• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.15 no.4
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• pp.421-426
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• 2006

In examining particulate deposits in the pipes of a chemical vapor deposition (CVD) system, vibration diagnostics is compared and studied against ultrasonic diagnostics, The latter method involves pulsing the outer wall of pipes with an ultrasonic sensor and analyzing the resulting echo to observe particulate deposits inside pipes. Vibration diagnostics examines the existence of particulate deposits by analyzing the difference in the frequencies generated when a vibrator is adhered to the outer wall of pipes. With ultrasonic diagnostics, good test results were obtained only when particulate deposits were attached to the inner wall of the pipes, After some time, however, particulate deposits were not detected properly, as the ultrasonic wave failed to cross the fine gaps created between the inner wall of the pipe and the deposits. The ultrasonic wave bounced back because of the dried particulate deposits on the wall. Thus, it has been proven that the ultrasonic diagnostics is not an appropriate means of examining the particulate deposits in a vacuum, On the other hand, vibration diagnostics succeeded in detecting the particulate deposits regardless of the lapsed time. In conclusion, the vibration diagnostics is being expected as the effective method in monitoring the particulate deposits inside pipes in the CVD system where the desired behavior is reduced frequency along with the particulate deposits in comparison to the case where the pipe is clean.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2020.06a
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• pp.301-301
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• 2020

물은 보다 나은 삶을 살아가는데 있어 매우 중요한 자원이며, 안전하고 깨끗한 물을 공급받는 것은 국민 생활 영위에 반드시 필요한 부분이다. 국내 주요 수자원은 하천수를 통해 확보하고 있으며, 안전한 수자원 공급을 위해서는 하천관리를 통한 수질오염사고에 대비한 대책 수립이 필요하다. 국내에서는 페놀, 황산 등 독성오염물질 유출로 인한 수질오염사고가 발생한 바 있고, 그 피해액이 수백억에 달한다. 이러한 수질오염사고로 인한 피해액을 감소시키고 안전한 수자원 공급을 유지하기 위해서는 오염물질의 거동을 이해하고 예측하는 것이 매우 중요하다. 국내하천의 경우, 대부분 하폭 대비 수심비가 크기 때문에 오염물질이 2차원 혼합특성을 나타낸다. 따라서 본 연구에서는 하천 내 오염물질의 2차원적 혼합거동을 해석할 수 있는 수치모형을 개발하고자 하며, 현장에 적합한 해석기법을 검토하고 모형 개발 방향을 결정하고자 한다. 본 연구에서는 하천 내 수질오염사고 발생 시 신속하고 정확한 수질 분석 및 예측을 목표로 오염물질 혼합해석에 주로 활용되는 격자기반 모형과 입자추적 기반 모형의 프로토타입을 개발했다. 용존성 오염물질을 대상으로 격자 기반 및 입자 기반 혼합해석 모형을 개발했으며, 오염물질의 주입형태와 하천 내 유속 분포를 가정해 혼합해석을 수행했다. 격자 기반 모형의 경우, 경계조건과 분산계수의 결정이 필요하고 수렴/발산 문제로 인해 모형의 안정적 실행을 위한 조건 수립이 필요하다. 입자 기반 모형의 경우에도 입자 수에 따른 계산시간 개선이 필요하지만, 입력조건 결정이 간편하고 분산계수 입력이 필요 없어 신속한 모의조건 설정이 가능하다. 오염물질 혼합해석 모형 개발을 위한 해석기법 검토 결과, 신속한 수질 분석 및 예측 결과를 제공하기 위해서는 계산시간 개선을 전제로 모의조건 설정이 용이한 입자 기반 모형이 가장 적합한 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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• 2002.05a
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• pp.3-8
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• 2002

산업체에서 배출되는 여러 가지 배가스에는 부식성 오염물질을 함유한 경우가 많다. 따라서 이러한 배가스로 부터의 폐열회수를 위하여 부식성 오염물질에 의한 열교환기에서의 파울링의 문제점을 해결할 필요가 있다. 세라믹과 같은 고체입자는 대개 내식성이 강하므로 부식성의 배가스에 사용이 가능하고 유동층 열교환기에서는 고체입자의 비표면적이 매우 크므로 전열효율이 매우 높은 것이 특징이다.(중략)

• Membrane Journal
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• v.15 no.4
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• pp.289-296
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• 2005

In the MBR process, the membrane fouling occurs seriously on the membrane surface. In general, the membrane fouling is attributed to factors such as deposition or adhesion of sludge floc. The occurrence of fouling is a main cause of a decrease in membrane module fluk. At this study, our MBR membrane is manufactured by nano-particle with excellent anti-fouling character. The fine nano-material which can repel the sludge Hoc from the membrane surface is distributed in the membrane surface. We confirm anti-fouling effect, test continuously in the pilot site.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2002.11a
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• pp.296-297
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• 2002

