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반도체 및 디스플레이 세정 공정용 $CO_2$ 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석

  • 최후미;조유진;이종우;김태성
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.303-303
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    • 2013
  • 표면에 부착된 나노/마이크로 입자는 다양한 분야에서 오염물질로 작용한다. 특히 형상이 미세하고 공정 단계가 복잡한 반도체 및 디스플레이 등의 전자 소자 공정에서 미치는 영향이 크다. 따라서 입자상 오염물질의 제거에 관하여 상용화된 습식 세정 방법이 다양하게 존재하지만 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 문제점이 있어 새로운 세정 방법이 요구된다. 이에 건식 세정 방법, 그 중에서도 입자의 충돌을 통해 제거하는 방법인 에어로졸 세정, 필렛 세정 등이 개발되었으나 마이크로 크기로 생성되는 입자로 인하여 형상의 손상이 크다. 따라서 본 연구에서는 나노 단위로 기체/고체 혼합물만 생성하여 세정하는 가스 클러스터 세정 방법을 이용하여 이러한 문제점을 해결하고자 하였다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 정의 및 제어하기 위하여 생성되는 클러스터 특성에 관하여 이론적, 수치 해석적, 실험적 연구를 수행하였다. 먼저, $CO_2$의 물리적 특성 및 이를 이용한 특정 크기 오염 물질을 제거하는데 요구되는 임계 클러스터 크기 계산을 이론적으로 구하였다. 이는 오염물질의 부착력과 클러스터의 운동량 전달에 의한 제거력의 비교를 통해 이루어졌다. 두 번째로 클러스터 크기분포를 수치 해석적으로 예측하기 위하여 각 조건에 대하여 유동해석을 수행하고 이를 통해 구해진 노즐 내 기체의 냉각 속도를 GDE (General Dynamic Equation) 계산에 대입하여 구하였다. 마지막으로 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용하여 실험적으로 클러스터 크기분포를 각 조건에 대하여 구할 수 있었다. 또한 크기 분포 경향에 대한 간접적 확인을 위하여 포토레지스트가 코팅된 웨이퍼에 클러스터의 충격으로 생성된 크레이터 크기의 경향을 분석하였다. 이와 같은 방법에 의하여 생성되는 클러스터는 노즐의 유량 증가, 온도 상승에 각각 비례하여 작아지는 것을 확인할 수 있었다.

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유도초음파를 이용한 박판에서의 결함의 검출에 관한 연구 (Detection of Defects in a Thin Steel Plate Using Ultrasonic Guided Wave)

  • 정희돈;신현재
    • 비파괴검사학회지
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    • 제18권6호
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    • pp.445-454
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    • 1998
  • 본 연구는 박판 용접부 결함 검출 기법의 확립을 위해서 실시된 기초 연구로서, 전기강판 소재의 모재에 인위적인 결함을 작성하고, 이론 및 시험적 결과를 이용하여 결함을 검출하기 위한 최적의 조건과 임계 검출 결함 크기를 조사한 것이다. 이를 위해서 소재의 dispersion curve를 구하고, 두께 2.4mm의 박판에 대해서 tone burst방식에 의한 초음파 탐상을 실시하였다. 실험적 검토를 행한 결과 840kHz의 가진 주파수와 30도 그리고 85도의 입사각이 최적의 탐상 조건임을 알았다. 한편, 초음파의 속도와 dispersion커브를 비교 검토하여 본 바, 30도의 입사각에서 발생하여 전파하는 초음파는 symmetic mode이고 85도의 입사각에서는 antisymmetric mode의 파가 전파하고 있었다. 결함의 위치와 형상에 따라 반사파의 특성이 다르게 나타나고 있었으며, 특히 표면 결함의 경우에는 antisymmetric 모드의 초음파가 symmetric 모드 보다 높은 반사파 에너지를 나타내고 있었다. 또한 이러한 초음파 모드의 종류와 결함 검출과의 관계에 대해서는 유도파의 구조에 의해서 설명이 가능했다.

