Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference (한국자기학회:학술대회 개요집)

  • 2005.12a
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  • Pages.184-185
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  • 2005
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  • 2233-9485(pISSN)
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  • 2233-9574(eISSN)
The Korean Magnetics Society (한국자기학회)
권호 표지

High Density Plasma Etching of Manometer-Sized Magnetic Tunnel Junction Structure for Magnetic Random Access Memory

자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각

  • 정지원 (인하대학교 생명화학공학부) ;
  • 박익현 (인하대학교 생명화학공학부) ;
  • 박왕현 (한국과학기술연구원) ;
  • 신경호 (한국과학기술연구원) ;
  • 김기원 (삼성종합기술원 Device Lab) ;
  • 조영진 (삼성종합기술원 Device Lab) ;
  • 김태완 (삼성종합기술원 Device Lab)
  • Published : 2005.12.01
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Abstract

Keywords