• Title/Summary/Keyword: 전기화학적 에칭

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Polarity Engineering in Polycrystalline ZnO Varistor Using Inversion Boundary (Inversion boundary를 이용한 ZnO 바리스타 극성 제어)

  • Park, Jong-Lo;Jo, Wook;Park, Chul-Jae;Jeon, Sang-Yun;Lee, Jong-Sook;Park, Chan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2009.07a
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    • pp.1315_1316
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    • 2009
  • ZnO는 비선형 전류전압 특성으로 인해 급작스런 과전류로부터 회로를 보호하는 바리스터로 널리 사용되고 있다. 이러한 바리스터의 전기적 특성 및 미세조직을 제어하기 위하여 다양한 첨가물을 넣은 ZnO 바리스터의 미세구조에는 대부분의 입자에 wurtzite 구조의 결정학적 극성이 바뀌는 inversion boundary (IB)가 존재한다. ZnO의 비선형 전류전압 특성이 반도성의 ZnO 입자간 계면에 형성되는 쇼트키 장벽에 기인함을 감안할 때 계면의 결정화학적 특성에 영향을 주는 IB에 대한 이해는 필수적이다. 본 연구에서 IB가 ZnO 바리스터의 성능에 미치는 영향을 규명하기 위하여 ZnO-$Bi_2O_3$에 각각 $Sb_2O_3$ 또는 $TiO_2$ 를 첨가하여 결정학적 특성이 서로 상반되는 IB를 유도하였고, 첨가량을 조절하여 모든 입자가 IB를 가지도록 하였다. 화학 에칭을 한 시편의 SEM 관찰을 통해 입자의 형상, 크기, 분포 및 IB의 결정학적 특성 등을 분석하였다. 각 시편의 바리스터 특성은 임피던스의 온도 의존성과 상온에서의 전류-전압 특성을 통해 평가하였다. 관찰된 전기적 특성들을 입내 IB의 결정학적 구조와 이로부터 결과되는 입계면의 극성의 차이를 통해 해석하고자 한다.

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Formation of Aluminum Etch Tunnel Pits with Uniform Distribution Using UV-curable Epoxy Mask (UV-감응형 에폭시 마스크를 사용한 균일한 분포의 터널형 알루미늄 에치 피트 형성 연구)

  • Park, Changhyun;Yoo, Hyeonseok;Lee, Junsu;Kim, Kyungmin;Kim, Youngmin;Choi, Jinsub;Tak, Yongsug
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.24 no.5
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    • pp.562-565
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    • 2013
  • The high purity Al foil, which has an enlarged surface area by electrochemical etching process, has been used as an anode for an aluminum electrolytic capacitor. Etch pits are randomly distributed on the surface because of the existence of surface irregularities such as impurity and random nucleation of pits. Even though a large surface area was formed on the tunnel-etched Al, its applications to various fields were limited due to non-uniform tunnel morphologies. In this work, the selective electrochemical etching of aluminum was carried out by using a patterned mask fabricated by photolithographic method. The formation of etch pits with uniform distribution has been demonstrated by the optimization of experimental conditions such as current density and etching solution temperature.

Cost-down Antireflection Coating using Anodization for Multicrystalline Silicon Solar Cells (양극산화과정으로 형성된 저가 고효율 다결정 실리콘 태양전지 반사 방지막에 대한 연구)

  • Kwon, J.H.;Kim, D.S.;Lee, S.H.
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2004.07b
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    • pp.977-980
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    • 2004
  • 본 논문에서는 저가 고효율 태양전지를 제작하기 위하여 p형 다결정 실리콘 기판을 사용하여 수산화 칼륨(KOH)이 포함된 용액에 Saw damage 과정 후 불산이 함유된 용액에 전기화학적 양극산화 과정으로 실리콘 웨이퍼 표면에 요철을 형성하여 다공성 실리콘을 형성 하였다. 본 논문은 전기화학적 에칭방법으로 기존의 진공장비로 제작된 반사방지막의 반사율만큼 감소된 다공성 실리콘 반사방지막을 형성하였다. 전자빔 증착기(e-beam evaporator)로 단층으로 형성된 $TiO_2$의 반사방지막은 400-1000 nm의 파장 범위에서 4.1 %의 평균 반사율을 가졌으며, 양극산화과정으로 형성된 다공성 실리콘은 400-1000 nm의 파장의 범위에서 4.4 %의 평균 반사율을 가졌다. 본 연구는 태양전지의 반사방지막 형성을 기존의 제작 방법보다 간단하고 저렴한 방법으로 접근하여 태양전지의 변환효율을 상승하는데 목적을 두었다.

