• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2002.07c
• /
• pp.1997-1999
• /
• 2002

고분자 주쇄(Main chain)의 소수성을 가지는 플루오르 그룹을 배제시킨 습도 민감성 폴리이미드를 합성 및 이미드화 하였고, 이를 이용한 초고참도 습도 센서를 제작 및 측정하였다. 사용된 폴리이미드는 다이아민계로 Oxydianyline(ODA)와 다이안하이드라이드계로 Pyromellitic dianhydried(PMDA)를 유기용매 Dimethyla cetamide(DMAc) 하에서 폴리이미드 전구체 (Polyamic acid)를 합성하였으며, 진공 및 승온 조건에서 유기용매를 제거하여 이미드화(Imidization) 반응을 진행시켜 제조하였다. 본 습도 센서는 정전용량형 고감도 습도 센서로 디자인되었으며 실리콘 웨이퍼상에서 일반적인 반도체 공정을 이용하여 구현하였다. 본 습도 센서는 센서 크기와 유효면적, 감습층의 두께를 주요 변수로 설정하였으며 이에 따른 습도 민감성 효과를 평가 및 분석하였다. 측정 결과 유효면적 70%, 감습층 두께 $1.1{\mu}m$ 로 제작된 습도 센서는 상대숨도$20%{\sim}90%$ 영역에서 캐패시턴스와 선형적 상관관계를 보여주고 있으며, 습도 민감도는 3.9 pF/%RH 클 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2000.07d
• /
• pp.2741-2743
• /
• 2000

내구시험기의 기본적인 구조를 해석하고 분석하여 각종 기구부의 내구성 시험에서 적용대상물에 관계없이 전기유압서보장치의 용량과 적합한 센서들을 조합하여 구성 가능하도록 시험기를 구성하였으며, 본 연구에서 개발된 제어장치와 데이터 수집 소프트웨어는 내구시험 대상물에 관계없이 범용 적으로 사용할 수 있도록 개발하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
• /
• v.36 no.12
• /
• pp.1497-1502
• /
• 2012

To manufacture a robot hand that essentially mimics the functions of a human hand, it is necessary to develop flexible actuators and sensors. In this study, we propose the design, manufacture, and performance verification of flexible actuators and sensors based on Electro Active Polymer (EAP). EAP is fabricated as a type of film, and it moves with changes in the voltage because of contraction and expansion in the polymer film. Furthermore, if a force is applied to an EAP film, its thickness and effective area change, and therefore, the capacitance also changes. By using this mechanism, we produce capacitive actuators and sensors. In this study, we propose an EAP-based capacitive sensor and evaluate its use as a robot hand sensor.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.273.2-273.2
• /
• 2016

전기적인 장치를 필요로 하는 분야의 빠른 발전에 따라 그 기본이 되는 에너지 저장소자에 관한 연구가 많은 관심을 불러일으키고 있다. 특히, 다양한 에너지 저장 소자 중 기존의 배터리 보다 높은 에너지 밀도와 빠른 충전/방전 속도, 그리고 상대적으로 긴 수명을 가진 슈퍼커패시터에 관한 연구가 많이 이루어 지고 있다. 나노구조를 가진 슈도용량성 물질을 전극에 합성시키는 방법은 크게 두 가지로 나눌 수 있는데 수열합성법이나 전기화학적증착 방법 같이 인위적인 바인더를 사용하지 않고 직접 전극 표면에 합성시키는 방법이 있고, copecipitation이나 졸겔 방법으로 나노구조를 합성한 후 인위적인 바인더를 사용하여 전극 표면에 합성 시키는 방법이 있다. 본 연구에서는 짧은 시간에 물질을 합성시킬 수 있고 인위적인 바인더를 사용하지 않아 더욱 뛰어난 전기적인 특성을 보이는 전기화학적증착 방법을 이용하여 spherically shaped CuO를 전도성 직물에 직접 합성시켜 전기적인 특성을 연구하였다. 유연한 전도성 직물에 합성된 spherically shaped CuO 는 뛰어난 전기화학적 가역성, 상대적으로 높은 비정전용량, 그리고 많은 사이클 테스트에서도 높은 안정성을 보였다. 이처럼 손쉬운 방법으로 유연한 전도성 직물에 합성된 metal oxide 나노구조는 슈퍼커패시터 뿐만 아니라 염료감응형 태양전지, 다양한 종류의 센서 등 많은 분야에서 활용될 것으로 기대된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2008.07a
• /
• pp.1079-1080
• /
• 2008

본 논문에서는 Piezoelectric effect를 이용하여 인체의 움직임에 의한 진동 에너지를 전기적 에너지로 변환, 저장하고 이를 사용하여 온도 정보를 RF신호로 약 20 m 거리의 수신기로 전송할 수 있는 ubiquitous 네트워크용 센서 모듈을 설계.제작하고, 그 동작을 확인하였다. 또한 가장 빈번하게 신호를 보내기 위한 저장커패시터의 용량과 충전전압의 조합을 수식적으로 유도하였고 이 결과를 실험적으로 확인하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2000.07d
• /
• pp.3136-3138
• /
• 2000

