• 제목/요약/키워드: 전온도

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Study on deep Si etching mechanism using in-situ surface temperature monitoring in $SF_6/O_2$ plasma

  • 임영대;이승환;유원종
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.405-405
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    • 2010
  • Thermocouple 을 통해 Inductively coupled plasma 에 노출된 실리콘 기판 표면온도를 공정조건 변화 에 따라 실시간 (in-situ) 측정하였다. 이를 바탕으로 공정변화에 따른 플라즈마 내 활성종의 거동을 연구하였다. 더 나아가 기판의 표면온도변화 및 활성종의 거동해석을 토대로 공정변화에 의한 딥 실리콘 구조형성 메커니즘을 해석하였다. 플라즈마에 노출된 기판표면 온도를 상승시키는 주 활성종은 positive ion 이며 ICP power, Bias power, 플라즈마 압력 변화에 따라 positive ion 의 밀도 및 가속에너지가 변화하는데 이러한 거동변화는 기판의 표면온도를 변화시킴을 알 수 있었다. 딥 실리콘 구조의 측벽 및 바닥에 형성되어 있는 passivaiton layer 즉 $SiO_xF_y$(silicon oxyflouride) 는 온도에 매우 민감한 물질이며 이는 딥 실리콘 구조 내부로 입사하는 positive ion 거동변화에 따라 그 성질이 변화하여 deep Si 구조 형상을 변화시킴을 알 수 있었다. 기판표면 온도가 $0^{\circ}C$ 이하의 극저온으로 유지된 상황에서 플라즈마를 방전할 경우 positive ions 의 가속에너지로 인해 기판표면온도가 상승하며 액화질소 유량증가를 통해 다시 기판의 표면온도를 유지시킬 수 있었다. 이를 통해 플라즈마 방전 전과 방전 후의 기판 표면온도는 상온의 기판뿐만 아니라 극저온의 기판에서도 다름을 알 수 있었다. 냉각환경 변화에 따른 딥 실리콘 구조형성 메커니즘을 positive ions 거동 그리고 온도 감소에 의한 $SiO_xF_y$ 성질 변화를 이용해 해석할 수 있었다.

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보리전분(澱粉)의 특성(特性)에 관한 연구(硏究) 제2보 보리 전분(澱粉)의 호화온도(糊化溫度) 및 Alkali 수(數)에 대하여 (Studies on the Properties of Barley and Naked Barley Starch Part II. On the Gelatinization Temperature and Alkali Number of Starch)

  • 김용휘;김형수
    • 한국식품과학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.42-46
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    • 1976
  • 보리전분(澱粉)의 품종별(品種別) 특성(特性)을 알아보기 위하여 겉보리 11개 품종(品種)과 쌀보리 13개 품종(品種)에서 분리(分離)한 전분(澱粉)의 호화온도(糊化溫度) 및 Alkali수(數)를 측정(測定)한 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 시료(試料) 전분(澱粉)의 호화개시온도(糊化開始溫度) 및 완료온도(完了溫度)는 각각(各各) $51{\sim}59^{\circ}$$58{\sim}64^{\circ}C$ 사이에 분포(分布)하고, 쌀보리의 평균치(平均値)$(52.9{\sim}62.6^{\circ}C)$가 겉보리의 평균치(平均値)$(50.8{\sim}59.0^{\circ}C$보다 약 $3^{\circ}C$ 높고, 품종간(品種間)에도 약간의 차이(差異)를 나타내고 있다. 2. 호화(糊化) 진행(進行) 중 전온도(全溫度) 범위(範圍)에 걸쳐 겉보리가 쌀보리보다 동일(同一) 온도(溫度)에서의 호화(糊化) 비율(比率)이 항상 크다. 3. 알칼리수는 모두 8.0에서 9.5 사이에 분포되어 있고 겉보리와 쌀보리 간에는 평균값이 각각 8.8 및 8.7으로서 별차이(別差異)가 없다.

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비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 TiC 박막의 트라이볼로지 특성에 미치는 기판온도 영향