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다중 축 강성을 위한 축상 스프링 최적설계 연구 (A Study on Design Optimization of an Axle Spring for Multi-axis Stiffness)

  • 황인경;허현무;김명준;박태원
    • 한국철도학회논문집
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    • 제20권3호
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    • pp.311-319
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    • 2017
  • 철도차량의 1차 현가장치는 윤축과 대차를 구속하는 장치로써 각 방향의 강성에 따라 차량의 동특성에 큰 영향을 미치며, 동특성을 향상시키기 위해서는 각 방향 강성을 다르게 요구하는데 일반적인 현가장치의 형상으로는 각 방향의 강성을 다르게 설계하기란 어렵다. 따라서 본 논문에서는 코니칼 러버 스프링(Conical rubber spring)을 이용하여 각 방향의 강성을 다르게 설계할 수 있도록 최적화 기법을 적용하여 목표값과 해석값의 RMS(Root Mean Square) 값을 이용하여 최적화를 수행하고 최적형상을 토대로 모델의 취약부의 형상을 보완하여 최종 모델을 제안한다. 실제 모델을 개발하여 정하중 시험을 통해 목표 강성값과 약 7.7%의 편차평균을 나타내 최적화 모델의 신뢰성을 입증하였다. 또한 최종 강성값을 다물체 동역학 모델에 적용하여 안정성과 곡선 주행성능 해석을 수행하였으며 적용모델의 임계속도는 대상 모델의 주행 최고속도인 110km/h 보다 높은 190km/h이며 차륜의 마모지수는 기존대비 34% 감소하여 조향 성능이 향상되었음을 확인하였다.

밸런스샤프트의 회전체역학 해석 (Rotordynamic Analysis of Balance Shafts)

  • 노종원;신범식;박흥준;최연선
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2006년도 추계학술대회논문집
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    • pp.531-536
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    • 2006
  • In four cylinder engine, the second order inertia force occurs due to the reciprocating parts of the cylinder. Because the magnitude of the inertia force is proportional to a square of the angular velocity of crank shaft, engine gets suffered from vibration excited by unbalanced inertia force in high speed. This vibration excited by the unbalanced inertia force can be canceled by applying a balance shaft. Balance shaft has one or more unbalance mass and rotates twice quickly than the crank shaft. In this paper, an unbalanced force caused by the rotating of unbalance mass of balance shafts was calculated. The directional equivalent stiffness and damping coefficients of the journal bearing of balance shafts was calculated. Equations of rotational vibration modes were derived using directional stiffness and damping coefficients. The dynamic stability of balance shafts was analyzed and evaluated for two type models using the equivalent stiffness and damping coefficients. An efficient procedure to he able to evaluate dynamic stability and design optimal balance shaft was proposed.

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有限差分法을 利용한 油壓管路의 特性에 관한 硏究 (A Study on Dynamic Characteristics of Hydraulic Transmission Line by Finite Difference Method)

  • 오철환;정선국;송창섭
    • 대한기계학회논문집
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    • 제10권1호
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    • pp.15-24
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    • 1986
  • 본 논문에서는 특성유선해법에 의하여 각 방정식을 유한착분방정식으로 변환 하고 이를 유압시스템에 사용하기 위하여 유압회로의 일반적인 요소인 서어보밸브, 방향제어밸브, 유압모우터, 실린더, 릴리이프 밸브, 필터등이 회로내에 연결되어 있는 경우에 대하여 해석할 수 있는 프로그램을 짜고 유압시스템에서 발생하는 압력 및 유량의 속도현상을 예측할 수 있도록 하였다. 프로그램의 정확도를 판단하기 위하여 계산결과와 실험결과를 비교하였으며 압력과도현상에 미치는 요소인 부하의 크기, 관로의 재질, 관로의 길이, 밸브의 개별시간, 액튜에이터 입구측과 출구측 사이에 바이패스밸브의 설치효과에 대하여 연구하였다.

