• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
• /
• 1993.10a
• /
• pp.161-165
• /
• 1993

최근 산업의 발달과 함께 제품의 고정도화,다양화,생산성 향상등의 요구에 의해 연삭가공에 있어서도 고능률.고정도가공이 주목되고 있다. 특히 반도체산업,광산업 등에 넓게 응용되고 있는 광학소자 가공에서는 가공정도와 가공능률이 동시에 달성되는 것에 대한 요구가 많지만, 이러한 광학소자의 가공에 있어서 기존의 연마방법은 가공정도와 가공능률에 한계가 있었다. 그런데 연삭가공에서 고능률,고정도가공의 한가지 방법으로 "전해 인프로세스드레싱(Electrolytic In-Process Dressing;ELID)연삭법"이 개발되어 고강도 메탈본드숫돌에 의한 초경합금,세라믹재료등의 경취성재료를 고품위 가공하고 있다. ELID연석법이란 숫돌의 다이아몬드나 cBN등의 연삭입자를 결합하고 있는 금속결합재를 전기분해에 의해 적당량 제거하여 일반적인 연삭과 같이 연삭입자를 연속적으로 돌출시켜 가공이 유지되도록 하는 연삭방법이다. 본 연구는 ELID연삭기술을 이용하여 원통연삭에서 철갈재료 및 세라믹재료의 고능률.고정도 가공특성을 살펴보았다. 원통연삭에서의 주철파이바본드숫돌 및 코발트본드숫돌에 의한 ELID연삭과 비트리파이드본드숫돌에 의한 일반연삭과의 고능률 가공특성을 비교하였다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
• /
• v.17 no.2
• /
• pp.89-96
• /
• 2000

This paper describes the characteristic of die finishing to obtain smooth surface using electro-chemical grinding after cutting process. Electro-chemical grinding is possible under lower load and tool wear comparing with those in the mechanical grinding. Conventionally, if the metal bonding material of the grinding wheel is directly t contacted with workpiece, the current is circulated without electrolytic phenomena. Sometimes, electrical discharge is occurred between tool and workpiece. To cope with this problem, the metal-resin bonded pellet was used in this study. This pellet is composed of optimal volume of metal and resin powders and its characteristics are changable with the each volume of powders. Finally, high efficient die finishing is realized using metal resin bonded pellet in electro-chemical grinding.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
• /
• 2008.11a
• /
• pp.164-164
• /
• 2008

금속배선공정에서 높은 전도율과 재료의 값이 싸다는 이유로 최근 Cu를 사용하였으나, 디바이스의 구조적 특성을 유지하기 위해 높은 압력으로 인한 새로운 다공성 막(low-k)의 파괴와, 디싱과 에로젼 현상으로 인한 문제점이 발생하게 되었다. 이러한 문제점을 해결하고자, 본 논문에서는 Cu 표면에 Passivation layer를 형성 및 제거하는 개념으로 공정시 연마제를 사용하지 않으며, 낮은 압력조건에서 공정을 수행하기 위해, 전해질의 농도 변화에 따른 Liner sweep voltammetry 법을 사용하여 전압활성화에 의한 전기화학적 반응이 Cu전극에 어떤 영향을 미치는지 연구하였으며, 표면 조성을 알아보기 위하여 Energy Dispersive Spectroscopy (EDS) 분석을 하였고, Cu disk의 결정성과 배향성 관찰을 위해 X-Ray diffraction (XRD)로 금속 표면을 비교하여 실험 결과로 얻어진 데이터를 통하여 ECMP 공정에 적합한 전해액 선정과 농도를 선택하였다.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
• /
• v.3 no.3
• /
• pp.52-57
• /
• 2004

Many kinds of gases, such as erosion gas, dilution gas, and toxic gas have been used in manufacturing process of LCD at semiconductor. In order to increase accumulation rate of manufacturing process, high degree of purity in these gases and minimized metalllic dust are required. All wetted stainless steel surface must be 316L electro-polished with $0254{\mu}m$ in average. Based on the AES analysis, Cr/Fe 11 and $Cr_2O_3$ thickness $25{\AA}$ are measured Molybdenum and silicon contaminants which is characteristic of stainless steel and oxygen were found on the surface.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
• /
• v.12 no.2
• /
• pp.114-120
• /
• 2013