  • 박용섭;서문수;홍병유;이재형
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.703-703
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    • 2013
  • 다이아몬드상 탄소 박막(Diamond-like carbon, DLC) 박막은 낮은 마찰 계수, 높은 내마모성, 화학적 안정성, 적외선 영역에서의 높은 투과율 등의 장점을 바탕으로 MEMS (Micro-Electro Mechanical System) 소자와 MMAs (Moving Mechanical Assemblies)의 고체윤활코팅, 마그네틱 미디어와 하드디스크의 슬라이딩 표면 등 다양한 분야에 코팅소재로써 응용되어왔다 [1,2]. 현재 전기철도용 집전판은 마찰이 적고 전도성을 지니는 카본 소재로 구성되어 있다. 그러나 그 마모 비율이 너무 심하여 이를 개선할 수 있는 방안으로 고경도 저마찰력을 지니는 DLC 박막을 코팅 소재로써 제안하고자 한다. 그러나 기존에 DLC 박막은 절연특성이 매우 우수하기 때문에 기존에 전도성을 지니는 카본 집전판에 적용하기에는 어려움이 따른다. 따라서 DLC 박막 내에 실리콘(Si) 또는 금속(Metal)을 첨가시키거나, 금속 중간층을 포함시켜 전기적으로 전도특성을 향상시키는 방안이 제시되고 있으며, 본 연구에서는 DLC 박막과 유사하게 우수한 경도특성을 지니고, 낮은 마찰계수등을 지니는 비정질 탄소박막을 연구하여 카본 집전판에 코팅하고자하며, 특히 비정질 탄소박막에 금속 Ti를 도핑하여 집전판과의 접착력과 전기적 전도 특성을 향상시키고자 한다. Ti가 도핑된 탄소박막(TiC) 박막은 비대칭 마그네트론 스퍼터링(unbalanced magnetron sputtering; UBMS) 시스템을 이용하여 제작하였으며, 스퍼터링 조건 중 기판에 인가되어지는 기판온도에 따라 변화되어지는 TiC 박막의 트라이볼로지(Tribology) 특성을 고찰하고자 하였다. 증착시 기판온도의 증가는 TiC 박막의 경도, 마찰계수 특성등 트라이볼로지 특성을 향상시켰으며, 전기적 전도 특성을 향상시켰다. 이러한 결과는 스퍼터링 방법에 의해 증착되어진 TiC 박막내에 존재하는 sp2 결합과 관계가 있음을 확인할 수 있으며, 트라이 볼로지 특성은 TiC 박막내에 sp2 탄소결합의 비율 증가와 관련되어졌다. 특히 sp2 탄소결합은 TiC 박막 증착시 증가된 기판온도와 밀접한 관계가 있으며 기판온도의 증가에 따라 나노결정 클러스터의 크기와 수의 변화와 밀접한 관계가 있음을 확인하였다. 결국 기판온도는 TiC 박막의 트라이볼로지 특성을 향상시켰으며, 전기적 특성 또한 향상시켜 전기철도 집전판에 응용을 위한 소재로 평가할 수 있다.

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전력퓨즈의 열화현상 개선에 관한 연구 (Study of Deterioration Improvement of Power Fuse)

  • 송재기;김환용
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제15권6호
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    • pp.3827-3831
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    • 2014
  • 본 논문은 변압기 1차측에 설치된 전력퓨즈의 열화현상을 진단하고 문제점을 해결하고자 한다. 전력퓨즈의 열화현상은 퓨즈 엘리멘트에 반복하여 흐르는 평상전류에 의해 오동작하는 주된 원인이 된다. 따라서 전력퓨즈 전, 후단과 옥내 변전실내 전력기기의 온도변화와 전력퓨즈 열화현상의 관계를 규명하여, 열화현상의 원인을 제거하여 부하설비의 증설을 조사하여 전력퓨즈를 재산정하였다. 변압기는 개선전과 비교하여 평균 $6[^{\circ}C]$가량 하락하였고, 전선로의 온도는 $7{\sim}8[^{\circ}C]$가량 개선되었다. 전력용 콘덴서와 직렬리액터는 실내온도 및 기기동조화와 관계되어 $2{\sim}3[^{\circ}C]$ 높은 상태 유지됨을 알수 있었다. 연구대상인 전력퓨즈 3상간 온도차는 $0.5{\sim}1.0[^{\circ}C]$로 안정화 됨을 보였다. 이에 따라 옥내 변전실내의 환경적인 전력기기간의 온도발생요인을 제거하여 전력퓨즈의 열화 및 온도상승을 억제할 수 있음을 제안 하였다.

수용액에서의 Eu(Ⅲ) 착물의 형광스펙트럼에 영향을 미치는 온도 및 리간드 효과에 관한 연구 (Temperature and Ligand Effects on the Eu(Ⅲ) Emission Spectra in the Aqueous Solution)