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Performance of OLED devices with the surface characteristics of TCO thin films (투명전도성 박막의 표면 특성에 따른 OLED 소자의 특성)

  • Lee, Bong-Kun;Lee, Yu-Lim;Lee, Kyu-Mann
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.06a
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    • pp.313-313
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    • 2009
  • OLED 소자는 직접발광, 광시야각, 그리고 빠른 응답속도 때문에 동영상에 적합하여 최근 각광받고 있는 디스플레이장치 중의 하나이다. OLED 소자의 양극재료로는 높은 광투과율과 $\sim10^{-4}{\Omega}\;cm$ 수준의 낮은 전기 비저항을 갖는 ITO (Sn-doped $In_2O_3$)가 널리 사용되고 있다. 하지만 원료 물질인 인듐의 수급량 부족으로 인한 문제점과 독성, 저온증착의 어려움, 스퍼터링시 음이온 충격에 의한 막 손상으로 저항의 증가의 문제점이 있고, 또한 액정디스플레이의 투명전극으로 사용될 경우 $400\;^{\circ}C$정도의 높은 온도와 수소 플라즈마 분위기에서 장시간 노출 시 열화로 인한 광학적 특성변화가 문제가 된다. 반면에 Al이 도핑 된 ZnO (AZO)박막은 넓은 밴드갭 (3.37eV)와 400nm에서 700nm 사이의 가시광 영역에서 80% 이상의 우수한 투과성을 지니고 있다. 특히 Al이 도핑된 ZnO는 박막의 전기적 특성이 크게 향상되어 디스플레이나 태양전지로의 응용이 가능하다. 또한 비교적 낮은 비용과 플라즈마에서의 안정성, 무독성, 그리고 전기전도성과 같은 많은 이점이 있다. 그 결과 AZO 박막은 ITO기판을 대안하는 지원물질로 활발히 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 TCO 박막의 면 저항과 표면 거칠기에 따른 OLED 소자의 특성을 분석하였다. ITO와 AZO 박막은 챔버 내 다양한 가스 분위기(Ar, Ar+$O_2$ and Ar+$H_2$)에서 R.F Magnetron Sputtering방법으로 증착하였다. TCO 박막의 구조적인 이해를 돕기 위해서 X-ray diffraction 과 FESEM으로 분석하였다. 광학적 투과도와 박막의 두께는 ultraviolet spectrophotometer (Varian, cary-500)와 surface profile measurement system으로 각각 측정하였다. 면저항 charge carrier 농도, 그리고 TCO 박막의 이동도와 같은 전기적특성은 four-point probe와 hall effect measurement(HMS-3000)로 각각 측정하였다. TCO 박막의 표면 거칠기 조절을 위해 photo lithography 공정을 사용하여 TCO 박막을 화학에칭 하였다. 미세사이즈 패턴 마스크가 사용되었으며 에칭의 깊이는 에칭시간에 따라 조절하였다. TCO 박막의 표면 형태는 FESEM과 AFM으로 관찰하였다. 투명전극으로 사용되는 ITO 및 AZO 기판 상용화를 위해 ITO 및 AZO 기판 위에 ${\alpha}$-NPB, Alq3, LiF, Al 의 순서로 증착 및 패터닝함으로써 OLED 소자를 제작하였다. 전류밀도와 전압 그리고 발광휘도와 전압과 같은 전기적 특성은 spectrometer(minolta CS-1000A)를 이용하여 측정하였다.

