the discharge phenomena was generated. Based on the experimental result, to detect the discharge acoustic signal, Sagnac interferometer can detect stably the acoustic signal than the Mach-Zehnder interferometer. It is shown that Sagnac optical fiber sensor can detect the discharge acoustic signals effectively.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.07b
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• pp.984-986
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• 2005

변압기 권선내에서 발생되는 고장을 유한요소 전자계해석 프로그램(FLUX2D)을 이용하여 해석하였다. 50kVA, 13200/230(V) 단상 변압기의 권선간 고장시 전자계해석을 1차측 권선고장(turn-to-earth)과 2차측 권선고장(turn-to-turn)을 모의하여 해석하였다. 권선내부 고장 및 2차측 단락시 누설 자속분포, 권선간의 힘의 분포, 변압기 내부 권선의 정상시와 단락시의 전자계비교, 단락권선과 권선 상호간의 전자계 해석을 통하여 변압기에 미치는 영향을 해석하였다. 변압기 권선간 단락시의 전자력 분석결과는 변압기의 절연설계 및 단락기계력에 대한 프레임 구조 설계를 위한 자료로 활용될 수 있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.10b
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• pp.98-100
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• 2003

Cable접속장치인 정격 25.8kV 600/1200A Plug-in socket의 절연설계, 전계분포해석 및 열계해석을 위하여 전자계 및 열해석 프로그램인 FLUX2D 및 3D를 사용하여 simulation하였다. 전계해석은 plug-in 접속장치의 절연물, shield영향, 각종금구의 연면 전계강도를 계산하여 기준 전계와 비교 검토 하였다. 해석결과 shield의 위치와 형상이 최고 전계강도를 완화시키는데 중요한 역할을 하고 있으며, 각종 금구류의 형상 설계도 전계강도를 결정하는 요인이 되었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.09a
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• pp.56-57
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• 2008

폴리머 애자는 자기제 애자에 비해서 경량이면서 오손특성이 내환경성이 우수하여 전세계적으로 배전 및 송전선로에 사용되고 있으며, 우리나라에서는 1973년 철도청에서 전철화 구간에 처음으로 사용하기 시작하여, 배전선로에는 90년대 중반에 본격적으로 사용되기 시작하였다. 현재 배전선로에 최초로 설치된 애자가 10여년이 지난 현재 각 지역의 환경적인 요소에 따라 폴리머애자 성능에 상이한 차이를 보이고 있다. 특히, 최근에 들어 배전선로현장에서 오염에 의한 폴리머애자 사고가 빈번하게 보고되고 있는바, 본 논문에서는 폴리머애자의 소손 분석 방법과 애자 표면의 오손이 절연성능에 미치는 영향을 연구 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.430-431
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• 2008

최근에 전력설비에 대한 시각적 효과, 전자계 등 민원으로 인하여 대용량 가공송전 선로를 지중화할 수 있는 가스절연 지중송전선에 대한 관심이 고조되어 이에 대한 국산화 개발이 진행되고 있다. 본 논문은 국산화 개발로 추진 중인 GIL 시스템의 개발을 위한 주요 기술사항을 분석한 것으로 GIL 시스템의 효율적 설계를 위한 내용을 다룬다. 이 결과들은 향후 GIL시스템의 국산화 개발 실시설계에 적극 반영될 예정이다.

• Proceedings of the Korean Society of Marine Engineers Conference
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• 2011.10a
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• pp.69-69
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• 2011

본 논문에서는 유입변압기의 절연진단을 위한 기초연구로 유중 부분방전에 의해 발생하는 전자파의 검출과 분석에 대하여 기술하였다. 유중 방사전자파 측정에는 공진주파수가 1 GHz인 모노폴 안테나를 제작하였다. 절연유 내부에 침-평판 전극계를 설치하고 0~50 kV까지 고전압을 인가시키면서 유중 부분방전의 발생을 모의하였다. 실험결과, 92.3 pC의 부분방전 발생시 1.28 V의 신호가 검출되었다.