마이크로머시닝을 이용한 각속도 센서에서는 기계 구조체의 기준진동에 의한 캐패시턴스의 변화와 인가되는 각속도에 따른 캐패시턴스의 변화를 감지하야 한다. 이러한 캐패시턴스의 변화량을 전기적으로 감지하는데 있어서 기준진동을 위해 구조체에 인가되는 구동신호의 간섭이 최소화 되도록 구조체를 설계하여야 하고 회로적으로 간섭을 상쇄할 수 있어야 미소한 캐패시턴스의 변화량을 감지하여 각속도 센서의 감도를 극대화할 수 있다. 본 논문에서는 이러한 구동신호의 간섭을 상쇄하여 미소캐패시턴스 변화를 감지하는 회로를 설계 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2009.07a
• /
• pp.391_392
• /
• 2009

DTS 시스템에서 측정하는 분포온도 데이터는 지중케이블의 상태 감시에 유용하게 사용될 수 있다. 본 연구에서는 분포온도센서로부터 획득되는 온도 데이터를 기반으로 지중케이블의 상태 감시 및 실시간 허용용량을 산정할 수 있는 모니터링 시스템을 개발하였다. 본 시스템은 사례 기반의 모니터링 GUI를 구축하는 것을 지양하고, 임의의 지중케이블 시스템에 적용이 가능한 GUI 설정 기능을 갖추었으며, 케이블의 동적허용용량 산정 모듈, 분포온도 해석 모듈, 경보 모듈, 설정 모듈, 이력조회 모듈 등으로 구성된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2004.07d
• /
• pp.2649-2651
• /
• 2004

본 논문에서는 다중객체 인식 시스템과 같은 저용량 데이터전송의 저전력 무선센서네트워크 분야에 적용 가능한 새로운 펄스 방식의 저용량 UWB 통신 시스템을 제안하고 이를 설계 및 구현한다. 특히, 펄스방식의 저전력 UWB 시스템을 구현하기 위해서 전형적인 통신시스템의 수신기 구조인 RF단의 믹서, 상관기와 A/D 변환기를 없애고 최대한 단순화된 구조의 무선 비동기방식의 초광대역 송수신기를 설계한다. 설계된 WAU(Wireless Asynchronous Ultra-Wide band)시스템은 홈내 또는 강의실과 같은 곳에서 1:N HD(Half Duplex) 방식으로 저전력 무선 CANVAS 전송이 가능토록 실제 구현되었다. 구현된 WAU 시스템은 P-to-P(Peer-to-Peer) LOS(Line of Sight) 채널상태의 전송거리 10 m 에서 안정적으로 최대 115kbps 급의 전송속도가 지원 가능함을 측정하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.207-207
• /
• 2010

휴대용 기기의 사용이 증가하면서 전지의 고용량화와 소형화가 요구되고 있다. 특히 의료용 센서 기기에서는 소형화가 매우 중요하며 인체에 해로운 물질로 구성되지 않는 것이 바람직하다. 최근 고체전해질을 사용하는 마이크로 배터리가 개발되고 있으나, 에너지 저장용량이 작아 응용분야가 제한적이다. Silicon wafer 위에 형성된 고단차의 3차원 박막 배터리를 형성한다면 표면적 증가에 의해 에너지 저장용량 역시 크게 증가할 것이다. 따라서 고단차의 3차원 구조위에 confomal한 박막을 형성하기 위해서는 기존 물리증착방법과는 달리 새로운 step coverage가 우수한 박막증착법이 필요하다. 본 연구에서는 atomic layer deposition(ALD)으로 박막 배터리의 cathode 물질인 $LiCoO_2$를 증착하기 위한 기초연구로서 cobalt oxide 박막의 ALD 공정을 연구하였다. Cobalt +2가 전구체와 $O_3$를 교대로 공급하여 박막을 증착하고 그 박막의 물리적, 화학적, 전기적 특성을 조사하였다. 이를 통해 exposure와 기판온도가 박막의 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 또한 pattern wafer위에 박막을 증착하여 step coverage를 조사하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 2007.04c
• /
• pp.29-33
• /
• 2007

In this paper, time-varying parameter of passive telemetry RF sensor system is estimated using RLS(Rescursive $\leq$* Square) algorithm. In order to overcome the problems such as power limits and complication that general RF sensor system including IC chip has, the principle of inductive coupling is applied to model sensor system The model parameter is rearranged for applying RLS algorithm based on mathematical model to the derived model using inductive coupling principle. Time variant parameter of rearranged model is estimated using forgetting factor, and in case measured data is contaminated by noise and modelling error, the performance of RLS algorithm characterized by the convergence of squared error sum is verified by simulation.