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Preparation and Electrochemical Characterization of SnO2/Ti Electrode by Coating Method (코팅 방법에 따른 SnO2/Ti 전극의 제조 및 전기화학적 특성)

  • Kim Han-Joo;Son Won-Keun;Hong Ji-Sook;Kim Tae-Il;Park Soo-Gil
    • Journal of the Korean Electrochemical Society
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    • v.9 no.2
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    • pp.59-63
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    • 2006
  • The study is coated tin(IV) oxide coated on the titanium substrate electrodes by electrodepositon and dip-coating method and studied about that physical and electrochemical characterization by coating methods. After titanium substrate is etched in HCl, electrodespotion is coated $SnCl_2{\cdot}2H_2O$ in nitrate solution by pulse technique, dip-coating method is also used $SnCl_2{\cdot}2H_2O$ in 1;1V% HCl and coated by dipping and annealing process. tin(IV) oxide coated on titanium substrate electrodes by two coating methods are studied x-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) to compare physical characterization of electrode and potential window by cyclic voltammetry (CV) to observe electrochemical characterization.

A Study on Electrochemical Regeneration of Waste Iron-chloride Etchant and Copper Recovery (전기화학 반응에 의한 염화철 폐식각액의 재생 및 구리 회수에 관한 연구)

  • Kim, Seong-En;Lee, Sang-Lin;Kang, Sin-Choon;Kim, I-Cheol;Sheikh, Rizwan;Park, Yeung-Ho
    • Clean Technology
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    • v.18 no.2
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    • pp.183-190
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    • 2012
  • Electrochemical regeneration of the iron chloride waste solution from PCB etching reduces environmental contamination and produces copper as by-product, so the economic feasibility is high. But iron chloride waste solution contains iron and copper and the reactions occurring in the electrolytic cell are complicated. In this work, the oxidation of iron chloride and copper deposition were examined through batch electrolysis and the optimum conditions of the process parameters were found. The oxidation of ferrous chloride was achieved easily to the desired level. The copper deposition efficiency was high in the reaction using the carbon cathode when the copper density was 12 g/L with the electric current density of $350mA/cm^2$, and the ratio of the $Fe^{2+}$ ion was high. In addition, the possibility of the scale-up was confirmed in continuous operation of bench reactor using the optimum conditions obtained.

Beam stability improvement of liquid metal ion source (액체 금속 이온원의 빔 안정도 향상)

  • Hyun J. W.;Yim Youn Chan;Kim Seuong Soo;Oh Hyun Joo;Park Cheol Woo;Lee Jong Hang;Choi Eun Ha;Seo Yunho;Kang Seung Oun
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.13 no.4
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    • pp.182-188
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    • 2004
  • Previous studies on the liquid Gallium ion sources used an electro-chemically etched tungsten wire with a coil-type heater. Such a structure requires excessive power consumption in the course of heating the liquid metal. In this work, a new structure is proposed that replaces the coil-type heater. It uses a Gallium reservoir made of six pre-etched 250$\mu\textrm{m}$ tungsten wires that surround the needle electrode. Gallium trading at the reservoir is observed to be much more stable, resulting in an improved beam stability.

Studies on the Conducion path and Conduction Mechanism in undeped polycrystalline Diamond Film (도핑되지 않은 다이아몬드 박막의 전기전도 경로와 전도기구 연구)

  • Lee, Bum-Joo;Ahn, Byung-Tae;Lee, Jae-Kab;Baek, Young-Joon
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.10 no.9
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    • pp.593-600
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    • 2000
  • This paper investigated the conduction path and conduction mechanism in undoped polycrystalline diamond thin films deposited by microwave chemical vapor deposition. The resistances measured by ac impedance spectroscopy with different directions can not be explained by the previously-known surface conduction model. The electrodeposition of Cu and electroetching of Ag experiments showed that the conduction path is the grain boundaries within the diamond films. The electodeposition of Cu with an insulating surface layer further proved that the main conduction path in polycrystalline films in the grain boundaries. The film with high electrical conductivity has low activation energy of 45meV and higher dangling bond density. By considering the results and surface C chemical bonds, the H-C-C-H bonds at surface and in grain boundaries might be the origin of high conductivity in undoped diamond films.