  • 이인숙;김건
    • 대한화학회지
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    • 제34권6호
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    • pp.548-554
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    • 1990
  • Eu(III)이온과 간단한 리간드 사이의 착물형성에 대한 온도와 리간드의 영향을 형광방출 스펙트럼을 이용하여 연구하였다. 온도와 리간드에 따라 hypersensitive 전이($^5D0\; {\to}\;^7F_2$)와 nonhypersensitive 전이($^5D0\; {\to}\;^7F_1$)의 상대적 세기는 온도와 리간드의 영향을 크게 받는다. 이러한 상대적 세기변화를 내부권 착물 형성에 의한 평형상수의 변화로 해석하여 $Eu(H_2O)_X^{3+}$ 에서 EuL(H$_2O)_{X-1}^{2+}$로의 내부권 착물 형성시의 열역학적 함수들을 계산하는데 사용하였다. EuCl(H$_2O)_{X-1}^{2+}$의 내부권 착물 형성시의 $\Delta{H}$는 대략 15 kJ/mol이고 온도에 따라 거의 영향을 받지 않는다. 그러나, EuNO$_3(H_2O)_{X-1}^{2+}$의 내부권 착물 형성시의 $\Delta{H}$는 온도에 따라 25$^{\circ}C$에서는 -11 kJ/mol 그리고 250$^{\circ}C$에서는 47 kJ/mol로 증가하였다.

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3D 시각피로 유발에 따른 안면 온도 변화 (Variation of facial temperature to 3D visual fatigue evoked)

  • 황성택;박상인;원명주;황민철
    • 감성과학
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    • 제16권4호
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    • pp.509-516
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    • 2013
  • 본 연구는 3D 산업의 안전성 문제인 3차원 콘텐츠로 유발된 시각피로를 안면 온도 변화로 정량화하는 방법을 제안하고자 한다. 콘텐츠 시청 전과 후에 각 1분간 열화상 카메라를 이용하여 안면온도를 측정하였고 주관설문과 인지부하 실험을 통해 시각피로를 판단하였다. 2D와 3D의 시청 전과 후를 비교하여 3D 콘텐츠 시청에 따른 시각피로 유발 시 안면 온도에 차이를 확인하였다. 시청 전과 후에 차이를 비교한 결과 주관 설문과 인지부하 실험은 유의한 차이를 보였고 ERP latency는 3D 시청 시 증가하는 것으로 나타났다. 안면 온도의 경우 미간(forehead)과 코끝(tip of the nose) 영역의 최대값을 비교 결과 유의한 차이를 보였다. 선행 연구에서 3D 시각피로 발생 시 교감신경계가 항진됐던 결과와 비교해보면 교감신경계가 항진되면 심박 수가 증가하고 목동맥계(carotid arteries system)를 통한 안면으로의 혈류량이 증가하게 된다. 2D와 3D 시청 시 교감신경계 항진 정도에 따라서 혈류량 변화로 안면 온도에 영향을 미치는 것으로 확인되었다. 본 연구는 열화상이미지를 이용한 3D 시각피로 측정 가능성을 확인하는데 의의가 있다.

국소적 냉 요법이 정상 성인의 조직과 말초의 산소포화도, 말초 혈류, 피부 온도, 체온에 미치는 효과 (Effects of local cold application on tissue & peripheral oxygen saturation, peripheral blood flow, skin temperature, and body temperature of healthy adult)

  • 김승옥;신용순
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제21권10호
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    • pp.127-136
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    • 2020
  • 목적: 본 연구는 국소적 냉 요법 중 가장 일반적으로 적용하는 냉 젤 팩과 얼음 팩을 적용 한 후와 수동적 재가온 후의 생리적 변화를 확인하여 냉 요법의 적용시간과 간격에 대한 근거를 마련하고자 합니다. 방법: 무작위 비교군 반복측정 실험연구로 건강한 성인 22명을 냉 젤 팩과 얼음 팩 그룹에 무작위 배정하여 30분 동안 냉요법을 적용한 후 40분 동안 수동 재가온을 실시했습니다. 오른쪽 액와에 냉요법이 적용되는 동안 5분 간격으로 총 15회, 조직과 말초의 산소포화도, 말초혈류, 피부온도, 체온을 측정하였습니다. 결과: 냉 젤 팩 군에서 StO2는 냉 요법 전 69.43%였고, 냉 젤 팩 적용 30분 후 61.06% 였으며 얼음 팩 군에서 StO2는 냉 요법 전 67.66%였고, 얼음 팩 적용 30분 후 64.80%로 크게 줄었습니다.(p <.001) 냉 젤 팩 군에서 피부온도는 냉 요법 전 33.57℃였고, 냉 젤 팩 적용 30분 후 29.15℃ 였으며 얼음 팩 군에서 피부온도는 냉 요법 전 32.64℃였고, 얼음 팩 적용 30분 후 28.90℃로 크게 줄었습니다.(p <.001) 40분 재가온 후에는 피부 온도만이 완전히 회복되었습다. 냉 젤 팩과 얼음 팩 그룹 간에는 큰 차이가 없었습니다. 결론: 액와에 국소적 냉 요법을 적용할 때는 30분 적용 후 적어도 40분 이상의 수동적 재가온을 위한 시간을 갖도록 해야 할 것입니다.

