• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.3
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• pp.374-383
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• 1993

필라멘트와 Si 기판 사이의 기전력을 20, 80, 140, 200V로 증가시키면서 EACVD에 의하여 성장된 다이아몬드 박막에 대하여 다이아몬드/Si 계면분석 및 계면강도를 측정하였다. 주사형전자현미경(SEM), 고분해능투과형전자현미경(HRTEM), 오제이전자분석기(AES)에 의해 계면상태를 분석한 결과, 기전력 증가에 따라 활성탄화수소 이온(CmHn-)에너지가 증가되어져 CmHn-이 Siso로 침투(Impringement)가 증가되고 침투된 높은 에너지의 CmHn-이 Si과 화학결합하여 생성되는 SiC층 깊이 및 농도 분포도 증가된다. 풀 시험(Pull test)에 의한 계면강도 측정 결과, SiC층 깊이 및 농도분포가 증가할수록 계면강도가 증가하였다. 관찰된 파면과 파면의 X-선 메핑 결과 및 HRTEM과 AES에 의한 분석 결과, 기전력 증가에 따라 공극율이 적고 치밀한 다이아몬드 박막이 성장된다. 그리고 생성되는 SiC층 농도 및 깊이 분포가 증가함에 따라 다이아몬드/Si 계면이 강화되고, 상대적으로 파괴는 다이아몬드/Si 계면이 아닌 SiC층이나 Si 내부에서 발생된다. 결국, 기전력을 증가하여 활성탄화수소이온의 에너지를 증가함으로써 계면강도가 우수하며 공극율이 매우 적고 치밀한 다이아몬드 박막을 성장할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.164-165
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• 2007

Si(중간층)/DLC(diamond-like carbon)막은 스퍼터와 이온소스(ion source)법에 의한 복합방식(hybrid method)을 이용하여 3mTorr의 반응가스 벤젠($C_6H_6$)분위기에서 Si wafer에 기판온도 $130^{\circ}C$로 180분간 증착하였다. 평가는 표면과 단면에 대해 주사전자현미경(scanning electron microscopy, SEM)과 투자전자현미경(trasmission electron microsope, TEM)으로 관찰하였다. 경도와 마찰계수는 나노인텐터(nanoindetor)와 마모시험기를 이용하였으며, 박막의 구조는 라만스펙트럼으로 분석하였다. 그 결과 박막의 두께는 약 $0.9{\mu}m$, 표면조도는 약 $0.34{\sim}1.64nm$로 평탄한 표면을 가지며 경도는 약 $35{\sim}37GPa$, 마찰계수는 약 $0.02{\sim}0.07$로 관찰되었다. 라만분광법과 전자회절패턴에 의해 IG/ID의 함량비는 $0.54{\sim}0.59$로 $sp^2$와 $sp^3$가 혼재된 전형적인 비정질 구조임을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2007.02a
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• pp.158-158
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• 2007

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1995.11a
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• pp.25-26
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• 1995

• Journal of the Mineralogical Society of Korea
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• v.26 no.4
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• pp.325-330
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• 2013

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.1612-1614
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• 2002

본 논문에서는 엑시머 레이저 조사에 의한 이온 농도의 분포 변화를 알아보기 위해 붕소 이온이 선택적으로 주입된 비정질 실리콘 박막 위에 XeCl (${\lambda}$=308nm) 엑시머 레이저를 조사하여 붕소이온의 수평 확산 현상을 관찰하였다. 도핑 농도의 분포를 알아보기 위해 불산/질산 용액에 의한 고농도 도핑 영역의 습식 식각을 이용하여 약 $10^{18}/cm^3$ 이하의 붕소이온을 가지는 실리콘 박막의 형태를 전자주사 현미경을 이용해서 관찰하였다. 실험 결과, $200mJ/cm^2$의 레이저 에너지가 조사될 경우, 약 100nm의 수평 확산이 일어났음을 확인 할 수 있었다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.9 no.3
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• pp.25-29
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• 2002

Single ion exchange process was used, and the ion exchange behavior and mechanical properties were investigated in substrate glass for flat panel display. In order to study the effects of ion exchange, ion exchange behavior with ion penetration depth, amount of ion exchange, density and thermal expansion was measured according to the time and temperature. The mechanical properties were evaluated by the three point bending test and curvature change, and then the fracture patterns were investigated by optical microscope.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2012.04a
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• pp.252-253
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• 2012

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.53 no.5
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• pp.565-569
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• 2009

The interaction between polyvinylpyrrolidone(PVP) and silver cation has been studied in water at room temperature and atmospheric pressure. The PVP and PVP/Ag composite was observed by transmission electron microscopy (TEM), UV-VIS absorption spectroscopy, Raman spectroscopy and oxygen/carbon dioxide analyzer. We identified silver cations interacting with nonbonding electrons of the oxygen atom in the carbonyl group of PVP. It was shown that PVP/Ag formed stable composites.

• The Korean Journal of Zoology
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• v.34 no.4
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• pp.452-459
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• 1991

담수산 대형 아메바인 각moeba proteus의 위상차 현미경 관찰 및 사진 분석을 통하여 수축포의 배출활동을 조사하f:다. Chalkley's 무기 염류 배양액에 첨가한 0. 1 mM ATP(disodium salt)에 의해 수축포의 배출속도는 270%로 증가하f:으며, 이 ATP의 효과는 Na+ 이온농도가 0.46mM 이상일 때 유효하였다. 실험용액의 NaGl 농도를 10 mM까지 증가시켰을 때 배출작용은 230%에 이르기까지 완만한 직선적 증가를 보였으며, 0.1 mM ATP를 첨가했을 때는 소폭의 NaCl농도 증가(0.50 mM)에 대하여 급격한 상승을 보였다. 이 배출 촉진은 Na+이온에 대해서 선별적으로 이루어졌으며 K+이온으로는 대체될 수 없었다. 배출속도는 Cac12를 제외한 Chalkley's 액에 50 $\mu$ M EDTA(disodium)를 첨가하였을 때에는 2900ye로 증가하였으며 , Caclf 농도가 증가됨에 따라 현격한 감소를 보였다. Chalkley's용액의 Cac12, NaCl을 함께 제외한 경우 배출속도는 대조군 수준에 미달된 데 비하여 0.2 mM Cac12, 10 mM NaCl첨가시에는 대조군의 180%였다. 아메바 수축포의 배출작용이 Na+이온 배출기구로 보고(Pottier efaf., 1987) 이들 결과를 종합해 볼때 아메바의 세포막에는 Na+ 이온의 투과수단으로 칼슘제거에 의해서 촉진확산되는 것과 Na+이온 농도증가에 따른 단순확산이 있을 것으로 사료된다.