• 제목/요약/키워드: 자기터널접합

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기판과 부도체층을 개선한 $FM/Al_2O_3/FM$ (FM=Ferromagnet) 자기터널링 접합제작 및 자기수송에 관한 연구 (Improvement of Substrate and Insulationg Layer of FM Magnetic Tunneling Jundtion and the Study of Magnetic Transport)

  • 변상진;박병기;장인우;염민수;이재형;이긍원
    • 한국자기학회지
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    • 제9권5호
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    • pp.245-250
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    • 1999

  • 기판/Py/Al2O3/Co(Py=Ni81Fe19) 터널접합의 TMR(Tunneling Magnetoresistance)에 미치는 기판과 부도체층의 효과를 보기위해 산화시간을 변화시키고 기판의 종류를 변화시켜며 전기적 특성을 측정하였다. 시료는 진공중에서 in-situ로 새도우마스크를 교환하며 제작하였다. 산화시간의 증가에 따라 터널접합의 저항은 증가하였으며 측정된 MR 값은 감소하였다. 터널 비저항이 0.17 M$\Omega$($\mu\textrm{m}$)2이하인 경우 MR이 관측되었다. 기판의 종류에 따른 MR 값은 열산화시킨 Si(111), Si(100), Cornng Glass 2948, Corning Glass 7059 순으로 감소하였다. MR 값의 부호와 변화를 불균일 전류의 흐름으로 설명하였다.

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