이미지 분석시스템을 이용한 부선컬럼에서 기포크기의 측정 (Measurement of Bubble Size in Flotation Column using Image Analysis System)

  • 안기선;전호석;박철현
    • 자원리싸이클링
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    • 제29권6호
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    • pp.104-113
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    • 2020
  • 기포크기는 컬럼부선에서 기포체류시간, 기포표면적플럭스(Sb) 및 운송율(Cr)에 영향을 미치는 중요 변수로 인식되고 있다. 본 논문은 부선컬럼에서 기포크기의 측정방법, 가동변수들의 관계 그리고 가스분산특성을 논한다. 기포크기는 고속카메라와 이미지 분석 시스템을 이용하여 가동변수들(가스속도, 세척수속도, 기포제농도)의 조건에 따라 부선컬럼에서 직접적으로 측정되었다. 각 측정과 산정된 기포크기 값들을 비교한 관계식이 ±15~20의 오차범위 내에서 도출되었고 평균 기포크기(Sauter mean diameter)는 0.718mm로 확인되었다. 본 시스템으로부터 기포크기 및 분포를 조절할 수 있는 경험식이 가동조건들(Jg: 0.65~1.3cm/s, JW: 0.13~0.52cm/s, frother concentration: 60~200ppm) 하에서 개발되었다. 기포제농도의 증가는 표면장면과 기포크기를 감소시킨다. 임계병합농도는 표면장력이 가장 낮은 49.24mN/m일 때인 기포제농도 200ppm이라고 판단된다. 공기속도의 감소, 기포제농도 및 세척수속도의 증가에 따라 기포크기가 감소하는 경향을 보였다. 가스홀드업은 가스속도와 비례관계에 있으며 고정된 가스속도 조건에서 기포제농도 및 세척수속도와 비례관계였다.

아스팔트 혼합물의 점탄성과 차량의 이동 속도가 포장 거동에 미치는 영향 (Asphalt Concrete Pavement Response to Moving Load and Viscoelastic Property)

  • 조명환;김낙석;서영국
    • 대한토목학회논문집
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    • 제28권4D호
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    • pp.485-492
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    • 2008
  • 본 논문에서는 차량의 주행속도가 아스팔트 포장의 변형률 거동에 미치는 영향을 알아보기 위하여 현장시험을 실시하고 그 결과를 3차원 유한요소해석과 비교, 분석하였다. 한국도로공사 시험도로에서 기층의 두께가 다른 세 단면(A2, A5, A8)을 선정하고, 각 단면별로 세 가지의 주행속도(25, 50, 80km/hr)에 대한 종, 횡방향 변형률을 측정하였다. ABAQUS를 이용한 수치해석에서는 시험차량인 덤프트럭(단축-탠덤축)의 축하중을 단계하중(step loading)으로 모사하였으며, 시험도로 아스팔트 혼합물에 대한 선형 점탄성 물성 계수(E(t))를 적용하여 보다 현실적인 거동해석을 실시하였다. 주어진 시험 조건에서 아스팔트 층 하부에서 측정한 종, 횡방향 변형률의 차이(이방성)는 모든 단면에서 목격되었고, 수치해석결과 차량의 주행속도가 증가함에 따라 임계 지점에서 발생하는 최대 변형률의 크기는 감소하는 것으로 예측되었다. 또한, 최대변형률의 크기도 횡방향 변형률이 종방향 변형률에 비하여 약 27% 정도 작았으며, 차량의 속도가 증가함에 따라 최대 변형률의 감소폭도 횡방향이 약간 큰 것으로 나타났다.

붕사, 붕산 및 인산암모늄을 가압 함침한 편백 루버의 연소특성 (Combustion Characteristics of Hinoki Cypress Louver after Pressure Impregnation with Boric Acid, Borax and Ammonium Phosphate)

  • 박형주
    • 한국화재소방학회논문지
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    • 제29권6호
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    • pp.1-5
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    • 2015
  • 본 논문은 편백 루버에 붕산, 붕사 및 인산암모늄 수용액을 가압함침 후 외부 복사열원(25, 30 및 $50kW/m^2$)에 따른 점화시간, 임계 열유속 및 질량감소속도 등의 연소특성을 측정하였다. 실험에 사용된 시료의 크기는 $100{\times}100{\times}10mm$이며, 각 외부 복사열원에서 5분간 변화를 3회 반복 측정하였다. 연구결과, $25kW/m^2$의 외부 복사열원에 있어서 착화시간은 Type C-H를 제외하고는 17.4~21.3%의 지연효과를 나타낸 반면 35 및 $50kW/m^2$에서는 큰 차이가 없음을 알 수 있었으며, 평균질량감소속도는 Type A-H와 Type D-H에서 Type N-H보다 낮게 측정되었다. 또한, 외부 복사열원에 따른 착화시간으로부터 임계 열유속은 $14.79{\sim}17.17kW/m^2$$10.7kW/m^2$인 Type N-H보다 38.22~60.46% 높게 예측됨에 따라 초기 화재시 화재확대에 대한 지연효과가 있을 것으로 예상된다.

