• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.532-532
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• 2013

세계의 반도체, 의료, 금속, 섬유 등의 분야에서 기술이 고도화됨에 따라서 나노 입자, High quality 박막 등에 대한 수요는 커져가고 있다. 이를 제조하기 위한 공정은 극 저압 상태에서 이루어진다. 따라서 극 저압 기체 흐름에 대한 이해는 필수적이다. 하지만 일반적으로 수 mTorr 이하의 압력에서는 유체 시뮬레이션으로 해석하는 것이 불가능하다. 그러므로 우리는 DSMC 방법을 이용하여 극 저압 CCP 챔버 내의 기체의 흐름을 해석하고 특성을 살펴보았다.

• Journal of Bio-Environment Control
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• v.18 no.4
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• pp.303-308
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• 2009

This study was conducted to analyze the feasibility of plant growth under low pressure and to investigate the effect of pressure on plant growth. Three levels of pressures (25, 50, and 101.3 kPa (control)) were provided to analyze the growth of Lettuce (Lactuca sativa L.) as affected by low pressure. Photoperiod, air temperature, and photosynthetic photon flux were set at 16/8 h, 26/$18^{\circ}C$, and $240{\mu}mol{\cdot}m^{-2}s^{-1}$, respectively. Growth characteristics of lettuce were measured on 7 days and 14 days after experiment. Leaf length, leaf width, leaf area, and root dry weight of lettuce measured on 7 days under 25 and 50 kPa were significant as compared to the control. Leaf length, top dry matter and root dry matter of lettuce measured on 14 days were significantly different under 25 and 50 kPa. From these results, we confirmed that lettuce could be grown under low pressure. However high relative humidity by evapotranspiration from leaves and growing beds under low pressure caused the condensation on the inner surface of the chamber. Therefore in a low pressure chamber, humidity control is required to maintain the relative humidity at a proper level.

• Proceedings of the Korean Society of Marine Engineers Conference
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• 2011.06a
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• pp.190-190
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• 2011

본 논문에서는 자외선 처리방식의 선박평형수 처리시스템의 최적 설계를 위하여 동일 소비전력에서 살균 챔버의 구성에 따른 해수처리성능에 대하여 기술하였다. 20 W 저압 자외선 램프 9개를 설치한 살균챔버와 10 W 저압 자외선 램프를 18개 사용한 2단 구성의 살균챔버를 사용하여, 15 $m^3$/h로 해수를 처리하고 처리 전후의 해수내 미생물에 대한 처리성능을 비교.분석하였다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• v.34 no.6
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• pp.880-886
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• 2010

In this paper, we studied the application of low pressure ultra-violet (UV) lamps for the development of an energy saving ship's ballast water treat (BWT) device. We proposed the optimal arrangement of UV lamps by analyzing the energy radiated from medium- and low-pressure UV lamps. Based on the experimental results, we manufactured a disinfection chamber which is composed of low-pressure UV lamps. The rated power and the treatment capacity of the chamber are 216 [W] and 10 [$m^3$/h], respectively. This can replace a disinfection chamber treated by two 2 [kW] medium pressure lamps. The disinfection performance, however the power consumption is about one-eighteen compare to the medium pressure UV lamp, is over 94 [%] for bacteria, 93 [%] for zooplankton, and 94 [%] for phytoplankton. Therefore, it would be possible to develop an energy saving BWT device in a low capacity below 100 [$m^3$/h].

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.10a
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• pp.38.2-38.2
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• 2011

폴리머 박막은 그 고유한 특성으로 인해 여러 산업적으로 널리 사용되고 있는 재료이다 예로 의약품이나 식품 포장지의 배리어, 전자부품의 절연체, 반도체 공정에서의 사용, 혹은 부식방지를 위해 사용 되어지기도 한다. 이 폴리머 박막을 증착 하기 위한 방법으로 이전부터 CVD (Chemical Vapor Deposition) 방법이 많이 사용되었고 지금까지도 가장 많이 사용되는 방법이다. CVD를 사용하여 $SiO_2$-like 필름의 증착은 전구체(precursor)로 Silane ($SiH_4$)을 사용하였으며, 플라즈마 발생 소스(source)로 열 혹은 전기장 등을 사용 하며 공정 시 압력 또한 대부분 저압 하에서 실시 하였다. 이와 같은 이전 CVD 방법의 문제는 사용되는 Silane 자체가 인체에 해로울 정도로 독성이 있으며 폭발성도 같이 가지고 있어 작업환경의 위험성이 높으며 열을 사용한 CVD의 경우 높은 공정 온도로 인해 증착 할 수 있는 대상이 제한 되어 지며 높은 열의 발생을 위해 많은 에너지의 소비가 필요하다. 저압 플라즈마를 사용한 CVD 는 공정상 높은 열의 발생이 일어나지 않아 기판 운용상 문제가 되지 않지만 저압 환경에서 해당 공정이 이루어기 때문에 인해 필수적으로 고가의 진공 챔버가 필수적이며 저압을 유지할 고가의 진공 펌프나 추가 장비들이 필요하게 된다, 또한 챔버 내에서 이루어지는 공정으로 인해 공정의 연속성이 떨어져 시잔비용 또한 많이 잡아 먹는다. 이러한 열 혹은 저압 플라즈마등을 사용한 공정의 단점을 해결하기 위해 여러 연구자들이 다양한 방법을 통해 연구를 하였다. 대기압 유전체 배리어 방전(AP-DBD: Atmospheric Pressure-Dielectric Barrier Discharge)을 사용한 폴리머 박막의 증착은 이전 전통적인 방법에 비해 낮은 장비 가격과 낮은 공정 온도 그리고 연속적인 공정 등의 장점이 있는 폴리머 박막 증착 방법 이다. 대기압 유전체 배리어 방전 공정 변수로 공급 전압 및 주파수 그리고 공급 전압의 영향, 전구체를 유전체 배리어 방전 전극으로 이동 시키기 위해 사용된 캐리어 가스의 종류 및 유량, 화학양론적 계수를 맞추기 위해 같이 포함되는 산소 가스의 유량, DBD 전극의 형태에 따른 증착 박막의 균일성 등 이 존재하며 이런 많은 변수 들에 대한 연구가 진행 되었지만 아직 이 대기압 DBD를 이용한 폴리머 박막의 증착에 대한 명확한 이해는 아직 완전 하다 할 수 없다. 본 연구에서는 이러한 대기압 DBD를 이용하여 폴리머 박막의 증착시 영향을 미치는 많은 공정 변수 등이 박막생성에 미치는 영향과 증착된 박막의 성질에 대한 연구를 진행 하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.40 no.2
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• pp.93-102
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• 2016

