화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성 (Characterization of microstructures and electrical properties of insulating thin films deposited by PECVD and RF magnetron sputtering)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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- pp.1707-1709
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- 1999