입자상 오염물질은 공기역학적 직경 2.5$\mu\textrm{m}$를 기준으로 미세입자와 거대입자로 나누어지는 쌍극분포의 형태(Whitby et at., 1972)를 나타내며, 분진이 인체에 미치는 영향에 관한 많은 연구를 통해 10$\mu\textrm{m}$ 이하의 입자가 호흡성 분진으로 인체에 더 유해한 영향을 미치고 있음이 밝혀졌다(Emison, 1988). 이러한 특징은 동일 질량의 분진을 가정할 때 입자의 직결이 작아질수록 저감효율이 떨어지며, 분진의 표면적이 커져 중금속이나 가스상 오염물질의 흡착이 상대적으로 용이해지기 때문이다(Saffiotti, 1965). (중략)

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.8
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• pp.7-15
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• 2002

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.151-151
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• 2013

최근 반도체 및 디스플레이 산업에서의 플라즈마 공정의 중요성은 점점 증대되고 있다. 특히, 반도체/LCD 제조공정에서의 Dry Etch공정은 디스플레이용 유리 위에 형성된 산화막, 금속입자, 박막, 및 Polymer와 같은 불순물들을 플라즈마를 이용하여 제거하는 공정이다. 플라즈마 공정을 진행하는 동안 몇 가지 문제점들이 이슈가 되고 있다. Etch공정에서는 활성 부식가스를 많이 사용하고 장시간 플라즈마에 노출되기 때문에, 진공부품들은 플라즈마에 의해서 물리적인 이온충격(Ion Bombardment)과 화학적인 Radical 반응에 의한 부식이 진행된다. 부식영향에 의해 챔버를 구성하고 있는 부품에서 균열이 발생하거나 오염입자들이 떨어져 나오게 된다. 발생한 오염입자들은 산업용 플라즈마 공정에서 매우 심각한 문제가 되고 있다. 본 연구에서는 산화막의 부식 저항특성을 측정할 수 있는 평가방법에 대하여 고찰하였고, 표준화된 데이터로 비교분석할 수 있도록 평가기준과 규정화된 피막평가방법을 연구하였다. 또한, 산화막의 특성에 따른 플라즈마 상태, 오염입자 발생 등 플라즈마 공정을 진단하여 부품재료의 수명을 예측하고, 신뢰성 있는 평가방법에 관한 연구를 하였다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.05b
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• pp.433-434
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• 2003

급속한 산업 발전과 더불어 산업전반에 걸쳐 환경문제가 심각해지면서 생활의 질적 향상에 따른 쾌적 환경을 추구하기 위해 실내와 작업장 내에 떠 있는 먼지나 유해가스 등의 오염물질로 인한 직업성 질병에 대한 관심이 높아지고 있다 실내ㆍ외를 불문하고 환경오염이 인체 건강 및 위생에 미치는 영향은 오염물에 대한 노출시간에 관계하기 때문에 하루의 대부분의 시간을 실내에서 생활하는 현대인에게 실내 환경의 질은 아주 중요하다. 질의 물리적 특성에 따른 가스상, 입자상의 거동 및 농도분포에 대한 수치 해석적 연구는 매우 미흡한 실정이다. (중략)

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.34 no.11
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• pp.720-728
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• 2012

In general, nonpoint pollutant of a watershed is drained out in the form of storm water runoff during rainfall events. As the bulk of the nonpoint pollutant is in adsorbed form on particulate matters, in order to understand the behavior of nonpoint pollutant it is essential to grasp the characteristics of particulate matters in rainfall runoff. Though, previous studies for the relationship between the runoff characteristics of pollutants and the size distribution of particulate matters are very rare. In this study, a small non-urbanized area (basin area of 52.8 ha) with various landuse types including paddy, dry fields and forest was selected and investigated in detail for the runoff properties of each pollutant during several rainfall events. The correlation and effects between particulate matters and nonpoint pollutant were analyzed quantitatively. As a result, the significant first flush was observed on each event and it became clear that fine particulate matters ($80{\mu}m$ or less) has contributed in the runoff process of nutrients and heavy metals. Organic matters ($BOD_5$, TOC), nutrients (TN, TP) and several heavy metals (Al, Cr, Cu, Fe, Hg and Zn) represented high correlations with SS (total), VSS, SS (d < $20{\mu}m$) and SS ($20{\mu}m$ $$\leq_-$$ d < $80{\mu}m$). On the other hand, $COD_{cr}$, Cd, Mn and Pb did not show clear correlations with the behavior of particulate matters. Therefore, we have to examine the introduction of nonpoint pollution mitigation facilities considering the facts that nonpoint pollutant runoff process has high correlation with the behavior of particulate matters and is changeable based on the target pollutants.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.127-129
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• 2000

산성오염물질과 미세입자($PM_{2.5}$)는 인체 및 생태계에 많은 악 영향을 미치고 있다. 특히 미세입자와 미세입자의 주성분인 ${SO_4}^{2-}$, ${NO_3}^{-}$, ${NH_4}^{+}$, 원소탄소(EC), 유기탄소(OC)는 호흡기 계통의 질병 및 시정장애에 커다란 영향을 미치는 것으로 알려지고 있다(Pope et al., 1995; Reichhardt, 1995; Chow et al., 1993; Conner et al., 1991; Spongier et al., 1990). 미세입자는 연소과정에서 직접 배출되거나 대기 중에서 응집, 휘발성 물질의 응축, 가스에서 입자로의 전환 등에 의하여 이차 입자상 물질로 생성된다(Seinfeld, 1986). (중략)