An EP(Electrolytic Polishing)-MAP(Magnetic Abrasive Polishing) hybrid process was applied to remove burr on the micro pattern. Micro pattern fabrication processes are combined with micro milling and EP-MAP hybrid process for deburring. Depending on the micro milling conditions which are applied, micro burrs are formed around the side and top of the pattern. The EP-MAP deburring is used to remove these burrs effectively. To optimize removal rate and form error in the EP-MAP hybrid process, a design of experiment was performed. The effect of deburring process and form error of micro pattern are evaluated via SEM images and the results of AFM.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
• /
• 1995.10a
• /
• pp.82-85
• /
• 1995

Magnetic-electrolytic-abrasive polishign(MEAP) systemwas newly developed and the finishing characteristics of Cr-coated roller was analyzed. The paper describes the operational principle of MEAP system and magnetic field effect on the MEAP process by experimental results. The finishing characteristics and optimal finishing condition for Cr-coated roller were experimented and analyzed.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
• /
• 1994.10a
• /
• pp.108-112
• /
• 1994

The paper describes the effects of magnetic field on the electrochemical polishing process in the view of ionic in the electrolyte. Theoretical background was suggested how magnetic field increases the material removal efficiency and surface finishing ability Magnetic field changes the jonic movement in the electrolyte from linear motion to curved or complex oscillating one, thus increases the electrolytic current density and, as the results, the finishing efficiency.

• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.1 no.1
• /
• pp.28-31
• /
• 1992

초고진공 시스템을 구성할 때 고려할 요소는 진공용기의 세척과 표면조도, 진공용 기의 재질, 기타 방출기체의 요인이다. 초고진공용기를 전해연마 처리하였으며, 처리한 진공 용기의 표면조도를 표면 조도기(surface profiler)로 측정하였다. 진공용기는 직경 300mm이 고 높이는 720mm로 하였다. 설치한 초냉각 펌프로 18시간 배기후 2.9 $\times$ 10-10Torr를 얻었 으며, 계속해서 초고진공용기를 250에서 60시간 baking 후 최저도달 압력이 3.08 $\times$ 10-11torr에 도달하였다 누드 이온게이지를 이용하여 초고진공용기의 최저도달압력과 누출비 를 측정하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
• /
• 2003.05a
• /
• pp.116-119
• /
• 2003

본 연구에서는 LCD 공정에 사용되는 ball spacer를 전해 연마(Electro-Polishing, EP) 처리된 스테인리스(stainless)관 내부에서 마찰대전으로 하전시켜 하전량을 측정하는 하전 메커니즘과 하전 특성을 관찰하였다. Ball spacer의 농도를 일정하게 하고, 유입하는 공기의 유량을 201pm, 301pm으로 변화시키면서 실험하였다. 유입되는 공기의 유량은 일정하게 하여 ball spacer의 농도를 분진공급장치(dust feeder)를 통해 변화시키면서 하전수를 측정하였다. 이 때 측정결과는 EP 처리된 스테인리스관에 유입되는 공기의 유량이 증가했을 때, 하전이 더 많이 되는 것을 보여주었다. 또한 일정한 공기의 유량에서 주입되는 ball spacer의 농도가 증가했을 때 입자당 하전수가 증가하였다.

• Journal of Technologic Dentistry
• /
• v.34 no.2
• /
• pp.145-153
• /
• 2012

Purpose: The purpose of this study was to investigate to effect of the electro-polishing condition according to electrolyte temperature and current and polishing time on surface morphology and composition by scanning electron microscopy(SEM) and energy dispersive X-ray spectrometer(EDS) in dental casting Co-Cr-Mo alloys. Methods: 16 specimens were divided into 4 groups which have each 4 specimens. The size of specimens were 10mm wide and 5mm height. the electro-polishing of specimens are by polishing solution temperature and times in Co-Cr-Mo alloy by SEM and EDS analysis. Results: The results shows that most smooth surface is obtained when electro-polishing is performed at $49^{\circ}C$ for 30-40sec with electro gap of 10mm and 8 voltage. Conclusion: The morphologies of specimens after electro-polishing were scratch absent and significant between at $40^{\circ}C$ for 45sec and at $49^{\circ}C$ for 45sec.