Information of Contamination in Semiconductor Cleanroom

반도체 클린룸의 오염원 정보

  • Published : 2002.08.01

Abstract

Keywords

References

  1. 竹田 菊男외3명, 'クリ-ンル-ム 空氣およびウェ-ハ表面の有機物汚染擧動,' 일본공업출판 Clean Technology, 제9권, 제1호
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  3. 藤本武利외 6명, 'クリ-ンル-ム 空氣中ホウ素の超微量正量と存在狀態の考察,' 일본 에어로졸 학회, 제15권, 제2호, pp. 155-162, 2000
  4. 藤本武利, '半道體製造工程における汚染制御對象物質の動向,' ェアロゾル硏究, 제14권, 제1호, pp. 19-26, 1996