경량칸막이 복합벽체의 가열온도에 따른 전도 열전달 특성 연구 (Study on the Characteristics of Conduction Heat Transfer According to the Heating Temperature of a Composite Wall in a Light-weight Partition)

  • 박상민;최수길;김시국
    • 한국화재소방학회논문지
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    • 제33권1호
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    • pp.60-68
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    • 2019
  • 본 논문은 실내 공간구획에 사용되는 경량칸막이 복합벽체의 가열온도에 따른 이면부로의 전도 열전달 특성에 관한 연구이다. 경량칸막이 벽체로 일반적으로 사용되고 있는 복합재료로 구성된 스터드 칸막이, SGP 칸막이, 샌드위치 패널, 우레탄폼 패널, 그라스울 패널을 실험시료로 선정하고, $200^{\circ}C$, $300^{\circ}C$, $400^{\circ}C$, $500^{\circ}C$의 가열온도를 하단부 표면에 1800 s 동안 인가하여 상단부 표면인 이면부로의 전도 열전달 특성을 분석하였다. 실험결과 가열온도가 최대 $500^{\circ}C$로 인가됨에 따라 최대 이면온도는 스터드 칸막이 $51.6^{\circ}C$, SGP 칸막이 $63.6^{\circ}C$, 샌드위치 패널 $317.2^{\circ}C$, 우레탄폼 패널 $124.9^{\circ}C$, 그라스울 패널 $42.2^{\circ}C$로 측정되었다. $500^{\circ}C$에서의 최대 전도 열전달율은 스터드 칸막이 17.16 W, SGP 칸막이 18.39 W, 샌드위치 패널 136.65 W, 우레탄폼 패널 14.34 W, 그라스울 패널 5.57 W로 측정되었다.

Plasma Activated Sintering법으로 제조된 지르코니아의 소결특성에 미치는 온도의 영향 (Effect of Temperature on Sintering Properties in Zirconia Fabricated by Plasma Activated Sintering)

  • 신종호;정연길;허성강
    • 한국세라믹학회지
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    • 제37권9호
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    • pp.856-863
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    • 2000
  • 상압 소결법과 통전활성 소결(Plasma Activated Sintering; PAS)법으로 120$0^{\circ}C$부터 150$0^{\circ}C$의 온도범위에서 제조된 지르코니아의 기계적 특성을 ring on ring disk 굽힘시험으로 비교하여 고찰하였다. 모든 소결온도범위에서 PAS법으로 제조된 소결체의 밀도와 경도는 상압 소결법에 의해 제조된 소결체 보다 높게 나타났다. 결정립의 크기는 두 소결법에 의해 제조된 소결체 모두에서 소결온도 증가에 따라 증가하였으나, PAS법으로 제조된 소결체가 상압 소결법으로 제조된 소결체 보다는 결정립 성장이 억제되었다. 파괴인성은 PAS법으로 제조된 소결체의 경우 130$0^{\circ}C$에서 최고값을 나타낸 후 소결온도 증가에 따라 미세하게 감소하였으며, 상압 소결법으로 제조된 소결체의 경우 소결온도 증가에 따라 증가되었다. 소결체의 상분율 변화는 PAS법으로 제조된 경우 전 온도범위 (1200~150$0^{\circ}C$)에서 정방정상만 관찰되었으며, 상압 소결법의 경우 단사정상과 정방정상의 혼합상을 나타내었고, 소결온도 증가에 따라 정방정상의 비율이 증가하였다. 결과적으로 PAS법의 경우 지르코니아의 최적 소결온도는 130$0^{\circ}C$이며, 상압 소결법의 경우 150$0^{\circ}C$임을 알 수 있었으며, 소결체의 파괴인성에 미치는 영향은 결정립 크기 및 정방정상의 분율임을 확인할 수 있었다.

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가변용량 압축기를 적용한 에어컨의 냉방운전 시 응축 및 증발온도 특성 (Temperature characteristics of condenser and evaporator of Air-conditioner applying variable capacity compressor under cooling condition)

  • 권영철;전종균
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제8권6호
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    • pp.1325-1331
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    • 2007
  • 본 연구에서는 냉방운전 시 가변용량방식의 압축기를 적용한 시스템 에어컨의 냉방능력과 증발기 및 응축기의 온도특성을 조사하기 위해 압축기 운전율(10가지)과 실내외 온도(16가지)의 변화에 따른 시스템의 운전특성을 실험적으로 조사하였다. 시스템의 운전특성은 칼로리미터를 이용하여 측정되었다. 냉방능력은 실외온도가 낮아질수록 실내온도가 증가할수록 더 큰 값을 그리고 압축기 운전율이 증가할수록 냉방능력은 선형적으로 증가하였다. 응축온도는 실외온도 변화에 증발온도는 실내온도 변화에 더 민감하였다. 또한 압력-엔탈피선도를 이용하여 사이클의 운전특성을 분석하였다.

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