• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국정보통신학회 2018년도 추계학술대회
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• pp.355-356
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• 2018

인터페로미터 방향탐지 시스템은 두 개 혹은 그 이상의 소자로 구성되는 안테나 시스템으로 수신되는 무선신호의 위상차를 사용하여 수신신호의 방향을 추정한다. 방탐정확도 향상을 위해, 방향탐지 시스템은 장치에서 발생하는 위상오차를 최소화하는 위상보정을 수행한다. 본 논문에서는 인터페로미터 방향탐지 시스템에서 수행되는 위상보정 방법에 대해 분류하였으며, 각 방법의 장단점에 대해 비교하였다.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제22권8호
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• pp.1076-1082
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• 2018

본 논문은 서로 다른 안테나로부터 수신되는 무선 신호의 위상차를 계산하여 신호의 도래방향을 측정하는 인터페로미터 방향 탐지 장치에 관한 것이다. 최신의 전자전용 방향 탐지기는 위상차 측정에 있어서 온도에 따른 위상측정 편차가 작고, 낮은 신호 대 잡음비 환경 에서도 비교적 위상측정 성능이 우수한 디지털 위상차 측정 방법이 적용되고 있다. 시스템에서 요구되는 방향 탐지 정확도 성능 달성을 위한 위상차 측정 허용 오차를 도출하고, 디지털 위상차 측정 방법에 대하여 소개하였다. 샘플 개수, 신호 대 잡음비, 간섭신호 유입에 따른 성능을 정량적으로 분석하였고, 시뮬레이션을 통하여 주파수 영역 측정방법이 시간영역 대비 낮은 SNR 및 간섭신호 유입 환경에서 더 좋은 성능을 보임을 확인하였다. 제안한 방법은 인터페로미터 방향 탐지 장치의 성능 결정에 활용 할 수 있을 것이다.

• 한국전자파학회논문지
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• 제21권4호
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• pp.433-442
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• 2010

본 논문에서는 멀티베이스라인 인터페로미터 방향 탐지 시스템에서 진폭 및 위상 부정합 오차를 보정할 수 있는 공분산행렬 기반 자체 교정 알고리즘을 제안한다. 제안된 기법은 비용함수를 정의한 후 제한 조건을 갖는 비선형 최소화 방법으로서, 공간 섹터를 이용하여 부정합 오차를 획기적으로 교정하는 알고리즘이다. 다만 공간 섹터를 선정하기 위하여 초기 추정각을 요구하는 단점이 있으나, 이는 일반적인 비선형 최소화 문제의 공통적인 단점이다. 적절한 공간 섹터 간격을 선정하여 시뮬레이션한 결과, 제안된 방법이 기존 인터페로미터 방식보다 표본바이어스, 표본표준편차, 평균제곱오차면에서 획기적으로 우수한 통계적 성능을 보여주었다. 더구나 섹터 간격이 도래각과 $5^{\circ}$ 이내일 경우에, 30 dB의 진폭 부정합 및 $50^{\circ}$ 이상 큰 값의 위상 부정합이 발생하는 경우에도 획기적인 보정 능력을 보여주었으며, 신호대 잡음비에도 덜 민감한 특징을 나타내었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.437-441
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• 1995

In this paper, the ultra precision positioning system for servo motor and piezo actuator using dual servo loop control has been developed. For positioning system having long distance with ultra precision, the combination of global stage and micro stage is required. Servo moter and ball screw are used as a master stage and piezo acuator as a fine stage. By using this system, an positional precision witin .+-. 30nm has been achieved at dual servo loop control. When using micro stage, an positional precision within .+-. 10nm has been achieved. This result can be applied to develop semiconductor equipment such as wafer stepper.

• 한국정밀공학회지
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• 제27권3호
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• pp.50-57
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• 2010

A high precision air bearing stage has been developed and calibrated. This linear-motor driven stage was designed to transport a glass or wafer with the X and Y following errors in nanometer regime. To achieve this level of precision, bar type mirrors were adopted for real time ${\Delta}X$ and ${\Delta}Y$ laser measurement and feedback control. With the laser wavelength variation and instability being kept minimized through strict environment control, the orthogonality of this type of control system becomes purely dependent upon the surface flatness, distortion, and assembly of the bar mirrors. Compensations for the bar mirror distortions and assembly have been performed using the self-calibration method. As a result, the orthogonality error of the stage was successfully decreased from $0.04^{\circ}$ to 2.48 arcsec.

• 한국전자파학회논문지
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• 제25권9호
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• pp.912-918
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• 2014

본 논문에서는 트리플 베이스라인 인터페로미터(tripple baseline interferometer) 방향탐지 장치에 적용할 수 있는 VHF 대역 다채널 위상 판별기(phase discriminator)를 제안하였다. 방향탐지 장치에서 출력되는 IF(Intermediate Frequency) 신호들 간의 위상차를 동시에 측정하기 위해 위상 판별기를 다채널의 병렬 구조로 설계하였고, 위상 판별기의 위상 코릴레이터(phase correlator)는 소자 수를 줄이기 위해 I, Q 믹서 방식으로 구현하였다. 그리고 RF 소자의 위상 정합 불균형에 따른 위상 판별기의 오차를 보상하기 위해 디지털 LUT(Look Up Table)를 적용하였다. 제작된 VHF 대역 다채널 위상 판별기는 측정 결과, 30 dB SNR 조건에서 2도 RMS(Root Mean Square) 수준의 위상 측정 정확도를 보이며, 상용 위상 판별기보다 우수한 정확도를 갖는다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제45권8호
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• pp.11-16
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• 2008

본 논문에서는 먼저 RTP(Rapid Thermal Processor) 장치를 스트레스 측정에 용이한 구조로 제작하고 PC에서 통합 공정관리 시스템을 설계하였다. 다음으로는 Large deformation 이론을 바탕으로 반도체 웨이퍼 표면의 변형검사를 위한 레이져 인터페로미터리를 구성하였다. 궁극적으로 이러한 레이져장치로부터 웨이퍼 표면의 영상을 추출하고 세선화, 블록화 그리고 스트레스 분포도의 순서로 영상처리 하여 스트레스로 인한 웨이퍼 표면의 변형을 검사하였다. 실험을 하기 위해 변형이 이루어지도록 웨이퍼의 후면을 1mm정도 갈아낸 후 약 1000도에서 $3\sim4$회 열처리를 수행하였으며, 열처리를 가한 영상과 가하지 않은 영상을 통하여 웨이퍼 열처리 후 심각한 변형이 이루어졌음을 알 수 있었다.

• 한국군사과학기술학회지
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• 제17권4호
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• pp.544-550
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• 2014

In this paper, we have proposed a novel method which can analysis the direction finding ambiguity analysis for array geometry in 3 channel and 4 channel multiple baseline direction finding system. Generally, the direction finding ambiguity in the 3 element and 4 element phase interferometer direction finding system is calculated by the simulation for the array spacing or by the probability with the selected antenna array spacing. There are some restrictions to obtain the ambiguity of direction finding system in these methods. The former performs a simulation with every antenna array spacing and the latter calculates the ambiguity with the selected antenna array spacing. To overcome those restrictions, This paper proposed the novel method to calculate the ambiguity using the imaginary antenna array spacing and the phase difference prior to the modular operation in direction finder. Using the proposed method, we obtain the ambiguity probability for each of array geometry composed of multiple baseline. After performing the simulation with the selected antenna array spacing to verify the proposed method, we compared the calculated result data with the simulation data.