An experimental study has been conducted to verify the startup characteristic of a Center Body Diffuser (CBD) for simulating a low pressure environment when at high altitudes. Vacuum chamber pressure and startup characteristics of the CBD were investigated according to various geometries of the center body structure by a cold gas flow test. The test results show that the startup pressure is lowest when the center body contraction angle is approximately $15^{\circ}$. The startup characteristic of the CBDs significantly improves when the diffuser inlet length ($L_d/D_d$) is decreasing and the divergence length ($L_s$) is increasing. Additionally, it is possible to simulate various high altitude, low pressure conditions for various rocket engines that have different nozzle expansion ratios by adjusting the center body's position inside the diffuser.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.05a
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• pp.125-126
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• 2008

본 연구에서는 챔버 내에 압력 $1{\sim}7$[atm]의 Dry-Air를 주입한 후, AC전압을 인가하여, 전극의 모양에 따라 불평등 전계/준평등 전계를 형성하였을 시, 전극 사이에 넣은 고체절연물의 두께에 따른 연면방전 특성을 실험을 통하여 측정 비교한 것이다. 고체절연물로는 열경화성 플라스틱을 사용하였다. 챔버 내 Dry-Air의 주입압력이 높일수록 연면 절연파괴 전압이 높았고, 준평등 전계에서보다 불평등 전계 인가시 더 높은 절연파괴 저압을 얻을 수 있었다. 또한 고체절연물의 두께가 두꺼울수록 고체의 절연파괴 전압이 높았으며, 고체절연물의 두께가 2[mm]일 경우, Dry-Air의 연면방전 특성이 $SF_6$보다 평균적으로 $12{\sim}51$[%] 낮고, 3[mm]의 경우도 Dry-Air의 연면방전 특성이 $14{\sim}45$[%] 가량 낮았다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.17 no.7
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• pp.54-62
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• 2016

The most efficient system for converting heat to electricity, AMTEC (Alkali Metal Thermal-to-Electric Convertor), is a device that directly converts heat energy to electricity using an alkali metal (sodium) as the working fluid. The AMTEC consists of a low pressure chamber, high pressure chamber, BASE (Beta-Alumina Solid Electrolyte), and artery wick. The main heat loss of the AMTEC system occurs in the low pressure chamber. A high power generation rate is thought to be obtainable by using a high temperature in the BASE. Therefore, to reduce the radiation heat loss, 6 types of radiation shields were examined to reduce the radiative heat loss in the low pressure chamber. The power generation rate of the AMTEC varied depending on the shape of the radiation shield. CFD (Computational Fluid Dynamics) analyses were carried out to optimize the shape of the radiation shield. As a result, the optimum radiation shield was found to consist of a curvature formed at the vertical point, in which case the dimensionless temperature (condenser temperature/BASE temperature) is approximately 0.665 and the maximum power generated is calculated to be 17.69W. Increasing the distance beween the BASE and condenser leads to an increase in the power generated, and the power generated with the longest distance was 17.58 W. The shields with multiple holes and multiple horizontal layers showed power reduction rates of 0.91 W and 2.06 W, respectively.

• Proceedings of the Korean Society of Marine Engineers Conference
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• 2011.06a
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• pp.189-189
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• 2011

본 논문에서는 에너지 절감형 선박평형수 처리시스템 개발을 위하여, 저압 자외선 램프의 살균효율의 증대를 위한 광촉매 처리방법에 대하여 기술하였다. $TiO_2$ 광촉매를 석영관 주위에 감싸는 방법으로 살균챔버 내부에 설치하고 253.7 nm파장의 자외선과 광촉매에 의한 해수내 미생물 살균효과를 분석하였다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2019.05a
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• pp.321-323
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• 2019

본 논문은 벽면 이동 로봇의 진공흡착을 위한 Mechanism의 개선에 관한 연구로서, 시뮬레이션을 통해 로봇의 무게에 따른 중력을 견딜 수 있도록 흡착의 효율을 높이고, Mechanism의 여러 조건들을 고려하여 실험을 통해 가장 적절히 부합하는 조건을 판단하며 벽의 수직방향으로의 미는 힘과 챔버 내의 저압영역등과의 상관관계를 고려하여 흡착 능력을 개선하기 위한 방법을 판단하기 위해 실험을 진행하였다.