• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.11a
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• pp.69-69
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• 2003

최근 trench capacitor, isolation trench, micro-electromechanical system(MEMS), micro-opto-electromechanical system(MOEMS)등의 다양한 기술에 적용될 고종횡비(HAR) 실리콘 식각기술연구가 진행되어 지고 있다. 이는 기존의 습식식각시 발생하는 결정방향에 따른 식각률의 차이에 관한 문제와 standard reactive ion etching(RIE) 에서의 낮은 종횡비와 식각률에 기인한 문제점들을 개선하기 위해 고밀도 플라즈마를 이용한 건식식각 장비를 사용하여 고종횡비(depth/width), 높은 식각률을 가지는 이방성 트랜치 구조를 얻는 것이다. 초기에는 주로 HBr chemistry를 이용한 연구가 진행되었는데 이는 식각률이 낮고 많은양의 식각부산물이 챔버와 시편에 재증착되는 문제가 발생하였다. 또한 SF6 chemistry의 사용을 통해 식각률의 향상은 가져왔지만 화학적 식각에 기인한 local bowing과 같은 이방성 식각의 문제점들로 인해 최근까지 CHF3, C2F6, C4F8, CF4등의 첨가가스를 이용하여 측벽에 Polymer layer의 식각보호막을 형성시켜 이방성 구조를 얻는 multi_step 공정이 일반화 되었다. 이에 본 연구에서는 SF6 chemistry와 소량의 02/HBr의 첨가가스를 이용한 single_step 공정을 통해 공정의 간소화 및 식각 프로파일을 개선하여 최적의 HAR 실리콘 식각공정 조건을 확보하고자 하였다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.6 no.7
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• pp.671-677
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• 1996

본 논문은 Sr 페라이트 플라스틱자석의 자기특성에 관하여 연구한 것이다. Sr 페라이트의 조성은 SrO5,9Fe2O3에 CaO, SiO2, Na2SiO3 및 AI2O3를 미량 첨가하고, PVA(polyvinylalchohol) 7%수용액을 가하여 질소분위기에서 120$0^{\circ}C$, 2시간 소성하였다. PVA를 이용한 탄소코팅법으로 분말제조시 분쇄효과를 얻었으며, 페라이트의 함량을 증가시켜서 자기특성을 향상시켰다. Sr 페라이트분말과 폴리아미드 6을 75-90wt%로 혼련한 수 0-10 kOe의 자장을 인가하여 이방성 Sr 페라이트 플라스틱 자석을 제조하였다. 자석제조시 사출온도 27$0^{\circ}C$, 사출압력 120kg/$\textrm{cm}^2$, 자장으 세기 8 kOe 및 자장인가시간 6초에서 최적의 사출성형조건을 얻었다. 실험결과 자장중 사출성형법을 이용하여 제조한 이방성 플라스틱자석에서 (BH)max=-2.0MGOe의 특성을 얻었다.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.20 no.1
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• pp.62-67
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• 2001

Velocities of leaky surface acoustic waves (LSAW/sub s/) were measured by using a line-focus polyvinylidene fluoride (PVDF) transducer and compared with theoretically calculated ones. Isotropic materials of Cu, Al, fused quartz, and anisotropic one of Z-cut α-quartz crystal were used as specimens. The velocities were obtained by the separation time between wave components reflected directly from the surface of specimen and LSAW components according to the defocusing distance. The measured velocities well agree with the theoretical results within 1％ error, and it was shown that the leaky pseudo-surface acoustic wave (LPSAW) as well as the LSAW propagates with the typical 6-fold anisotropy on the (0,0,1) surface of α-quartz.

• Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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• 2003.04a
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• pp.107-110
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• 2003

본 연구에서는 3차원 브레이딩 기계를 이용하여 제작된 6 layer의 3차원 원형 형태로 브레이드된 유리 섬유 강화 복합재료의 프리프레그를 이용하여 에폭시 수지를 모체로 하는 RTM(Resin Transfer Molding) 공정을 통해 직교 이방성 복합재료를 제작하였다. 또한 탄성한계 내에서의 구성방정식을 얻기 위해 unit cell 모델링을 통해 복합재료의 기하를 모사하고 method of cells 이론과 homogenization technique를 이용하여 복합재료의 구성방정식을 나타내는 수치해석 코드를 개발하였다. (중략)

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1996.11a
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• pp.148-148
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• 1996

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2010.05a
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• pp.437-440
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• 2010

This paper represents a simple and effective calculation method to predict the orthotropic engineering constants for C/SiC woven fabric composite. The method, a quasi-analytical method using the modified equivalent laminated model, idealizes the woven fabric structure as a symmetric three-ply laminate to utilize a classical laminated plate theory. The required initial parameters are in-plane modulus from experiments and crimp ratio of the woven fabric. This study shows its feasibility by demonstrating example to calculate the engineering constants to thickness direction needed for three dimensional thermo-mechanical stress calculations.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.10 no.3
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• pp.184-190
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• 2000

We investigated the effect of filler content on the thermo-mechanical properties of modified ACA composite materials by incorporation of non-conducting fillers and the reliability of flip chip assembly on organic substrates using modified ACA composite materials. For the characterization of modified ACA s composites with different content of non-conducting fillers, differential scanning calorimeter (DSC), and thermo-gravimetric analyzer (TGA), dynamic mechanical analyzer (DMA), and thermo-mechnical analyzer (TMA) were utilized. As the non-conducting filler content increased, CTE values decreased and storage modulus at room temperature increased. In addition, the increase in the content of filler brought about the increase of Tg^{DSC}$ and $Tg^{TMA}$. However, the TGA behaviors stayed almost the same. Contact resistance changes were measured during reliability tests such as thermal cycling, high humidity and temperature, and high temperature at dry condition. It was observed that reliability results were significantly affected by CTEs of ACA materials especially at the thermal cycling test. Results showed that flip chip assembly using modified ACA composites with lower CTEs and higher modulus by loading non-conducting fillers exhibited better contact resistance behavior than conventional ACAs without non-conducting fillers.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.15 no.6
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• pp.1792-1798
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• 1991

In this paper the path independent $J_{k}$(k=1, 2) integrals are evaluated in a rectilinear anisotropic body for two dimensional case. The relationship among elastic constants are examined. Using those relationship the expression of $J_{2}$ Integral in terms of $K_{I}$ is found to be very simple.e.e.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1997.07a
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• pp.267-269
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• 1997

유한요소법에 의해 자계를 계산할 경우에 일정한 투자율을 두고 선형 해석을 하거나 비선형을 고려할 때에는 하나의 자화곡선을 이용한 뉴튼 랩슨법이 많이 사용된다. 그러나 최근 자계의 세기와 자속밀도간의 위상차를 고려할 수 있는 계산법에 대한 연구가 늘어나면서 여러 가지 방법들이 제시되고 있다. 본 논문에서는 간단한 실험데이타를 이용하여 정확히 자계의 세기와 자속밀도간의 비선형성을 고려하면서 특히, 이방성이 강한 재료를 사용하는 전기기기의 해석에 적합한 방법을 제안하며, 이 방법에 의해 삼상 변압기의 코어에서의 자계를 계산하며, 계산 결과에서 기존의 방법으로는 어려운 이방성 영향을 정확히 고려할 수 있음을 실험에 의하여 검증하였다.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2007.05b
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• pp.2465-2470
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• 2007

We have analyzed the three-dimensional thermal conduction in anisotropic materials using nonsymmetric-Fourier transforms. And a complete theoretical treatment of the photothermal deflection spectroscopy has been performed for thermal conductivity measurement in anisotropic medium. Thermal conductivity tensor was determined by the deflection angle and phase angle with the relative position between the heating and probe beams. The influence of the parameters, such as modulation frequency of the heating beam, the thermal conductivity tensor, was investigated.