산채의 건조 특성에 관한 연구 (Study on the Drying Characteristics of Wild Vegetables)

  • 임종환;황금택
    • 한국식품과학회지
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    • 제27권3호
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    • pp.358-364
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    • 1995
  • 건조산채의 안전저장 수분함량을 결정하기 위하여 네 가지 채소 즉, 호박고지, 고구마줄기, 토란대, 및 도라지의 건조특성과 등온흡습특성을 조사하였다. 이들 채소의 건조곡선은 초기의 평형조절기간과 항률건조기 및 감률건조기간의 3단계로 뚜렷하게 구분이 되었으며, 감출건조기는 종류에 따라 다시 $2{\sim}3$단계로 구분되었다. 감률건조곡선은 섬유질상 식품의 건조 특징인 위로 볼록한 형태를 보였으며, 임계수분함량은 호박고지가 $8.29{\sim}9.75$, 고구마줄기가 $10.40{\sim}15.08$ 토란대가 $9.51{\sim}14.52$, 도라지가 $3.29{\sim}3.56g\;H_2O/g$ dry solids였다. 감률건조기간 중의 건조속도에 대한 활성화에너지값은 호박고지가 2.30, 고구마줄기가 2.11, 토란대가 4.97, 도라지가 2.80 kcal/mol이었다. 각 채소의 단분자층 수분함량값은 건조시의 임계수분함량값과 유사하였는데, 호박고지가 $10.05{\sim}13.59$, 고구마줄기가 $9.49{\sim}12.69$, 토란대가 $9.50{\sim}16.48$, 도라지가 $5.01{\sim}5.44g\;H_2O/g$ dry solids였다. 결과적으로 이들 채소를 안전하게 저장하기 위해서는 수분함량을 단분자층 수분함량 이하로 또는 임계수분함량 이하로 건조시킬 필요가 있음을 알 수 있다.

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열처리 환경에서 웨이브렛 적응 필터를 이용한 초음파 비파괴 검사의 결함 검출 (Flaw Detection of Ultrasonic NDT in Heat Treated Environment Using WLMS Adaptive Filter)

  • 임내묵;전창익;김성환
    • 한국음향학회지
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    • 제18권7호
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    • pp.45-55
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    • 1999
  • 본 논문에서는 그레인 잡음을 제거하기 위해서 웨이브렛 변환(wavelet transform)에 근간을 둔 웨이브렛 적응 필터(WLMS adaptive filter : Wavelet domain Least Mean Square adaptive filter)를 사용하였다. 보통 그레인 잡음은 고온의 환경에서 금속의 결정구조가 변화함에 따라 발생된다. 웨이브렛 평면에서의 적응 필터링은 필터의 입력신호를 직교 변환하여 입력으로 이용함으로써 수렴 속도를 향상시킬 수 있는 장점을 가지고 있다. 적응 필터의 기준 입력 신호는 원시 입력 신호를 지연시킨 신호를 이용하였으며, 적응 필터의 출력은 다시 CA-CFAR(Cell Average - Constant False Alarm Rate) 임계 추정기(threshold estimator)를 거쳐 자동적으로 원하는 신호부분만 나타내도록 하였다. 우선 신호의 통계적 특성을 알기 위하여 run 테스트를 수행하여 기준 입력 신호가 비정상성(nonstationarity)을 나타냄을 보였고, 웨이브렛 적응필터가 시평면 적응필터보다 수렴속도면에서 우수함을 보였으며, 각 적응 필터의 출력신호에 대해서 신호대 잡음비를 통해 성능평가를 하였다. 시평면 적응 필터링 후에는 신호대 잡음비가 2-3㏈ 향상을 보였고, 반면 웨이브렛 적응 필터링후에는 신호대 잡음비가 4-6㏈ 향상을 보였다.

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