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The Effect of CTSA Treatment on the Corrosion Resistance of AA5052 Alloy (AA5052 합금의 내식성에 영향을 미치는 CTSA처리의 영향)

  • Gu, Ga-Yeong;Bae, Seong-Hwa;Son, In-Jun;Jeong, So-Yeong;Baek, Ji-Yeon;Im, Lee-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.91-91
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    • 2018
  • 스마트폰 및 카메라 케이스 등에 널리 적용되고 있는 알루미늄은 내식성, 내마모성과 같은 물리적, 화학적 성질이 우수하지 못하여 이를 향상시키기 위해 양극산화법이 산업적으로 널리 이용되고 있다. 알루미늄에 양극산화법을 적용하면 강도, 내마모성 및 내식성이 향상될 뿐만 아니라 알루미늄 표면에 규칙적으로 배열된 30nm~100nm 크기의 pore에 염료를 흡착시켜 다양한 색상의 외관을 가지는 양극산화피막을 형성시킬 수 있다. Pore간의 간격은 수십 nm~수백 nm 정도이며, pore의 크기와 간격 및 깊이는 양극산화조건(양극산화 전압, 전해액의 종류와 농도 및 온도)에 의해 크게 변화한다. 본 연구에서는 CTSA를 통한 AA5052합금의 양극산화 착색처리와 내식성의 개선 여부를 조사하였다. 알루미늄은 Al5052에는 Mg 외에, 소량의 Si을 포함하고 있다. 이 Si는 알루미늄 표면에 석출물 형태로 존재한다. 이 Si 석출물은 양극산화 시 기지상의 알루미늄 표면의 pore 형성을 방해하는 원인이다. 이러한 Si 석출물의 존재가 균일한 pore 형성을 방해하게 되고, 불균일한 포어를 가지는 표면은 착색처리 시 색상의 편차를 크게하는 원인이 되어 불량률을 높인다. 이러한 요인을 개선하기 위해 CTSA의 처리조건을 최적화 하였다. Al5052 합금을 이용하여 에칭, 디스머트, CTSA처리를 실시하였다. $55^{\circ}C$ 100g/L NaOH 용액에서 에칭을, $25^{\circ}C$ 10 vol.% $HNO_3$ 용액에서 디스머트를 실시한 다음, CTSA의 조건을 다르게 하고 SEM을 통해 Si 석출물의 감소율을 비교하였다. CTSA조건으로는 시간(60s, 180s, 300s), 농도(10%, 20%, 30%, 40%) 및 온도($25^{\circ}C$, $40^{\circ}C$, $50^{\circ}C$, $60^{\circ}C$)를 변화시켰으며, CTSA 처리 전과 후의 시편의 위치를 동일하게 하여 비교하였다. 결과 적정 시간, 농도, 온도 조건하에 pore를 불균일하게 하는 Si 석출물들이 제거되는 것을 확인할 수 있었다. CTSA 처리는 온도가 높을수록, 시간이 길수록, 농도가 적당히 진할수록 석출물이 잘 제거되는 것을 확인하였다. 또한 CTSA처리가 알루미늄의 내식성에 미치는 영향을 확인하기 위해서 침적시험에 의한 무게감소율 및 전기화학측정을 실시하였다.

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Principle of Anodic TiO2 Nanotube Formations (양극산화를 이용한 산화 타이타늄 나노 튜브 구조 형성 원리)

  • Lee, Kiyoung
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.28 no.6
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    • pp.601-606
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    • 2017
  • One-dimensional nanostructured metal oxide can be formed through an anodic oxidation, which is a typical technique of metal surface treatment. Studies on $TiO_2$ nanotubes have been widely carried out with increasing interests in $TiO_2$, which has an excellent functionality among various metal oxides. The present article reviews the principles of formation of $TiO_2$ nanotubes, which have been studied so far. In particular, the article discussed the equilibrium relationship between the oxide formation and etching, which is a key parameter of $TiO_2$ nanotube growth, and the formation of the porous structure. Furthermore, morphological considerations of $TiO_2$ nanotubes according to electrolyte conditions will be explained to the researchers who will study the application of $TiO_2$ nanotubes formed through the anodic oxidation in the future.