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Information of Contamination in Semiconductor Cleanroom  

Kim, Gwang-Yeong ((주)에이스 랩)
Lee, Eung-Seon ((주)에이스 랩)
Publication Information
Journal of the Korean Society for Precision Engineering / v.19, no.8, 2002 , pp. 7-15 More about this Journal
Keywords
Airborne Molecular Contaminants; Particulate Contaminants; Acidic Contaminants; Basic Contaminants; Organic Contaminants; Dopant;
Citations & Related Records
연도 인용수 순위
  • Reference
1 藤本武利외 8명, 'クリ-ンル-ム 空氣中およびウェハ表面上の有機汚染物の分析,' 일본 에어로졸학회, 제15권, 제1호, pp. 155-162, 2000
2 竹田 菊男외3명, 'クリ-ンル-ム 空氣およびウェ-ハ表面の有機物汚染擧動,' 일본공업출판 Clean Technology, 제9권, 제1호
3 藤本武利외 6명, 'クリ-ンル-ム 空氣中ホウ素の超微量正量と存在狀態の考察,' 일본 에어로졸 학회, 제15권, 제2호, pp. 155-162, 2000
4 藤本武利, '半道體製造工程における汚染制御對象物質の動向,' ェアロゾル硏究, 제14권, 제1호, pp. 19-26, 1996